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本发明公开了一种管式PECVD设备的反应室结构，包括石英炉管、过渡筒、炉门和后端端面法兰，过渡筒在石英炉管的前端，并与炉门连接，后端端面法兰设于石英炉管的后端，后端端面法兰外侧设有进气管，内侧设有均匀布气板，均匀板上有多个布气孔，均匀板与后...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

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