单晶炉隔离阀板移动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板，隔离阀板封堵所述的开口，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂，旋转臂固定连接主轴，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔，上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构。在单晶炉作业过程中，采用隔离阀板移动装置，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的炉体空间浪费、晶棒拉制长度受限的现象。

Isolation Valve Plate Moving Device for Single Crystal Furnace

【技术实现步骤摘要】
单晶炉隔离阀板移动装置
本技术涉及单晶炉，具体涉及一种单晶炉隔离阀板移动装置。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。单晶炉的隔离阀板移动装置的作用如下：在单晶硅拉制过程中，通过隔离阀板移动装置将隔离阀板移开或闭合，减少作业劳动强度，防止隔离阀板关不严，造成单晶硅被氧化等问题。一般的单晶炉隔离阀都没有隔离阀板移动装置，都是采用翻转隔离阀板的方式，容易造成隔离阀芯翻转占用空间大，影响单晶棒拉制长度受限等现象。
技术实现思路
针对上述技术问题，本技术提供了一种单晶炉隔离阀板移动装置，在单晶炉作业过程中，采用隔离阀板移动装置，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的炉体空间浪费、晶棒拉制长度受限的现象。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板，隔离阀板封堵所述的开口，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂，旋转臂固定连接主轴，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔，上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构，驱动机构包括Y型接头、气缸、销轴，Y型接头包括主接头以及两个副接头，销轴沿主轴径向穿过长条形孔且该销轴两端分别连接一个副接头，副接头连接主接头，主接头铰连接气缸，气缸安装在上板上。作为上述方案的优选，主轴上固定有轴水套，轴水套径向固定连接旋转臂。作为上述方案的优选，下轴套包括固定在下板上的轴端支撑座以及与该轴端支撑座过盈配合的下铜套，下铜套与穿过该下铜套的主轴间隙配合，轴端支撑座与所述下板之间密封配合。作为上述方案的优选，上轴套包括上安装座、上铜套，上安装座固定在上板上且与所述上板密封配合，上铜套与所述上安装座过盈配合，上铜套与穿过该上铜套的主轴间隙配合。作为上述方案的优选，上安装座上固定有提升气缸安装座，提升气缸安装座上固定安装提升气缸。作为上述方案的优选，主接头为连接销，连接销连接单肘接头，单肘接头连接气缸。本技术的有益效果是：在单晶炉作业过程中，采用隔离阀板移动装置，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的炉体空间浪费、晶棒拉制长度受限的现象；隔离阀板移动装置，减少人工旋转和升降隔离阀阀板的时间和劳动强度，提高控制的准确性；隔离阀板移动装置，利用气缸实现隔离阀阀板的升降和移动，替代了以前隔离阀阀板只能翻转，降低真空度不够等因素对设备的影响，同时，因为其使用性强，便于推广。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是图1的剖面图；图3是图1的立体图一；图4是图1的立体图二。具体实施方式下面结合实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。如图1-4所示，单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板1、下板2，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板3，隔离阀板封堵所述的开口5，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂4，旋转臂固定连接主轴6，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔。上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构，驱动机构包括Y型接头13、气缸、销轴，Y型接头包括主接头以及两个副接头，销轴沿主轴径向穿过长条形孔且该销轴两端分别连接一个副接头17，副接头连接主接头，主接头铰连接气缸，气缸固定安装在上板上。主轴上固定有轴水套，轴水套径向固定连接旋转臂。下轴套包括固定在下板上的轴端支撑座7以及与该轴端支撑座过盈配合的下铜套8，下铜套与穿过该下铜套的主轴间隙配合，轴端支撑座与所述下板之间密封配合。上轴套包括上安装座10、上铜套9，上安装座固定在上板上且与所述上板密封配合，上铜套与所述上安装座过盈配合，上铜套与穿过该上铜套的主轴间隙配合。上安装座上固定有提升气缸安装座11，提升气缸安装座上固定安装提升气缸12。主接头为连接销14，连接销连接单肘接头15，单肘接头连接气缸16。提升气缸驱动主轴向下板方向运动，主轴带动轴水套进而带动隔离阀板向下板运动，直至隔离阀板封堵开口。在需要打开开口时，提升气缸驱动主动向上板运动，主动带动轴水套进而带动隔离阀板向上板运动，使得隔离阀板和下板分离，气缸拉动单肘接头，单肘接头带动Y型接头，Y型接头带动主轴转动，因隔离阀板与主轴固定连接，在主轴转动时带动隔离阀板转动。其中，因单肘接头通过Y型接头、销轴与主轴连接带动主轴转动，因销轴位于长条形孔内，在主轴上或下运动运动时，长条形孔的存在，使销轴的位置保持不变，避免产生干涉。对于本领域的技术人员来说，依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板，隔离阀板封堵所述的开口，其特征在于，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂，旋转臂固定连接主轴，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔，上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构，驱动机构包括Y型接头、气缸、销轴，Y型接头包括主接头以及两个副接头，销轴沿主轴径向穿过长条形孔且该销轴两端分别连接一个副接头，副接头连接主接头，主接头铰连接气缸，气缸安装在上板上。

【技术特征摘要】
1.单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板，隔离阀板封堵所述的开口，其特征在于，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂，旋转臂固定连接主轴，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔，上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构，驱动机构包括Y型接头、气缸、销轴，Y型接头包括主接头以及两个副接头，销轴沿主轴径向穿过长条形孔且该销轴两端分别连接一个副接头，副接头连接主接头，主接头铰连接气缸，气缸安装在上板上。2.如权利要求1所述的单晶炉隔离阀板移动装置，其特征在于，主轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：周波，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33