晶圆平边识别纠偏装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种晶圆平边识别纠偏装置，包括：旋转机构，具有一放置晶圆的承载部、连接于所述承载部下方用于在所述晶圆的平边位置偏离预设位置时带动所述晶圆转动至预设位置的旋转控制组件；晶圆导正机构，包括一控制所述晶圆导正的导正机构和控制所述导正机构运动的导正驱动机构；摄像机构，悬置于所述晶圆上方，与所述旋转机构相连，用于获取所述晶圆的图像、通过所述图像识别所述晶圆的平边位置并根据所述平边位置控制所述旋转机构旋转。本实用新型专利技术可以完成晶圆平边的识别和纠偏，大大降低人工摆放晶圆出错的几率，降低产品的损耗，提高生产效率，降低劳动力成本及生产成本。

Deviation Correction Device for Wafer Flat Edge Recognition

【技术实现步骤摘要】
晶圆平边识别纠偏装置
本技术涉及半导体
，特别是涉及晶圆控制设备
，具体为一种晶圆平边识别纠偏装置。
技术介绍
晶圆的形状是带一条平边的圆形，由于生产工艺的需求，在某些工艺中，晶圆在石墨盘中的平边朝向以及晶圆在晶圆框架盒(cassette)中的平边朝向都有严格的要求，在某些石墨盘中有固定的平边朝向，且每个朝向不同，而在晶圆框架盒(cassette)中则要求所有平边朝上。目前半导体行业大多是人工上下料，人工摆放晶圆的平边朝向，在自动化设备中就需要进行自动识别。目前半导体行业的晶圆都是通过人工进行上下料将晶圆摆放到石墨盘或者晶圆框架盒(cassette)中，平边的角度可能存在一定的偏差，且长时间工作，操作人员容易产生疲劳增加出错的几率。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种晶圆平边识别纠偏装置，用于解决现有技术中通过人工摆放晶圆带来的晶圆平边摆放容易出现偏差，出错率高而且耗费人力的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种晶圆平边识别纠偏装置，所述晶圆平边识别纠偏装置包括：旋转机构，具有一放置晶圆的承载部、连接于所述承载部下方用于在所述晶圆的平边位置偏离预设位置时带动所述晶圆转动至预设位置的旋转控制组件；晶圆导正机构，包括一控制所述晶圆导正的导正机构和控制所述导正机构运动的导正驱动机构；摄像机构，悬置于所述晶圆上方，与所述旋转机构相连，用于获取所述晶圆的图像、通过所述图像识别所述晶圆的平边位置并根据所述平边位置控制所述旋转机构旋转。于本技术的一实施例中，所述晶圆平边识别纠偏装置还包括：第一支架，包括用于支撑所述旋转机构的支撑架和装设于所述支撑架顶部用于支撑所述晶圆导正机构的支撑面板。于本技术的一实施例中，所述导正机构包括装设于所述承载部两侧相对设置的第一导正夹爪和第二导正夹爪。于本技术的一实施例中，所述第一导正夹爪和所述第二导正夹爪分别具有一用于将所述晶圆导正的导向凹陷口和与所述导正驱动机构相连的连接部。于本技术的一实施例中，所述导正驱动机构包括：分别带动所述第一导正夹爪和所述第二导正夹爪运动的第一导向块和第二导向块；与所述第一导向块和所述第二导向块相连控制所述第一导向块和所述第二导向块运动的气缸。于本技术的一实施例中，所述承载部为一真空吸盘。于本技术的一实施例中，所述旋转控制组件包括：连接所述承载部下方带动所述承载部转动的转轴和驱动所述转轴转动的伺服电机。于本技术的一实施例中，所述晶圆平边识别纠偏装置还包括：用于支撑所述摄像模块以将所述摄像模块悬置于所述晶圆上方的第二支架。于本技术的一实施例中，所述摄像模块包括一摄像头和与所述摄像头相连的图像处理芯片。于本技术的一实施例中，所述摄像机构连接有为摄像提供光源的照明灯。如上所述，本技术的一种晶圆平边识别纠偏装置，具有以下有益技术效果：1、本技术将晶圆摆放到旋转机构上，通过夹爪气缸带动导正夹爪将晶圆导正，通过摄像机构识别晶圆的平边角度，通过驱动旋转机构使晶圆转到所需要的平边角度，完成晶圆平边的识别和纠偏，大大降低人工摆放晶圆出错的几率，降低产品的损耗，提高生产效率，降低劳动力成本及生产成本。2、本技术结构简单，经济方便，具有较高的实用性。附图说明图1显示为本技术公开的一种晶圆平边识别纠偏装置的整体结构示意图。图2显示为本技术公开的一种晶圆平边识别纠偏装置的气缸夹紧状态结构示意图。图3显示为本技术公开的一种晶圆平边识别纠偏装置的气缸松开状态结构示意图。图4显示为本技术公开的一种晶圆平边识别纠偏装置的导正驱动机构的结构示意图。元件标号说明100晶圆平边识别纠偏装置110旋转机构111转轴112伺服电机120晶圆导正机构121导正机构121a第一导正夹爪121a1第一导向凹陷口121a2第一连接部121b第二导正夹爪121b1第二导向凹陷口121b2第二连接部122导正驱动机构122a第一导向块122b第二导向块122c气缸122d连接部130摄像机构140第一支架141支撑架142支撑面板150第二支架160照明灯200晶圆具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。请参阅附图1至图4。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。本实施例提供一种晶圆平边识别纠偏装置100，用于解决现有技术中通过人工摆放晶圆带来的晶圆平边摆放容易出现偏差，出错率高而且耗费人力的问题。以下将详细说明本实施例中晶圆平边识别纠偏装置100的原理及实施方式，使本领域技术人员不需要创造性劳动即可理解本实施例中的一种晶圆平边识别纠偏装置100。如图1所示，本实施例提供一种晶圆平边识别纠偏装置100，所述晶圆平边识别纠偏装置100100包括：旋转机构110，晶圆导正机构120以及摄像机构130。以下对本实施例中所述晶圆平边识别纠偏装置100进行详细说明。于本实施例中，所述旋转机构110具有一放置晶圆200的承载部、连接于所述承载部下方用于在所述晶圆200的平边位置偏离预设位置时带动所述晶圆200转动至预设位置的旋转控制组件。具体地，于本实施例中，所述承载部为一真空吸盘。通过机器人抓取晶圆200，将所述晶圆200放在承载部上，真空吸盘吸住所述晶圆200。于本实施例中，所述旋转控制组件包括：连接所述承载部下方带动所述承载部转动的转轴111和驱动所述转轴111转动的伺服电机112。所述伺服电机112与所述摄像机构130相连，根据所述摄像机构130的控制带动所述转轴111转动，所述转轴111带动所述真空吸盘转动，所述晶圆200随着所述真空吸盘一起转动。于本实施例中，所述晶圆导正机构120包括一控制所述晶圆200导正的导正机构121和控制所述导正机构121运动的导正驱动机构122。具体地，于本实施例中，所述导正机构121包括装设于所述承载部两侧相对设置的第一导正夹爪121a和第二导正夹爪121b。更近一步地，如图2和图3所示，所述第一导正夹爪121a和所述第二导正夹爪121b分别具有一用于将所述晶圆200导正的导向凹陷口和与所述导正驱动机构122相连的连接部122d。即所述第一导正夹爪121a具有第一导向凹陷口121a1和第一连接部121a2；所述第二导正夹爪121b具有第二导向凹陷口121b1和第二连接部121b2。于本实施例中，如图4所示，所述导正驱动机构122包括：分别带动所述第一导正夹爪121a和所述第二导正夹爪121b运动的第一导向块122a和第二导向块122b；与所述第一导向块122a和所述第二导向块122b相连控制所述第一导向块122a和所述第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆平边识别纠偏装置，其特征在于：所述晶圆平边识别纠偏装置包括：旋转机构，具有一放置晶圆的承载部、连接于所述承载部下方用于在所述晶圆的平边位置偏离预设位置时带动所述晶圆转动至预设位置的旋转控制组件；晶圆导正机构，包括一控制所述晶圆导正的导正机构和控制所述导正机构运动的导正驱动机构；摄像机构，悬置于所述晶圆上方，与所述旋转机构相连，用于获取所述晶圆的图像、通过所述图像识别所述晶圆的平边位置并根据所述平边位置控制所述旋转机构旋转。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆平边识别纠偏装置，其特征在于：所述晶圆平边识别纠偏装置包括：旋转机构，具有一放置晶圆的承载部、连接于所述承载部下方用于在所述晶圆的平边位置偏离预设位置时带动所述晶圆转动至预设位置的旋转控制组件；晶圆导正机构，包括一控制所述晶圆导正的导正机构和控制所述导正机构运动的导正驱动机构；摄像机构，悬置于所述晶圆上方，与所述旋转机构相连，用于获取所述晶圆的图像、通过所述图像识别所述晶圆的平边位置并根据所述平边位置控制所述旋转机构旋转。2.根据权利要求1所述的晶圆平边识别纠偏装置，其特征在于：所述晶圆平边识别纠偏装置还包括：第一支架，包括用于支撑所述旋转机构的支撑架和装设于所述支撑架顶部用于支撑所述晶圆导正机构的支撑面板。3.根据权利要求1所述的晶圆平边识别纠偏装置，其特征在于：所述导正机构包括装设于所述承载部两侧相对设置的第一导正夹爪和第二导正夹爪。4.根据权利要求3所述的晶圆平边识别纠偏装置，其特征在于：所述第一导正夹爪和所述第二导正夹爪分别具有一用于将所述晶圆导正的导向...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈朝星，
申请(专利权)人：上海福赛特机器人有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31