一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及真空仪器仪表技术领域，尤其涉及一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法。该微型真空泵抽气性能测试装置包括第一密封罩、第二密封罩、第一阀门、第二阀门、密封容器、计量单元和测量单元；第一密封罩与第二密封罩连通，第二密封罩的出口端用于与待测微型真空泵的进气口连通；第一阀门设置于第一密封罩与所第二密封罩之间；第二阀门设置于第二密封罩的出口端；密封容器的入口端用于与待测微型真空泵的出气口连通，其内盛装有液体；计量单元用于称量所述密封容器重量；测量单元用于测量所述第一密封罩内的真空度。本发明专利技术提供的微型真空泵抽气性能自动测试装置及方法，操作简单，节省了人力物力，提高了测试效率。

A Testing Device and Method for Pumping Performance of Miniature Vacuum Pump

【技术实现步骤摘要】
一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法
本专利技术涉及真空仪器仪表
，尤其涉及一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法。
技术介绍
随着仪器仪表工业的蓬勃发展，体积小巧、无油环保的微型真空泵得到了越来越广泛的使用。目前，由于微型真空泵流量小、持续时间长并且对测试参数精度要求高，对微型真空泵单位时间内气体体积的变化量以及极限压强的测量须通过复杂的过程进行逐一测试，操作复杂，浪费人力物力，测试效率较低。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题针对现有存在的技术问题，本专利技术提供一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法，解决了现有技术中微型真空泵抽气性能测试操作复杂，浪费人力物力，测试效率较低的问题。(二)技术方案为了达到上述目的，本专利技术采用的主要技术方案包括：本专利技术提供一种微型真空泵抽气性能测试装置，包括第一密封罩、第二密封罩、第一阀门、第二阀门、密封容器、计量单元和测量单元；其中，所述第一密封罩与所述第二密封罩连通，所述第二密封罩的出口端用于与待测微型真空泵的进气口连通；所述第一阀门设置于所述第一密封罩与所述第二密封罩之间，用于控制所述第一密封罩与所述第二密封罩的连通或断开；所述第二阀门设置于所述第二密封罩的出口端，用于控制所述第二密封罩与所述待测微型真空泵的连通或断开；所述密封容器的入口端用于与所述待测微型真空泵的出气口连通，其内盛装有液体，所述待测微型真空泵能向所述密封容器内输送气体，且所述密封容器的出口端能排出与进入其内的所述气体相同体积的所述液体；所述计量单元用于称量所述密封容器质量；所述测量单元用于测量所述第一密封罩内的真空度；根据本专利技术，所述第一密封罩的容积大于所述第二密封罩的容积；根据本专利技术，该微型真空泵抽气性能测试装置，还包括第三阀门，所述第三阀门设置于所述第一密封罩的入口端，用于控制所述第一密封罩与外界的连通或断开；根据本专利技术，该微型真空泵抽气性能测试装置，还包括第四阀门，所述第四阀门设置于所述密封容器的入口端，用于控制所述密封容器与所述待测微型真空泵的连通或断开；根据本专利技术，该微型真空泵抽气性能测试装置，还包括：控制单元，所述控制单元分别与所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门、所述第四阀门、所述待测微型真空泵、所述计量单元以及所述测量单元电连接；上位机，所述上位机与所述控制单元电连接，用于向所述控制单元发出控制指令以及对测试过程中的数据进行计算；根据本专利技术，该微型真空泵抽气性能测试装置，还包括集液容器，所述集液容器与所述密封容器的出口端连通，用于收集所述密封容器排出的所述液体；根据本专利技术，所述密封容器的入口端用于通过第一管路与所述待测微型真空泵的出气口连通；所述密封容器的出口端通过第二管路与所述集液容器连通；所述第一管路和所述第二管路的端部均伸入所述密封容器内，且所述第一管路的伸入长度小于所述第二管路的伸入长度；本专利技术还提供了一种微型真空泵抽气性能测试方法，包括：将待测微型真空泵的进气口和出气口依次分别与第二密封罩的出口端和密封容器的入口端连通；关闭第一阀门，开启第二阀门和所述待测微型真空泵，所述待测微型真空泵将从所述第二密封罩内的抽取的气体排入所述密封容器内，使所述密封容器排出与进入其内的气体相同体积的液体；计量单元称取所述密封容器的实时重量，测量单元测量第一密封罩内的实时真空度；待所述计量单元的示数稳定后，关闭所述第二阀门，开启所述第一阀门，使所述第一密封罩和所述第二密封罩内气体达到压力平衡；根据所述计量单元的质量值和所述测量单元的真空度值，依次分别按照第一预设公式和第二预设公式，计算所述待测微型真空泵的抽气速度和极限压强。根据本专利技术，所述微型真空泵抽气性能测试装置还包括第三阀门，所述第三阀门设置于所述第一密封罩的入口端；在所述根据所述计量单元的质量值和所述测量单元的真空度值，依次分别按照第一预设公式和第二预设公式，计算所述待测微型真空泵的抽气速度和极限压强之后，所述测试方法还包括：开启所述第三阀门，使所述微型真空泵抽气性能测试装置恢复至大气压状态。(三)有益效果本专利技术的有益效果是：本专利技术实施例提供的微型真空泵抽气性能测试装置及方法中，待测微型真空泵可以连接在第二密封罩和密封容器之间，且计量单元用于称量密封容器的质量，测量单元用于测量第一密封罩的真空度，当第二阀门开启后，待测微型真空泵能够将从第二密封罩内抽取的气体排入密封容器内，同时密封容器排出相同体积的液体，从而实现了根据计量单元的质量变化和相应计算公式即可计算出待测微型真空泵的抽气速度，即实现了通过排液法来测量待测微型真空泵单位时间内气体体积的变化量的测量，而且，待测微型真空泵能够将第二密封罩内的压强抽至极限压强，再开启第一阀门使第一密封罩和第二密封罩的压力平衡，从而实现了根据测量单元的初始值、最终值和相应计算公式即可计算出待测微型真空泵的极限压强，即实现了通过间接法来测量待测微型真空泵的极限压强，操作简单，节省了人力物力，提高了测试效率。附图说明图1为本专利技术实施例提供的一种微型真空泵抽气性能测试装置的结构示意图。【附图标记说明】1：第一密封罩；2：第二密封罩；3：第一阀门；4：第二阀门；5：密封容器；6：计量单元；7：测量单元；8：第三阀门；9：第四阀门；10：待测微型真空泵；11：集液容器；12：第一管路；13：第二管路。具体实施方式为了更好的解释本专利技术，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本专利技术作详细描述。如图1所示，本专利技术公开了一种微型真空泵抽气性能测试装置，包括：第一密封罩1、第二密封罩2、第一阀门3、第二阀门4、密封容器5、计量单元6和测量单元7；其中，第一密封罩1与第二密封罩2连通，第二密封罩2的出口端用于与待测微型真空泵10的进气口连通；第一阀门3设置于第一密封罩1与第二密封罩2之间，用于控制第一密封罩1与第二密封罩2的连通或断开；第二阀门4设置于第二密封罩2的出口端，用于控制第二密封罩2与待测微型真空泵10的连通或断开；密封容器5的入口端用于与待测微型真空泵10的出气口连通，其内盛装有液体，待测微型真空泵10能向密封容器5内输送气体，且密封容器5的出口端能排出与进入其内的气体相同体积的液体；计量单元6用于称量所述密封容器5质量；测量单元7用于测量第一密封罩1内的真空度。其中，计量单元6可以为电子天平，测量单元7可以为真空计。该测试装置利用排液法实现对微型真空泵单位时间内气体体积变化量的间接测量，具体可以为：关闭第一阀门3，打开第二阀门4，待测微型真空泵10开始从第二密封罩2抽取空气，并将抽取的气体排入密封容器5内，以此同时，密封容器5排出相应体积的液体，在此过程中，计量单元6对密封容器5的质量实时测量，将测得的质量数值记录，然后将其代入预设公式计算，得到待测微型真空泵工作时单位时间内气体体积变化量的数据。该测试装置利用间接法来测定微型真空泵的极限压强的测试。具体可以为:关闭第一阀门3，打开第二阀门4，待测微型真空泵10开始从第二密封罩2抽取空气，计量单元6对密封容器5的质量实时测量，待计量单元6的测量数据变化稳定时，关闭第一阀门3，停止待测微型真空泵10的抽气，记录测量单元7的初始数值，然后打开第一阀门3，等待一段时间，使第一密封罩1和第二密封罩2内气体达到压力平衡，待测量单元7示数稳定后，记录本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，包括第一密封罩、第二密封罩、第一阀门、第二阀门、密封容器、计量单元和测量单元；其中，所述第一密封罩与所述第二密封罩连通，所述第二密封罩的出口端用于与待测微型真空泵的进气口连通；所述第一阀门设置于所述第一密封罩与所述第二密封罩之间，用于控制所述第一密封罩与所述第二密封罩的连通或断开；所述第二阀门设置于所述第二密封罩的出口端，用于控制所述第二密封罩与所述待测微型真空泵的连通或断开；所述密封容器的入口端用于与所述待测微型真空泵的出气口连通，其内盛装有液体，所述待测微型泵能向所述密封容器内输送气体，且所述密封容器的出口端能排出与进入其内的所述气体相同体积的所述液体；所述计量单元用于称量所述密封容器质量；所述测量单元用于测量所述第一密封罩内的真空度。

【技术特征摘要】
1.一种微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，包括第一密封罩、第二密封罩、第一阀门、第二阀门、密封容器、计量单元和测量单元；其中，所述第一密封罩与所述第二密封罩连通，所述第二密封罩的出口端用于与待测微型真空泵的进气口连通；所述第一阀门设置于所述第一密封罩与所述第二密封罩之间，用于控制所述第一密封罩与所述第二密封罩的连通或断开；所述第二阀门设置于所述第二密封罩的出口端，用于控制所述第二密封罩与所述待测微型真空泵的连通或断开；所述密封容器的入口端用于与所述待测微型真空泵的出气口连通，其内盛装有液体，所述待测微型泵能向所述密封容器内输送气体，且所述密封容器的出口端能排出与进入其内的所述气体相同体积的所述液体；所述计量单元用于称量所述密封容器质量；所述测量单元用于测量所述第一密封罩内的真空度。2.根据权利要求1所述的微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，所述第一密封罩的容积大于所述第二密封罩的容积。3.根据权利要求1所述的微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，还包括：第三阀门，所述第三阀门设置于所述第一密封罩的入口端，用于控制所述第一密封罩与外界的连通或断开。4.根据权利要求1所述的微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，还包括：第四阀门，所述第四阀门设置于所述密封容器的入口端，用于控制所述密封容器与所述待测微型真空泵的连通或断开。5.根据权利要求1所述的微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，还包括：控制单元，所述控制单元分别与所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门、所述第四阀门、所述待测微型真空泵、所述计量单元以及所述测量单元电连接；上位机，所述上位机与所述控制单元电连接，用于向所述控制单元发出控制指令以及对测试过程中的数据进行计算。6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘坤，陈忆闽，杨浩南，于子靖，袁熙，张平燚，
申请(专利权)人：东北大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21