一种可兼容不同尺寸底材的真空涂布台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种可兼容不同尺寸底材的真空涂布台，是涂布机上的真空涂布台。它公开了真空涂布台由上下两块板叠合密封而成，上板有上下贯穿的吸附孔，上板的内部气道有吸附孔、真空腔，吸附孔和真空腔通过采用文丘里原理设计的三级变截面微流道相连接起来，真空腔与真空发生装置连接。本实用新型专利技术的优点是真空涂布台上吸附孔会由于涂布台内部缝隙的壅塞以及泄漏的吸附孔气流造成的文丘里低压，保持对试样的高真空附着力，是一种经济便利的真空涂布台。

A Vacuum Coating Platform Compatible with Substrates of Different Sizes

【技术实现步骤摘要】
一种可兼容不同尺寸底材的真空涂布台
本技术涉及涂布机上的真空涂布台，具体地说，是一种可兼容不同尺寸底材的真空涂布台。
技术介绍
在涂布台上涂膜制样的时候，经常会有制备不同尺寸的样品的要求。当制备样品的尺寸比涂布平台的尺寸小的时候，就需要使用遮盖物遮挡涂布台上多余的吸附孔，或者采用更大排量的真空泵来保证涂膜底材能被吸附在真空涂布台上，在实际应用中，前一方法不便利，后一方法不经济。因此，有必要设计出一种经济便利的真空涂布台。
技术实现思路
为了克服现有涂布台在实际使用中的不足之处，本技术提供了一种经济便利的真空涂布台。为了实现上述专利技术目的，本申请采用以下技术方案：包括真空涂布台和真空发生装置，真空涂布台由上下两块板叠合密封而成，上板有上下贯穿的吸附孔，上板的内部气道有吸附孔、真空腔，吸附孔和真空腔通过采用文丘里原理设计的三级变截面微流道相连接起来，真空腔与真空发生装置连接。前述吸附孔是通孔，通孔的直径可以是上下一致的，也可以考虑加工难度做成上小下大。在相邻的两个吸附孔之间设有第一级微流道，第一级微流道连接第一级变径流道，第一级变径流道连接第二级微流道，第二级微流道连接第二级变径流道，第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可兼容不同尺寸底材的真空涂布台，包括真空涂布台和真空发生装置，其特征在于：真空涂布台由上下两块板叠合密封而成，上板有上下贯穿的吸附孔，上板的内部气道有吸附孔、真空腔，吸附孔和真空腔通过采用文丘里原理设计的三级变截面微流道相连接起来，真空腔与真空发生装置连接。

【技术特征摘要】
1.一种可兼容不同尺寸底材的真空涂布台，包括真空涂布台和真空发生装置，其特征在于：真空涂布台由上下两块板叠合密封而成，上板有上下贯穿的吸附孔，上板的内部气道有吸附孔、真空腔，吸附孔和真空腔通过采用文丘里原理设计的三级变截面微流道相连接起来，真空腔与真空发生装置连接。2.根据权利要求1所述的真空涂布台，其特征在于：所述吸附孔的直径上下一致，或是上小下大。3.根据权利要求1所述的真空涂布台，其特征在于：相邻的每两个吸附孔之间设有第一级微流道，第一级微流道连接第一级变径流道，第一级变径流道连接第二级微流道，第二级微流道连接第二级变径流道，第二级变径流道连接第三级微流道，第三级微流道连接真空腔。4.根据权利要求3所述的真空涂布台，其特征在于：吸附孔在横向和纵向上均...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟明，何汶华，
申请(专利权)人：标格达精密仪器广州有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44