静电吸盘、成膜装置、基板的吸附方法、成膜方法以及电子设备的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术的静电吸盘，包括具有电极部的静电吸盘板状件部，所述电极部包括交替配置有分别施加不同极性的电压的电极的部分，所述交替配置的部分的至少一部分，以与进行基板向所述静电吸盘板状件部的吸附的第一方向交叉的方式延伸。

Electrostatic chuck, film-forming device, adsorbing method of substrate, film-forming method and manufacturing method of electronic equipment

【技术实现步骤摘要】
静电吸盘、成膜装置、基板的吸附方法、成膜方法以及电子设备的制造方法
本专利技术涉及成膜装置，尤其是涉及在成膜装置中用于吸附并保持基板的静电吸盘的电极排列。
技术介绍
最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置倍受瞩目。有机EL显示装置是自发光显示器，其响应速度、视角、薄型化等特性比液晶面板显示器优异，在监视器、电视、以智能手机为代表的各种便携终端等领域正在快速地代替现有的液晶面板显示器。另外，在汽车用显示器等方面也在扩大其应用领域。有机EL显示装置的元件具有在两个相向的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物质层这样的基本构造。有机EL显示装置元件的有机物质层以及电极层，通过经由形成有像素图案的掩模将蒸镀材料向置于真空腔室上部的基板(的下表面)蒸镀而形成，所述蒸镀材料通过加热设置于成膜装置的真空腔室的下部的蒸镀源而被蒸发出来。在这样向上蒸镀方式的成膜装置的真空腔室内，基板由基板支架进行保持，为了不对形成于基板(的下表面)的有机物质层/电极层造成损伤，利用基板支架的支承部支承基板的下表面周缘。在这种情况下，随着基板的尺寸增大，没有由基板支架的支承部支承的基板的中央部，因基板的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电吸盘，用于吸附并保持基板，其中，包括具有电极部的静电吸盘板状件部，所述电极部包括交替配置有分别施加不同极性的电压的电极的部分，所述交替配置的部分的至少一部分，以与进行基板向所述静电吸盘板状件部的吸附的第一方向交叉的方式延伸。

【技术特征摘要】
2017.12.27 KR 10-2017-01809991.一种静电吸盘，用于吸附并保持基板，其中，包括具有电极部的静电吸盘板状件部，所述电极部包括交替配置有分别施加不同极性的电压的电极的部分，所述交替配置的部分的至少一部分，以与进行基板向所述静电吸盘板状件部的吸附的第一方向交叉的方式延伸。2.如权利要求1所述的静电吸盘，其中，所述交替配置的部分的所述至少一部分的延伸方向，以与所述第一方向成直角的方式交叉。3.如权利要求1所述的静电吸盘，其中，所述第一方向是从所述静电吸盘板状件部的第一边侧朝向与所述第一边相向的第二边侧的方向。4.如权利要求3所述的静电吸盘，其中，所述第一边是所述静电吸盘板状件部的长边。5.如权利要求1所述的静电吸盘，其中，还包括用于向所述静电吸盘板状件部施加电压的供电端子部，所述供电端子部设置在所述静电吸盘板状件部的与基板吸附面交叉的侧面。6.如权利要求1所述的静电吸盘，其中，所述电极部具有至少一对正电极和负电极，所述正电极以及所述负电极分别具有梳子形状，所述正电极以及所述负电极的梳齿部以与所述第一方向交叉的方式延伸。7.一种静电吸盘，用于吸附并保持基板，其中，包括静电吸盘板状件部，所述静电吸盘板状件部包含能够独立地施加电压的多个电极部，所述多个电极部中的至少一个电极部，包括交替配置有分别施加不同极性的电压的电极的部分，所述交替配置的部分的至少一部分，以与进行基板向所述静电吸盘板状件部的吸附的第一方向交叉的方式延伸。8.如权利要求7所述的静电吸盘，其中，还包括控制向所述多个电极部施加电压的控制部，所述控制部以沿着所述第一方向依次向所述多个电极部施加电压的方式进行控制。9.如权利要求7所述的静电吸盘，其中，所述静电吸盘板状件部包括与所述多个电极部对应的多个吸附部。10.如权利要求9所述的静电吸盘，其中，所述多个吸附部以在所述第一方向分割的方式进行配置。11.如权利要求10所述的静电吸盘，其中，所述多个吸附部，以在所述第一方向以及与所述第一方向交叉的第二方向分割的方式进行配置。12.如权利要求9所述的静电吸盘，其中，所述第一方向为从配置在所述静电吸盘板状件部的第一边侧的吸附部朝向配置在与所述第一边相向的第二边侧的吸附部的方向。13.如权利要求12所述的静电吸盘，其中，所述第一边是所述静电吸盘板状件部的长边。14.如权利要求12所述的静电吸盘，其中，所述第一边是所述静电吸盘板状件部的短边。15.如权利要求7所述的静电吸盘，其中，还包括用于向所述多个电极部施加电压的供电端子部，所述供电端子部设置在所述静电吸盘板状件部的与基板吸附面交叉的侧面。16.如权利要求7所述的静电吸盘，其中，所述至少一个电极部具有至少一对正电极和负电极，所述正电极以及所述负电极分别具有梳子形状，所述正电极以及所述负电极的梳齿部以与所述第一方向交叉的方式延伸。17.一种静电吸盘，用于吸附并保持基板，其中，包括静电吸盘板状件部，所述静电吸盘板状件部包含能够独立地施加电压的多个电极部，所述静电吸盘板状件部具有相互相向的两个长边，和连结所述两个长边的相互相向的两个短边，所述多个电极部中的至少一个电极部，包括交替配置有分别施加不同极性的电压的电极的部分，所述交替配置的部分的至少一部分，以与所述静电吸盘板状件部的所述长边交叉的方式延伸。18.一种成膜装置，经由掩模在基板上对蒸镀材料进行成膜，其中，包括：用于从上方吸附并保持基板的静电吸盘，和设置在所述静电吸盘的下方，用于从下方支承基板的基板支承台，所述静电吸盘包括具有...

【专利技术属性】
技术研发人员：柏仓一史，石井博，元矢秀和，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，株式会社沙迪克，
类型：发明
国别省市：日本,JP