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蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀掩模的制造方法、电致发光显示装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:21579139
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蒸镀掩模(1)为由金属掩模(10)和树脂掩模(20)层叠而形成的蒸镀掩模,金属掩模(10)具有至少1个金属掩模开口(11),树脂掩模(20)具有多个树脂掩模开口(21),其中,从金属掩模开口(11)露出的、在X轴方向的各位置沿着Y轴方向配置...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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