【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀掩模的制造方法、电致发光显示装置的制造方法
本专利技术涉及蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀掩模的制造方法和电致发光显示装置的制造方法。
技术介绍
近年来，在多种商品和领域中使用了平板显示器，要求平板显示器进一步大型化、高画质化、低耗电化。在这样的状况下，包括利用有机材料或无机材料的电致发光(Electroluminescence；下面记为“EL”)的EL元件的EL显示装置，作为全固体型且在低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器，受到了高度关注。EL显示装置为了实现全色显示，具有与构成像素的多个子像素对应地射出期望的颜色的光的发光层。在形成发光层的图案时，例如使用真空蒸镀法，在真空蒸镀法中使用被称为阴影掩模的蒸镀掩模。为了实现高精细的EL显示装置，需要使蒸镀颗粒高精度地蒸镀在被成膜基板上，要求在蒸镀掩模上形成高精度的开口部。以往，蒸镀掩模通常使用对由金属板构成的掩模基材进行加工而制作的具有规定图案的开口部的金属掩模。蒸镀掩模通常固定在掩模框中使用。然而，利用目前的金属加工技术，难以在金属板上高精度地形成开口部。在蒸镀掩模使用金属掩模的...
【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模，其由金属掩模和树脂掩模层叠而形成，其特征在于：所述金属掩模具有至少1个第一开口部，所述第一开口部形成为：第一方向的开口长度随着从与所述第一方向正交的第二方向的中央部向所述第二方向的两端部去而变长，所述树脂掩模具有多个第二开口部，所述多个第二开口部沿着所述第一方向配置有至少1个，并且沿着所述第二方向配置有多个，从所述第一开口部露出的、在所述第二方向的各位置沿着所述第一方向配置的所述第二开口部的所述第一方向的总开口长度，随着从所述第二方向的中央部向所述第二方向的两端部去而变长。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种蒸镀掩模，其由金属掩模和树脂掩模层叠而形成，其特征在于：所述金属掩模具有至少1个第一开口部，所述第一开口部形成为：第一方向的开口长度随着从与所述第一方向正交的第二方向的中央部向所述第二方向的两端部去而变长，所述树脂掩模具有多个第二开口部，所述多个第二开口部沿着所述第一方向配置有至少1个，并且沿着所述第二方向配置有多个，从所述第一开口部露出的、在所述第二方向的各位置沿着所述第一方向配置的所述第二开口部的所述第一方向的总开口长度，随着从所述第二方向的中央部向所述第二方向的两端部去而变长。2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：在所述金属掩模中设置有至少1个金属剩余部，该金属剩余部形成为：所述第一方向的长度随着从所述第二方向的中央部向所述第二方向的两端部去而变短。3.如权利要求2所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述金属剩余部设置在所述第一开口部的所述第一方向的至少一个端部。4.如权利要求2或3所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述金属剩余部设置在所述第一开口部的所述第一方向的两端部。5.如权利要求2或3所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述金属剩余部仅设置在所述第一开口部的所述第一方向的一个端部。6.如权利要求2所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述金属剩余部以将所述第一开口部分割成多个的方式，在所述第二方向上横穿所述第一开口部而设置。7.如权利要求6所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述金属剩余部具有平凸形状。8.如权利要求6所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述金属剩余部具有双凸形状。9.如权利要求2～8中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述多个第二开口部中的至少一部分的所述第二开口部被所述金属剩余部部分地覆盖。10.如权利要求9所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述多个第二开口部分别具有相同形状。11.如权利要求1～8中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述多个第二开口部仅形成在所述第一开口部内。12.如权利要求1～11中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述多个第二开口部在所述第一方向上配置有多个。13.如权利要求1～12中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于：所述第一开口部呈交错状配置有多个。14.一种蒸镀装置，其为在被成膜基板上形成具有条状的图案的蒸镀膜的蒸镀装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：小林勇毅，川户伸一，井上智，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。