一种液箱和液体循环装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种液箱和液体循环装置。其中，液箱包括箱体、设置于所述箱体内的隔离板和连通所述箱体内部与外界环境的排气管；所述隔离板将所述箱体分隔成进液腔和出液腔，所述进液腔的底部与所述出液腔的底部相连通，所述进液腔的顶部与所述出液腔的顶部相连通；所述隔离板用于阻隔在所述进液腔产生的气泡流向所述出液腔，所述排气管用于排出溢出的所述气泡。本发明专利技术解决了手动排气无法完全避免气泡被泵体吸入循环管路，操作麻烦，且有液体泄漏风险的问题，本发明专利技术的液箱可实现自动排气，避免产生的气泡进入液体循环管路，降低液体泄露风险，结构简单且成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种液箱和液体循环装置
本专利技术实施例涉及液体循环系统
，尤其涉及一种液箱和液体循环装置。
技术介绍
液体循环系统或设备被广泛应用于各行各业中，如：暖通空调行业的风机盘管系统，半导体行业的光刻机环境分系统和刻蚀机外部辅助液体温控设备等。在对设备运行环境要求高的设备中，液体循环系统是保证设备正常运行的重要保证。在半导体设备尤其是精度极高的光刻机中，液体循环系统需要持续可靠地提供光刻机正常工作的运行环境。然而，在液体循环系统中空气气泡的产生会影响循环系统的正常工作。如产生的气泡会对液体泵造成损坏(气蚀)，由循环液体回流产生的气泡进入泵体内部会加速泵的磨损，产生震动和噪声，降低泵的性能，长期下去会破坏过流部件。因此，需要对产生的气泡进行及时处理，防止气泡被运行的泵体吸入循环管路。通常，会在循环系统中加入排气阀，通过定期手动排气。但由于循环管路在不间断地进行液体循环，因此气泡的产生也是连续的，定期手动排气无法完全避免气泡被泵体吸入循环管路。另外，由于建筑空间有限，留出维修维护区域很有限，出现气体进入循环管路问题时手动排气极不方便，而且需要开启泵罐泵放空，操作麻烦，且有泄漏风险。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的是提出一种液箱和液体循环装置，以自动排气，避免产生的气泡进入液体循环管路，且降低液体泄露风险。为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一方面，本专利技术实施例提供了一种液箱，包括箱体、设置于箱体内的隔离板和连通箱体内部与外界环境的排气管；隔离板将箱体分隔成进液腔和出液腔，进液腔的底部与出液腔的底部相连通，进液腔的顶部与出液腔的顶部相连通；隔离板用于阻隔在进液腔产生的气泡流向出液腔，排气管用于排出溢出的气泡。另一方面，本专利技术实施例还提供了一种液体循环装置，包括上述第一方面所述的液箱。本专利技术的有益效果是：本专利技术提供的液箱和液体循环装置，通过在液箱的箱体内设置隔离板，使隔离板阻隔在进液腔产生的气泡流向出液腔。如在液体循环装置中液体循环管路的液体流回进液腔，或向进液腔注入液体时，进液腔的液体受到较大的扰动会产生气泡，而产生的流向出液腔的气泡会受到隔离板的阻隔，之后，该部分气泡将在进液腔的液体中上升并浮出液面，形成的气体通过排气管排出液箱，实现自动排气，降低人工排气时液体泄露风险，同时避免了气泡流至出液腔后进入液体循环管路，从而防止气泡损坏(气饰)液体泵(水泵)，有效保护过流部件(泵体、泵盖、叶轮、密封环、泵轴和轴套等)。附图说明下面将通过参照附图详细描述本专利技术的示例性实施例，使本领域的普通技术人员更清楚本专利技术的上述及其他特征和优点，附图中：图1是本专利技术实施例提供的一种液箱的主视图；图2是图1中液箱的侧视图；图3是本专利技术实施例提供的另一种液箱的主视图；图4是图1中另一种液箱的侧视图；图5是图1中另一种液箱的侧视图；图6是本专利技术实施例提供的另一种液箱的主视图；图7是图6中液箱的侧视图；图8是本专利技术实施例提供的另一种液箱的主视图；图9是图8中液箱的侧视图；图10是本专利技术实施例提供的另一种液箱的主视图；图11是图10中液箱的侧视图；图12是本专利技术实施例提供的排气管的位置示意图；图13是本专利技术实施例提供的另一种排气管的位置示意图；图14是本专利技术实施例提供的液体循环装置的结构框图；图15是本专利技术实施例提供的液体循环装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”和“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。图1是本专利技术实施例一提供的一种液箱的主视图；图2是图1中液箱的侧视图。该液箱适用于液体循环装置中，用于存储液体循环装置中循环用的液体。如图1和图2所示，该液箱包括箱体100、设置于箱体100内的隔离板101和连通箱体100内部与外界环境的排气管102；隔离板101将箱体100分隔成进液腔200和出液腔300，进液腔200的底部与出液腔300的底部相连通，进液腔200的顶部与出液腔300的顶部相连通；隔离板101用于阻隔在进液腔200产生的气泡流向出液腔300，排气管102用于排出溢出的气泡。本实施例中，箱体100为封闭式箱体，隔离板101的位置可根据箱体100内部实际设置部件(如与进液腔200连通的回液管和补液管，与出液腔300连通的水泵)的位置及空间进行设置，隔离板101的位置在不影响其他部件的情况下，只要使得液箱中的液体由隔离板101分隔出的出液腔300进入液体循环管路即可。进液腔200的底部与出液腔300的底部相连通，可以确保液体流动顺畅，使进入进液腔200的液体由出液腔300流出，形成液体的循环回路；进液腔200的顶部与出液腔300的顶部相连通，一方面可以确保进液腔200液面处和出液腔300液面处的气压相同，以保证整个液箱内的液体的工作液位一致，另一方面便于排气管102的空间布局，排气管102的进气口1022在箱体100的顶部连通空间可以任意放置。本实施例中，在液体循环装置中液体循环管路的液体流回液箱的进液腔200，或向进液腔200注入液体时，进液腔200的液体受到较大的扰动会产生气泡，而产生的流向出液腔300的气泡会受到隔离板101的阻隔，之后，该部分气泡将在进液腔200的液体中上升并浮出液面，形成的气体或可通过排气管102排出液箱。可以理解的是，隔离板101的尺寸及位置的设置足以保证气泡无法到达隔离板101的下边缘，即气泡无法通过进液腔200的底部与出液腔300的底部相连通的区域进入出液腔300。需要说明的是，图2仅示例性地说明液箱包括排气管102，对排气管102的具体结构及位置并不作限定。本实施例提供的液箱，通过在液箱的箱体内设置隔离板，使隔离板阻隔在进液腔产生的气泡流向出液腔，气泡在进液腔的液体中上升并浮出液面，形成的气体通过排气管排出液箱，实现了自动排气，降低了人工排气时液体泄露风险，同时避免了气泡流至出液腔后进入液体循环管路，从而防止气泡损坏(气饰)液体泵，有效地保护了过流部件。可选的，继续参考图2，上述液箱还可以包括连通于进液腔的进液口103，隔离板101的下边缘低于进液口103。此时，因为隔离板101的下边缘低于进液口103，隔离板101可以更容易地实现阻隔由进液口103进入进液腔200的液体因产生扰动而形成的气泡的作用。其中，进液口103可以包括补液口1031和回液口1032，循环液体可以通过回液管105从回液口1032流回进液腔200，需要补充液体时，可以通过补液管104从补液口1031向进液腔200注入液体。需要说明的是，隔离板101的下边缘低于进液口103为优选方案，在保证隔离板101阻隔在进液腔200产生的气泡流向出液腔300的情况下，可以使隔离板101有更多的空间布局；本实施例的隔离板101的下边缘也可以与进液口103本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液箱，其特征在于，包括箱体、设置于所述箱体内的隔离板和连通所述箱体内部与外界环境的排气管；所述隔离板将所述箱体分隔成进液腔和出液腔，所述进液腔的底部与所述出液腔的底部相连通，所述进液腔的顶部与所述出液腔的顶部相连通；所述隔离板用于阻隔在所述进液腔产生的气泡流向所述出液腔，所述排气管用于排出溢出的所述气泡。

【技术特征摘要】
1.一种液箱，其特征在于，包括箱体、设置于所述箱体内的隔离板和连通所述箱体内部与外界环境的排气管；所述隔离板将所述箱体分隔成进液腔和出液腔，所述进液腔的底部与所述出液腔的底部相连通，所述进液腔的顶部与所述出液腔的顶部相连通；所述隔离板用于阻隔在所述进液腔产生的气泡流向所述出液腔，所述排气管用于排出溢出的所述气泡。2.根据权利要求1所述的液箱，其特征在于，还包括连通于所述进液腔的进液口，所述隔离板的下边缘低于所述进液口。3.根据权利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔离板竖直设置或倾斜设置。4.根据权利要求2所述的液箱，其特征在于，所述隔离板包括格栅部，所述格栅部包括至少一个格栅板，所述格栅板由上到下间隔设置，所述格栅板的两侧固定于所述隔离板上；所述格栅板由所述隔离板向所述出液腔延伸且向下倾斜；或者，所述格栅板由所述隔离板向所述进液腔延伸且向上倾斜。5.根据权利要求4所述的液箱，其特征在于，所述格栅部的上边缘与所述进液口齐平或低于所述进液口。6.根据权利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔离板的上边缘高于所述液箱内液体的工作液位。7.根据权利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔离板为平板或曲面板。8.根据权利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔离板采用焊接、铆接或螺纹连...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟，高玉英，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31