力检测装置、机器人以及电子部件输送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。力检测装置具备第一基部、第二基部、以及配置于它们之间的电荷输出元件。电荷输出元件具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，这些基板沿与第二基部的安装面的法线正交的方向层叠。而且，力检测装置基于与和第一基板的层叠方向正交的第一检测方向的剪切力对应的第一输出以及与和第二基板的层叠方向正交、和第一检测方向交叉的第二检测方向的剪切力对应的第二输出对外力进行检测。

Force Detection Device, Robot and Electronic Component Conveyor

【技术实现步骤摘要】
力检测装置、机器人以及电子部件输送装置本申请是申请号为201410610416.5、申请日为2014年11月3日、专利技术名称为“力检测装置、机器人以及电子部件输送装置”的申请的分案申请。
本专利技术涉及力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。
技术介绍
近年来，以提高生产效率为目的，正在推进向工厂等生产施设导入工业用机器人。作为上述的工业用机器人，以针对铝板等母材实施机械加工的工作机械为代表。在工作机械中有内置有在实施机械加工时，检测针对母材的力的力检测装置的工作机械(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的力测量装置(力检测装置)能够使用作为压电元件的水晶，对剪切力、拉力、压缩力等进行检测。专利文献1：日本特开平10-68665号公报然而，在作为压电元件使用了水晶的力测量装置中，水晶因机械加工过程中产生的热而变形，其结果，导致容易产生压电元件的输出中的相对于真值的噪声成分。而且，在专利文献1所记载的力测量装置中，未考虑上述的噪声对策。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种不易受温度的变动而带来的影响的力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。本专利技术是为了解决上述课题的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种力检测装置，其特征在于，具备：第一基部；第二基部；第一压电元件，被所述第一基部和所述第二基部夹持，并对施加于所述第一基部和所述第二基部的外力进行检测；以及第二压电元件，被所述第一基部和所述第二基部夹持，并对施加于所述第一基部和所述第二基部的外力进行检测，所述第一基部包含固定于测量对象的第一安装面，所述第二基部包含固定于测量对象的第二安装面，所述第一压电元件以及所述第二压电元件分别具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，所述第一基板和所述第二基板被平行地层叠，在所述第一基板和所述第二基板的层叠方向上，所述第一基板的x轴与所述第二基板的x轴交叉，所述第一基板的z轴...

【技术特征摘要】
2013.11.05 JP 2013-229791;2013.11.05 JP 2013-229791.一种力检测装置，其特征在于，具备：第一基部；第二基部；第一压电元件，被所述第一基部和所述第二基部夹持，并对施加于所述第一基部和所述第二基部的外力进行检测；以及第二压电元件，被所述第一基部和所述第二基部夹持，并对施加于所述第一基部和所述第二基部的外力进行检测，所述第一基部包含固定于测量对象的第一安装面，所述第二基部包含固定于测量对象的第二安装面，所述第一压电元件以及所述第二压电元件分别具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，所述第一基板和所述第二基板被平行地层叠，在所述第一基板和所述第二基板的层叠方向上，所述第一基板的x轴与所述第二基板的x轴交叉，所述第一基板的z轴与所述第二基板的z轴交叉，所述第一压电元件以及所述第二压电元件分别被设置为所述第一安装面或者所述第二安装面的法线与所述层叠方向不同，所述第一压电元件以及所述第二压电元件未相互配置于同一平面上，且未相互平行地配置。2.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，所述第一压电元件对所述第一基板以及所述第二基板的面内的正交的2个方向和与所述2个方向正交的1个方向合计3个方向的外力进行检测。3.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，具备多个加压螺钉，该加压螺钉设置于所述第一压电元件的周围并对所述第一压电元件施加加压，所述加压螺钉的加压方向为与所述第一基板和所述第二基板的层叠方向平行的方向。4.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，所述第一基部以及所述第二基部中的至少一方的基部呈板状，所述第一压电元件以及所述第二压电元件中所述第一基板和所述第二基板相对于所述一方的基部倾斜地配置。5.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，所述第一基部以及所述第二基部中的至少一方的基部呈板状，所述第一压电元件、所述第二压电元件、第三压电元件以及第四压电元件分别配置于从所述一方的基部的中心部分离的位置，其中，所述第三压电元件被所述第一基部和所述第二基部夹持，并对施加于所述第一基部和所述第二基部的外力进行检测，所述第四压电元件被所述第一基部和所述第二基部夹持，并对施加于所述第一基部和所述第二基部的外力进行检测。6.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，所述第一压电元件具有由X切向水晶板构成...

【专利技术属性】
技术研发人员：神谷俊幸，河合宏纪，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP