一种频率可调的薄膜体声波谐振器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种频率可调的薄膜体声波谐振器，包括衬底，所述衬底的上表面由下至上依次设置有温度调节层、隔离层，所述隔离层的上表面外侧边缘设置有框架，所述框架的内侧中部安装有压电薄膜，且所述压电薄膜的下表面与隔离层的上表面之间形成空腔，所述压电薄膜的上表面安装有下电极，所述框架的四边均通过开设穿孔安装有安装杆，所述安装杆的一端与框架的外侧表面平齐，且所述安装杆的另一端在框架的内侧安装有蓄热片，所述蓄热片处于空腔内部，所述框架的上端内侧安装有上电极。本实用新型专利技术结构简单，使用方便快捷，能够有效的提高装置整体的稳定性。

A Frequency Adjustable Thin Film Bodies Acoustic Resonator

【技术实现步骤摘要】
一种频率可调的薄膜体声波谐振器
本技术涉及一种声波谐振器，具体为一种频率可调的薄膜体声波谐振器。
技术介绍
薄膜体声波谐振器是一种新型声波谐振器件，核心结构为上下两层金属和压电薄膜的三明治结构，其原理是利用压电体的电能与机械能转换，由交变场激励起声波谐振，具有体积小、工作频率高、功耗低、插入损耗小等优点。目前，FBAR已被广泛应用于无线通信领域。现有的装置存在如下不足：通过外接热源加热，从而通过改变杨氏模量调节频率，然而在使用过程中，其中的温度速率导致装置整体的性能不稳定。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种频率可调的薄膜体声波谐振器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种频率可调的薄膜体声波谐振器，包括衬底，所述衬底的上表面由下至上依次设置有温度调节层、隔离层，所述隔离层的上表面外侧边缘设置有框架，所述框架的内侧中部安装有压电薄膜，且所述压电薄膜的下表面与隔离层的上表面之间形成空腔，所述压电薄膜的上表面安装有下电极，所述框架的四边均通过开设穿孔安装有安装杆，所述安装杆的一端与框架的外侧表面平齐，且所述安装杆的另一端在框架的内侧安装有蓄热片，所述蓄热片处于空腔内部，所述框架的上端内侧安装有上电极。进一步的，所述框架的外部四侧表面均设置有隔热片，且所述隔热片的侧面与安装杆的端处固定连接。进一步的，所述压电薄膜采用弹性材料制成，且所述下电极的下表面与压电薄膜的上表面粘接。进一步的，所述下电极的上表面通过设置若干导电柱与上电极的下表面连接。进一步的，所述上电极、下电极均采用金属材料制成。进一步的，所述框架在与安装杆连接处均填充有密封胶。与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过在温度调节层的上表面设置框架，将压电薄膜安装在框架的内侧中部，在压电薄膜的上表面以及上方分别设置下电极、上电极，在使用过程中，通过将温度调节层外接热源加热，由空腔内部的及空气等介质进行热量传递，从而由压电薄膜实现频率的改变，同时由于蓄热片与隔热片的设置，在使用过程中，能够有效的保证空腔内部的温度的稳定，从而提高装置整体的稳定性。附图说明图1为本技术整体结构示意图；图2为本技术整体安装杆、蓄热片的安装示意图。图中：1-衬底；2-温度调节层；3-隔离层；4-框架；5-压电薄膜；6-空腔；7-下电极；8-安装杆；9-蓄热片；10-上电极；11-隔热片；12-导电柱。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种频率可调的薄膜体声波谐振器，包括衬底1，所述衬底1的上表面由下至上依次设置有温度调节层2、隔离层3，所述隔离层3的上表面外侧边缘设置有框架4，所述框架4的内侧中部安装有压电薄膜5，且所述压电薄膜5的下表面与隔离层3的上表面之间形成空腔6，所述压电薄膜5的上表面安装有下电极7，所述框架4的四边均通过开设穿孔安装有安装杆8，所述安装杆8的一端与框架4的外侧表面平齐，且所述安装杆8的另一端在框架4的内侧安装有蓄热片9，所述蓄热片9处于空腔6内部，所述框架4的上端内侧安装有上电极10。所述框架4的外部四侧表面均设置有隔热片11，且所述隔热片11的侧面与安装杆8的端处固定连接，增大安装杆8与外界的接触面积，从而增强对外界温度的感应；所述压电薄膜5采用弹性材料制成，且所述下电极7的下表面与压电薄膜5的上表面粘接；所述下电极7的上表面通过设置若干导电柱12与上电极10的下表面连接；所述上电极10、下电极7均采用金属材料制成；所述框架4在与安装杆8连接处均填充有密封胶，保证装置整体的密封性，从而使得空腔6整体密封。工作原理：将装置整体安装完毕后，在使用时，通过将温度调节层2外接热源加热，空腔6内部的温度变化，从而使得空腔6内部空气或介质温度出现变化，并且将温度变化快速的传递至压电薄膜5，从而实现频率调节，则杨氏模量发生变化，频率也会变化，由于蓄热片9、隔热片11的设置，能够有效的保证空腔6内部的温度的稳定，从而提高装置整体的稳定性，在此过程中，由于框架4与安装杆8连接处填充有密封胶，从而有效的提高了装置整体的密封性能，且框架4的外侧表面设置有隔热片11，能够有效的防止温度散失。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种频率可调的薄膜体声波谐振器，包括衬底（1），其特征在于：所述衬底（1）的上表面由下至上依次设置有温度调节层（2）、隔离层（3），所述隔离层（3）的上表面外侧边缘设置有框架（4），所述框架（4）的内侧中部安装有压电薄膜（5），且所述压电薄膜（5）的下表面与隔离层（3）的上表面之间形成空腔（6），所述压电薄膜（5）的上表面安装有下电极（7），所述框架（4）的四边均通过开设穿孔安装有安装杆（8），所述安装杆（8）的一端与框架（4）的外侧表面平齐，且所述安装杆（8）的另一端在框架（4）的内侧安装有蓄热片（9），所述蓄热片（9）处于空腔（6）内部，所述框架（4）的上端内侧安装有上电极（10）。

【技术特征摘要】
1.一种频率可调的薄膜体声波谐振器，包括衬底（1），其特征在于：所述衬底（1）的上表面由下至上依次设置有温度调节层（2）、隔离层（3），所述隔离层（3）的上表面外侧边缘设置有框架（4），所述框架（4）的内侧中部安装有压电薄膜（5），且所述压电薄膜（5）的下表面与隔离层（3）的上表面之间形成空腔（6），所述压电薄膜（5）的上表面安装有下电极（7），所述框架（4）的四边均通过开设穿孔安装有安装杆（8），所述安装杆（8）的一端与框架（4）的外侧表面平齐，且所述安装杆（8）的另一端在框架（4）的内侧安装有蓄热片（9），所述蓄热片（9）处于空腔（6）内部，所述框架（4）的上端内侧安装有上电极（10）。2.根据权利要求1所述的一种频率可调的薄膜体声波谐振器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴又发，
申请(专利权)人：深圳市紫威盛电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44