LC谐振元件和谐振元件阵列制造技术

LC谐振元件(10)包括：介电膜(12)；在介电膜的下表面(12D)上由薄膜导体形成的公共电极(11)；经由公共电极(11)串联连接且构成薄膜电容器(TC)的第一电容器(C1)和第二电容器(C2)；在介电膜的上表面(12U)上形成的第一和第二外部连接端子(14A；14B)；构成薄膜电感器(TL)的薄膜导线(16)；在上表面(12U)上形成的第一电容器的第一上部电极(13A)；和在上表面(12U)上形成的第二电容器的第二上部电极(13B)。在位于介电膜的上表面(12U)上且在平面视图中在公共电极(11)的外侧的区域(R2)中形成薄膜导线(16)。

LC Resonant Element and Harmonic Element Array

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】LC谐振元件和谐振元件阵列
本专利技术涉及一种LC谐振元件和一种包括多个LC谐振元件的谐振元件阵列，并且更具体地涉及一种包括薄膜电容器和薄膜电感器的LC谐振元件。
技术介绍
传统上，例如，作为包括薄膜电容器和薄膜电感器的LC谐振元件，已知在专利文献1中公开的技术。专利文献1公开了一种用于通过使用薄膜形成技术在同一介电基板上一体地形成电感(电感器)L和电容(电容器)C而减小LC谐振器的尺寸的技术。相关技术文献专利文献专利文献1：日本未审专利申请公布特开平4-213208
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，利用上述传统技术，在介电基板上的完全不同的区域中形成电感器和电容器。另外，不在介电基板上的任何区域中形成外部电极。因此，存在进一步减小LC谐振元件的尺寸的余地。利用上述传统技术，在介电基板中形成通孔以便形成电感器和电容器的并联电路(见专利文献1的图7)。由于该原因，存在结构变复杂的缺点。专利技术的公开内容因此，在本说明书中，提供能够进一步减小尺寸且具有简单结构的LC谐振元件和谐振元件阵列。解决问题的手段在本说明书中公开的LC谐振元件包括：薄膜电容器和薄膜电感器的并联电路；介电膜，所述介电膜具有上表面和与所述上表面相反的下表面；在所述下表面上由薄膜导体形成的公共电极；第一电容器和第二电容器，所述第一电容器和所述第二电容器经由所述公共电极串联连接且构成所述薄膜电容器；第一外部连接端子和第二外部连接端子，所述第一外部连接端子和所述第二外部连接端子被形成在所述上表面上；薄膜导线，在位于所述上表面上且在平面视图中在所述公共电极的外侧的区域中形成所述薄膜导线，所述薄膜导线构成所述薄膜电感器，并且所述薄膜导线连接所述第一外部连接端子和所述第二外部连接端子；被连接到所述第一外部连接端子的第一上部电极，在所述上表面的在平面视图中在所述公共电极上的区域中形成所述第一上部电极，所述第一上部电极与所述公共电极及所述介电膜一起形成所述第一电容器；和被连接到所述第二外部连接端子的第二上部电极，在所述上表面的在平面视图中在所述公共电极上的区域中形成所述第二上部电极，所述第二上部电极与所述公共电极及所述介电膜一起形成所述第二电容器。根据这种构造，薄膜电容器包括经由公共电极串联连接的第一电容器和第二电容器。利用薄膜电容器的这种构造，薄膜电感器由在位于上表面上且在平面视图中在公共电极的外侧的区域中形成的薄膜导线形成。第一外部连接端子和第二外部连接端子被形成在介电膜的上表面上。因此，利用这种构造，LC谐振元件的尺寸被进一步减小，并且其结构被简化。如果在平面视图中薄膜电感器与公共电极重叠，则在薄膜电感器和公共电极之间形成静电电容，并且LC并联谐振电路中的Q值减小。然而，薄膜电感器位于公共电极的外侧，从而使得能够避免Q值的减小。在LC谐振元件中，薄膜导线可以被形成为环形。根据这种构造，薄膜导线被形成为环形，并且因此如与将薄膜导线形成为直线形状的情形相比较，能够容易获得期望的电感。进而，在LC谐振元件中，薄膜导线可以被沿着公共电极的外周形成为环形。根据这种构造，薄膜导线被沿着公共电极的外周形成，并且因此在平面视图中公共电极位于薄膜电感器环内。作为结果，LC谐振元件的平面面积能够被减小。在LC谐振元件中，可以在位于上表面上且在平面视图中在公共电极的外侧的区域中形成第一外部连接端子和第二外部连接端子。根据这种构造，能够提高与外部连接端子相关联的LC谐振元件的可靠性。即，在与外部电路连接时或之后，热和应力被施加到外部连接端子。因此，如果公共电极经由介电膜直接在外部连接端子的下方，则可能存在例如与公共电极短路以及由于将外部连接端子从介电膜剥离而引起的电容值的改变的风险。然而，根据这种构造，因为公共电极不被直接设置在外部连接端子的下方，所以能够避免这种风险。另外，因为第一外部连接端子和第二外部连接端子这两者均被形成在介电膜的上表面上，所以能够容易将第一外部连接端子和第二外部连接端子连接到外部。LC谐振元件还可以包括：连接第一上部电极和第一外部连接端子的第一连接部分；和连接第二上部电极和第二外部连接端子的第二连接部分。可以在上表面上由单个薄膜导体一体地形成第一和第二上部电极、第一和第二外部连接端子、第一和第二连接部分以及薄膜导线。根据这种构造，通过形成单个薄膜，在介电膜的上表面上形成的各个部分能够容易地形成。在本说明书中公开的谐振元件阵列包括多个任何上述LC谐振元件，并且LC谐振元件具有公共的介电膜。根据这种构造，能够形成紧凑的谐振元件阵列。在谐振元件阵列中，在每一个LC谐振元件中，第一上部电极的面积可以等于第二上部电极的面积，并且在LC谐振元件中，组合的第一上部电极和第二上部电极的面积可以是不同的。根据这种构造，在LC谐振元件中，组合的第一上部电极和第二上部电极的面积可以是不同的，并且因此在LC谐振元件中，电容器的电容是不同的。作为结果，在LC谐振元件中，谐振频率是不同的。这使得能够在通信设备等中借助于电路切换来选择连续不同的谐振频率的多个滤波器。专利技术的有益效果根据在本说明书中公开的LC谐振元件和谐振元件阵列，能够提供能够进一步减小尺寸且具有简单结构的LC谐振元件和谐振元件阵列。附图说明图1是示出根据第一实施例的LC谐振元件的透视图。图2是示出该LC谐振元件的等效电路的图。图3是LC谐振元件的平面视图。图4是沿着图3中的线A-A截取的剖视图。图5是示出LC谐振元件的频率-阻抗特性的曲线图。图6是示出制造LC谐振元件的步骤的剖视图。图7是示出制造LC谐振元件的步骤的剖视图。图8是示出根据第二实施例的谐振元件阵列的平面视图。图9是示出该谐振元件阵列中的每一个LC谐振元件的特性的表格。图10是示出每一个LC谐振元件的频率-阻抗特性的曲线图。具体实施方式将在下面参考图1到图10描述实施例。在附图中，相同的附图标记表示相同或对应的部分。<第一实施例>首先，将参考图1到图7描述根据第一实施例的LC谐振元件10。1.LC谐振元件的构造如在图1和图2中所示，LC谐振元件10包括薄膜电容器TC和薄膜电感器TL的并联电路PC。换言之，LC谐振元件10是LC并联谐振元件。LC谐振元件10主要是用于几GHz频带的高频电路的元件。LC谐振元件10包括公共电极11、介电膜12、第一上部电极13A、第二上部电极13B、第一电容器C1、第二电容器C2、第一外部连接端子14A、第二外部连接端子14B和薄膜导线16。介电膜12例如是钛酸锶(STO)膜，并且具有上表面12U和在该上表面12U的相反侧上的下表面12D。公共电极11具有矩形形状，并且由在介电膜的下表面12D上的薄膜导体诸如铜薄膜形成。第一电容器C1和第二电容器C2经由公共电极11串联连接，并且构成并联电路PC的薄膜电容器TC。换言之，薄膜电容器TC包括串联连接的两个薄膜电容器(C1、C2)。即，薄膜电容器TC的电容由C1·C2/(C1+C2)表示。在这里，C1表示第一电容器C1的电容，而C2表示第二电容器C2的电容。如在图1和图3中所示，第一外部连接端子14A和第二外部连接端子14B被形成在介电膜的上表面12U上的区域R2中。在平面视图中，区域R2位于公共电极的外侧。通过这种构造，能够提高与外部连接端子(14A、1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种LC谐振元件，包括：薄膜电容器和薄膜电感器的并联电路；介电膜，所述介电膜具有上表面和与所述上表面相反的下表面；在所述下表面上由薄膜导体形成的公共电极；第一电容器和第二电容器，所述第一电容器和所述第二电容器经由所述公共电极串联连接且构成所述薄膜电容器；第一外部连接端子和第二外部连接端子，所述第一外部连接端子和所述第二外部连接端子被形成在所述上表面上；薄膜导线，在位于所述上表面上且在平面视图中在所述公共电极的外侧的区域中形成所述薄膜导线，所述薄膜导线构成所述薄膜电感器，并且所述薄膜导线连接所述第一外部连接端子和所述第二外部连接端子；被连接到所述第一外部连接端子的第一上部电极，在所述上表面的在平面视图中在所述公共电极上的区域中形成所述第一上部电极，所述第一上部电极与所述公共电极及所述介电膜一起形成所述第一电容器；和被连接到所述第二外部连接端子的第二上部电极，在所述上表面的在平面视图中在所述公共电极上的区域中形成所述第二上部电极，所述第二上部电极与所述公共电极及所述介电膜一起形成所述第二电容器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种LC谐振元件，包括：薄膜电容器和薄膜电感器的并联电路；介电膜，所述介电膜具有上表面和与所述上表面相反的下表面；在所述下表面上由薄膜导体形成的公共电极；第一电容器和第二电容器，所述第一电容器和所述第二电容器经由所述公共电极串联连接且构成所述薄膜电容器；第一外部连接端子和第二外部连接端子，所述第一外部连接端子和所述第二外部连接端子被形成在所述上表面上；薄膜导线，在位于所述上表面上且在平面视图中在所述公共电极的外侧的区域中形成所述薄膜导线，所述薄膜导线构成所述薄膜电感器，并且所述薄膜导线连接所述第一外部连接端子和所述第二外部连接端子；被连接到所述第一外部连接端子的第一上部电极，在所述上表面的在平面视图中在所述公共电极上的区域中形成所述第一上部电极，所述第一上部电极与所述公共电极及所述介电膜一起形成所述第一电容器；和被连接到所述第二外部连接端子的第二上部电极，在所述上表面的在平面视图中在所述公共电极上的区域中形成所述第二上部电极，所述第二上部电极与所述公共电极及所述介电膜一起形成所述第二电容器。2.根据权利要求1所述的LC谐振元件，其中所述薄膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉泽正充，
申请(专利权)人：野田士克林股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP