下载一种频率可调的薄膜体声波谐振器的技术资料

文档序号:21785201

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本实用新型公开了一种频率可调的薄膜体声波谐振器,包括衬底,所述衬底的上表面由下至上依次设置有温度调节层、隔离层,所述隔离层的上表面外侧边缘设置有框架,所述框架的内侧中部安装有压电薄膜,且所述压电薄膜的下表面与隔离层的上表面之间形成空腔,所述...
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