串联式大气喷射真空泵制造技术

一种串联式大气喷射真空泵，它至少包括一联接于前级真空泵进气口的大气喷射真空 泵，该大气喷射真空泵的文丘里管出气口与其联接前级真空泵进气口段之间设置有至少三 通联接至少一大通道阀门，并与气室进气口和被抽真空系统的接口段之间设置的至少三通 相互联通；所述的大气喷射真空泵至少有二台并相互串联，后一台大气喷射真空泵的文丘 里管出气口串接于前一台大气喷射真空泵的气室进气口；所述的前一台大气喷射真空泵的 文丘里管出气口与其联接前级真空泵进气口段之间设置有至少三通联接至少一大通道阀 门，并与后一台大气喷射真空泵气室进气口和被抽真空系统的接口段之间设置的至少三通 相互联通；每台大气喷射真空泵中带有喷嘴的进气管上各设置有大气进口阀；它具有结构 合理、使用方便，在不需要增加能耗又不影响抽气速率的基础上，可提高真空度1-4％， 降低了噪音，能减少前级真空泵的损耗等特点。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：方驭，
申请(专利权)人：方驭，
类型：实用新型
国别省市：