双层感光层卷制造技术

感光层卷具有：支撑体薄膜；和，感光层，其设置于支撑体薄膜上、且包含感光性树脂组合物，感光性树脂组合物包含选自由酚醛树脂、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体和可溶性聚酰亚胺组成的组中的至少1种树脂，而且感光层为具有熔融粘度成为500Pa·s以下的温度点的层。

Double-layer photosensitive coil

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】双层感光层卷
本专利技术涉及感光层卷。
技术介绍
以往，作为半导体装置、液晶显示元件、印刷电路板等的图案形成中利用的图像形成方法，一般而言，已知有光刻法。光刻法中，通常使用有如下方法中的任意一种：将感光性树脂组合物的溶液涂布于覆铜层叠板等基板上并干燥的方法；或，将依次层叠有支撑体、包含感光性树脂组合物的层(以下，也称为“感光层”、和根据需要的覆盖薄膜的感光性树脂层叠体(以下，也称为“干膜抗蚀剂”)层叠在基板上的方法。印刷电路板的制造中，大多使用后者。干膜抗蚀剂有时以卷的形态被保管(参照专利文献1)。专利文献1中，为了从干膜抗蚀剂的卷省略覆盖薄膜来削减制造成本，提出了一种感光性复合体，其依次包含：感光层；和，非粘合性外层，其具有感光层的厚度的五分之一以下的厚度。从干膜抗蚀剂的操作的观点出发，要求在室温下干膜抗蚀剂无粘合性、将干膜抗蚀剂热压接于基板等时(即，层压时)体现流动性(参照专利文献2)。专利文献2中提出了一种感光性覆盖薄膜，其在基板温度20℃下无粘合性，且即使放置于基板上也容易进行位置修正。另外，专利文献3中，确认了通过在感光性树脂组合物中将具有特定结构的酚醛树脂与非离子性表面活性剂组合使用，可兼顾低温固化性与固化膜的耐化学药品性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2001-175000号公报专利文献2：日本特开2003-149803号公报专利文献3：日本特开2013-190697号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题通常，以卷的形态制造感光性树脂层叠体，分切成所需的宽度而使用。然而，感光层由选自由酚醛树脂、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体和可溶性聚酰亚胺组成的组中的至少1种树脂形成的以往的感光性树脂层叠体的情况下，存在进行分切时产生褶皱或裂纹、难以以使截面变得平滑的方式进行分切的问题。用于解决问题的方案本专利技术人等发现：通过调整感光层的熔融粘度、或去除覆盖薄膜，可以解决上述问题，完成了本专利技术。即，本专利技术如以下所述。[1]一种感光层卷，其具有：支撑体薄膜；和，感光层，其设置于前述支撑体薄膜上、且包含感光性树脂组合物，前述感光性树脂组合物包含选自由酚醛树脂、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体和可溶性聚酰亚胺组成的组中的至少1种树脂，且前述感光层为具有熔融粘度成为500Pa·s以下的温度点的层。[2]根据[1]所述的感光层卷，其中，前述感光层为具有熔融粘度成为350Pa·s以下的温度点的层。[3]根据[1]或[2]所述的感光层卷，其中，前述感光层的100℃下的熔融粘度为500Pa·s以下。[4]根据[3]所述的感光层卷，其中，前述感光层的100℃下的熔融粘度为350Pa·s以下。[5]根据[1]～[4]中任一项所述的感光层卷，其中，在前述感光层的设有前述支撑体薄膜的一侧的相反侧具有覆盖薄膜，且前述覆盖薄膜的软化温度为90℃以上。[6]根据[5]所述的感光层卷，其中，前述覆盖薄膜的软化温度为110℃以上。[7]根据[1]～[6]中任一项所述的感光层卷，其中，前述感光层中所含的有机溶剂的量相对于前述感光层的总量为0.1质量％以上且15质量％以下。[8]根据[7]所述的感光层卷，其中，前述感光层中所含的有机溶剂的量相对于前述感光层的总量为1质量％以上且15质量％以下。[9]根据[7]或[8]所述的感光层卷，其中，前述有机溶剂包含选自由γ-丁内酯、丙酮、甲乙酮、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基亚砜、丙二醇单甲醚、叔丁醇和四氢糠醇组成的组中的至少一种。[10]根据[9]所述的感光层卷，其中，前述有机溶剂包含选自由γ-丁内酯、丙酮、甲乙酮、N-甲基-2-吡咯烷酮和二甲基亚砜组成的组中的至少一种。[11]根据[1]～[10]中任一项所述的感光层卷，其中，前述感光性树脂组合物包含前述聚酰亚胺前体。[12]根据[1]～[10]中任一项所述的感光层卷，其中，前述感光性树脂组合物包含前述聚苯并噁唑前体。[13]根据[1]～[10]中任一项所述的感光层卷，其中，前述感光性树脂组合物包含前述可溶性聚酰亚胺。[14]根据[1]～[10]中任一项所述的感光层卷，其中，前述感光性树脂组合物包含前述酚醛树脂。[15]根据[14]所述的感光层卷，其中，前述酚醛树脂具有下述通式(1)所示的结构作为重复单元：{式(1)中，a为1～3的整数，b为0～3的整数，为1≤(a+b)≤4，R1表示选自由碳数1～20的1价的有机基团、卤素原子、硝基和氰基组成的组中的1价的取代基，当b为2或3时的多个R1任选彼此相同或不同，且X表示选自由任选具有不饱和键的碳数2～10的2价的链状脂肪族基团、碳数3～20的2价的脂环式基团、下述通式(2)所示的2价的氧化亚烷基、和具有芳香族环的2价的有机基团组成的组中的2价的有机基团，——CpH2pO——(式2)(式(2)中，p为1～10的整数。)}。[16]根据[15]所述的感光层卷，其中，前述通式(1)中的X为选自由下述通式(3)所示的2价的基团、和下述通式(4)所示的2价的基团组成的组中的2价的有机基团，{式(3)中，R2、R3、R4和R5各自独立地为氢原子、碳数1～10的1价的脂肪族基团、或氢原子的一部分或全部用氟原子取代而成的碳数1～10的1价的脂肪族基团，n1为0～4的整数，当n1为1～4的整数时的R6为卤素原子、羟基、或1价的有机基团，至少1个R6为羟基，当n1为2～4的整数时的多个R6任选彼此相同或不同。}{式(4)中，R7、R8、R9和R10各自独立地表示氢原子、碳数1～10的1价的脂肪族基团、或氢原子的一部分或全部用氟原子取代而成的碳数1～10的1价的脂肪族基团，且W为单键、选自由任选用氟原子取代的碳数1～10的链状脂肪族基团、任选用氟原子取代的碳数3～20的脂环式基团、下述通式(2)所示的2价的氧化亚烷基、和下述式(5)所示的2价的基团组成的组中的2价的有机基团，——CpH2pO——(式2)(式(2)中，p为1～10的整数。)[17]根据[15]或[16]所述的感光层卷，其中，前述通式(1)中的X为下述式(6)所示的2价的有机基团，[18]根据[17]所述的感光层卷，其中，前述通式(1)中的X为下述式(7)所示的2价的有机基团，[19]根据[15]～[18]中任一项所述的感光层卷，其中，前述酚醛树脂在同一树脂骨架内具有下述通式(8)所示的重复单元、和下述通式(9)所示的重复单元这两者，{式(8)中，R11为选自由烃基和烷氧基组成的组中的碳数1～10的1价的基团，n2为1～3的整数，n3为0～2的整数，m1为1～500的整数，为2≤(n2+n3)≤4，当n3为2时的R11任选彼此相同或不同。}{式(9)中，R12和R13各自独立地为选自由烃基和烷氧基组成的组中的碳数1～10的1价的基团，n4为1～3的整数，n5为0～2的整数，n6为0～3的整数，m2为1～500的整数，为2≤(n4+n5)≤4，当n5为2时的R12任选彼此相同或不同，当n6为2或3时的R13任选彼此相同或不同。}。[20]一种感光层卷，其具有：支撑体薄膜；和，感光层，其设置于前述支撑体薄膜上、且包含感光性树脂组合物，前述感光性树脂组合物包含选自由酚醛树脂、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体和可溶性聚酰亚胺组成的组中的至少1种树脂，且前述支撑体薄本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光层卷，其具有：支撑体薄膜；和，感光层，其设置于所述支撑体薄膜上、且包含感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物包含选自由酚醛树脂、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体和可溶性聚酰亚胺组成的组中的至少1种树脂，且所述感光层为具有熔融粘度成为500Pa·s以下的温度点的层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.12.20 JP 2016-2464341.一种感光层卷，其具有：支撑体薄膜；和，感光层，其设置于所述支撑体薄膜上、且包含感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物包含选自由酚醛树脂、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体和可溶性聚酰亚胺组成的组中的至少1种树脂，且所述感光层为具有熔融粘度成为500Pa·s以下的温度点的层。2.根据权利要求1所述的感光层卷，其中，所述感光层为具有熔融粘度成为350Pa·s以下的温度点的层。3.根据权利要求1或2所述的感光层卷，其中，所述感光层的100℃下的熔融粘度为500Pa·s以下。4.根据权利要求3所述的感光层卷，其中，所述感光层的100℃下的熔融粘度为350Pa·s以下。5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光层卷，其中，在所述感光层的设有所述支撑体薄膜的一侧的相反侧具有覆盖薄膜，且所述覆盖薄膜的软化温度为90℃以上。6.根据权利要求5所述的感光层卷，其中，所述覆盖薄膜的软化温度为110℃以上。7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光层卷，其中，所述感光层中所含的有机溶剂的量相对于所述感光层的总量为0.1质量％以上且15质量％以下。8.根据权利要求7所述的感光层卷，其中，所述感光层中所含的有机溶剂的量相对于所述感光层的总量为1质量％以上且15质量％以下。9.根据权利要求7或8所述的感光层卷，其中，所述有机溶剂包含选自由γ-丁内酯、丙酮、甲乙酮、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基亚砜、丙二醇单甲醚、叔丁醇和四氢糠醇组成的组中的至少一种。10.根据权利要求9所述的感光层卷，其中，所述有机溶剂包含选自由γ-丁内酯、丙酮、甲乙酮、N-甲基-2-吡咯烷酮和二甲基亚砜组成的组中的至少一种。11.根据权利要求1～10中任一项所述的感光层卷，其中，所述感光性树脂组合物包含所述聚酰亚胺前体。12.根据权利要求1～10中任一项所述的感光层卷，其中，所述感光性树脂组合物包含所述聚苯并噁唑前体。13.根据权利要求1～10中任一项所述的感光层卷，其中，所述感光性树脂组合物包含所述可溶性聚酰亚胺。14.根据权利要求1～10中任一项所述的感光层卷，其中，所述感光性树脂组合物包含所述酚醛树脂。15.根据权利要求14所述的感光层卷，其中，所述酚醛树脂具有下述通式(1)所示的结构作为重复单元：式(1)中，a为1～3的整数，b为0～3的整数，为1≤(a+b)≤4，R1表示选自由碳数1～20的1价的有机基团、卤素原子、硝基和氰基组成的组中的1价的取代基，当b为2或3时的多个R1任选彼此相同或不同，且X表示选自由任选具有不饱和键的碳数2～10的2价的链状脂肪族基团、碳数3～20的2价的脂环式基团、下述通式(2)所示的2价的氧化亚烷基、和具有芳香族环的2价的有机基团组成的组中的2价的有机基团，-CpH2pO-(式2)式(2)中，p为1～10的整数。16.根据权利要求15所述的感光层卷，其中，所述通式(1)中的X为选自由下述通式(3)所示的2价的基团、和下述通式(4)所示的2价的基团组成的组中的2价的有机基团，式(3)中，R2、R3、R4和R5各自独立地为氢原子、碳数1～10的1价的脂肪族基团、或氢原子的一部分或全部用氟原子取代而成的碳数1～10的1价的脂肪族基团，n1为0～4的整数，当n1为1～4的整数时的R6为卤素原子、羟基、或1价的有机基团，至少1个R6为羟基，当n1为2～4的整数时的多个R6任选彼此相同或不同，式(4)中，R7、R8、R9和R10各自独立地表示氢原子、碳数1～10的1价的脂肪族基团、或氢原子的一部分或全部用氟原子取代而成的碳数1～10的1价的脂肪族基团，且W为单键、选自由任选用氟原子取代的碳数1～10的链状脂肪族基团、任选用氟原子取代的碳数3～20的脂环式基团、下述通式(2)所示的2价的氧化亚烷基、和下述式(5)所示的2价的基团组成的组中的2价的有机基团，-CpH2pO-(式2)式(2)中，p为1～10的整数，17.根据权利要求15或16所述的感光层卷，其中，所述通式(1)中的X为下述式(6)所示的2价的有机基团，18.根据权利要求17所述的感光层卷，其中，所述通式(1)中的X为下述式(7)所示的2价的有机基团，19.根据权利要求15～18中任一项所述的感光层卷，其中，所述酚醛树脂在同一树脂骨架内具有下述通式(8)所示的重复单元、和下述通式(9)所示的重复单元这两者，式(8)中，R11为选自由烃基和烷氧基组成的组中的碳数1～10的1价的基团，n2为1～3的整数，n3为0～2的整数，m1为1～500的整数，为2≤(n2+n3)≤4，当n3为2时的R11任选彼此相同或不同，式(9)中，R12和R13各自独立地为选自由烃基和烷氧基组成的组中的碳数1～10的1价的基团，n4为1～3的整数，n5为0～2的整数，n6为0～3的整数，m2为1～500的整数，为2≤(n4+n5)≤4，当n5为2时的R12任选彼此相同或不同，当n6为2或3时的R13任选彼此相同或不同。20.一种感光层卷，其具有：支撑体薄膜；和，感光层，其设置于所述支撑体薄膜上、且包含感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物包含选自由...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤田充，谷崎洋子，
申请(专利权)人：旭化成株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP