【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD设备的反应室结构
本专利技术涉及管式PECVD设备，尤其涉及一种管式PECVD设备的反应室结构。
技术介绍
光伏发电系统是一种利用太阳能电池半导体材料的“光伏效应”将太阳光辐射能直接装换为电能的一种新型发电系统。太阳能电池，又称光伏电池，是光伏发电系统中最核心的器件。目前，技术最成熟，并具有商业价值的、市场应用最广的太阳能电池是晶体硅太阳能电池。太阳光在晶体硅表面的反射损失率高达35％左右，严重影响太阳能电池的最终转换效率。为提高转换效率，即，减少晶体硅表面对太阳光的反射，常在晶体硅表面镀一层或多层二氧化硅或氮氧硅或氮化硅减反射膜。减反射膜不但可以减少晶体硅表面对太阳光的发射，而且可以对晶体硅表面起到钝化和保护作用。PECVD设备采用的等离子体增强化学气相沉积技术，在低压条件下，利用中频电场使反应气体产生辉光放电，电离出等离子体，促进反应活性基团的生成，从而使得硅烷和氨气能在较低的温度下反应，减少了工艺的复杂性，并有效防止了晶体硅太阳能电池寿命的衰减，广泛应用于在晶体硅太阳能电池表面镀减反射膜。针对当前用于晶体硅太阳能电池的生产制造过程中制备减反...
【技术保护点】
1.一种管式PECVD设备的反应室结构，其特征在于：包括石英炉管(1)、过渡筒(2)、炉门(3)和后端端面法兰(4)，所述过渡筒(2)设置在石英炉管(1)的前端，所述炉门(3)与过渡筒(2)连接，所述后端端面法兰(4)设于石英炉管(1)的后端，所述后端端面法兰(4)外侧设有进气管(5)，内侧设有均匀布气板(6)，所述均匀布气板(6)上均匀分布多个布气孔(7)，所述均匀布气板(6)与后端端面法兰(4)内侧之间设有缓冲进气腔(8)，所述进气管(5)和布气孔(7)均与缓冲进气腔(8)连通，所述过渡筒(2)内设有内盖(9)，所述内盖(9)与炉门(3)连接，所述内盖(9)盖设在石英炉...
【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD设备的反应室结构，其特征在于：包括石英炉管(1)、过渡筒(2)、炉门(3)和后端端面法兰(4)，所述过渡筒(2)设置在石英炉管(1)的前端，所述炉门(3)与过渡筒(2)连接，所述后端端面法兰(4)设于石英炉管(1)的后端，所述后端端面法兰(4)外侧设有进气管(5)，内侧设有均匀布气板(6)，所述均匀布气板(6)上均匀分布多个布气孔(7)，所述均匀布气板(6)与后端端面法兰(4)内侧之间设有缓冲进气腔(8)，所述进气管(5)和布气孔(7)均与缓冲进气腔(8)连通，所述过渡筒(2)内设有内盖(9)，所述内盖(9)与炉门(3)连接，所述内盖(9)盖设在石英炉管(1)的管口，所述内盖(9)上设有导流管(10)，所述过渡筒(2)的圆周面上设有抽气口(11)，所述导流管(10)一端与石英炉管(1)连通，另一端与抽气口(11)连通。2.根据权利要求1所述的管式PECVD设备的反应室结构，其特征在于：所述均匀布气板(6)与石英炉管(1)同轴，所述导流管(10)的入口与石英炉管(1)同轴。3.根据权利要求1所述的管式PECVD设备的反应室结构，其特征在于：所述内盖(9)通过伸缩组件(12)固定在炉门(3)上。4.根据权利要求3所述的管式PECVD设备的反应室结构，其特征在于：所述伸缩组件(12)包括波纹管(13)和位于波纹管(13)两端的固定杆(14)，一端的固定杆(14)与内盖(9)连接，另一端的固定杆(14)与炉门(3)连接。5.根据权利要求1至4任意一项所述的管式PECVD设备的反应室结构，其特征在于：所述石英炉管(1)的前端设有前端法兰组件，所述前端法兰组件包括前端固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭艳，吴得轶，李明，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43
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