气体输送装置制造方法及图纸

本案提供一种气体输送装置，包含:第一导流单元组及第二导流单元组，分别由多个导流单元所构成，该多个导流单元各自具有入口孔及出口孔，该多个导流单元经致动可将气体由各自的该入口孔导入而由该出口孔排出；以及集气腔室，设置于第一导流单元组及第二导流单元组之间，并具有排气口；其中，第一导流单元组及第二单元组分别将气体由多个入口孔吸入，且由该多个出口孔输送至该集气腔室，再由集气腔室的该排气口排出，俾实现适当气体传输量的调整。

Gas conveyor

【技术实现步骤摘要】
气体输送装置
本案是关于一种气体输送装置，尤指一种透过微型、薄型且静音的气体输送装置。
技术介绍
目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微帮浦所包含的气体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。随着科技的日新月异，气体输送装置的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的气体输送装置已渐渐有朝向装置微小化、流量极大化的趋势。于现有技术中，气体输送装置主要以传统的机构部件堆叠而构成，并以每一个机构部件极小化或厚度薄化的方式，来达到整体装置微型化、薄型化的目的。然而，传统机构件在微小化后，其尺寸精度控制不易，且组装精度同样难以掌控，进而造成产品良率不一，甚至有气体传送的流量不稳定等问题。再者，已知的气体传输装置亦具有输送流量不足的问题，透过单一气体传输装置难以因应大量气体传输的需求，且已知的气体传输装置通常有外凸的导接脚以供通电连接之用，故若欲将多个已知的气体传输装置并排设置以提高传输量，其组装精度同样不易控制，导接脚容易造成设置的障碍，且亦导致其外接的供电线设置复杂，因此仍难以透过此方式提高流量，排列方式亦较无法灵活运用。因此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失，可使传统采用气体传输装置的仪器或设备达到体积小、微型化且静音，且克服微型尺寸精度不易掌控、流量不足的问题，且可灵活运用于各式装置的微型气体传输装置，实为目前迫切需要解决的问题。
技术实现思路
本案的主要目的在于提供一种气体输送装置，借由微机电制程制出一体成型的微型化气体输送装置，以克服传统输送装置无法同时兼具体积小、微型化、尺寸精度掌控以及流量不足的问题。为达上述目的，本案的一较广义实施样态为提供一种气体输送装置，包含:一第一导流单元组及一第二导流单元组，分别由多个导流单元所构成，这些导流单元各自具有一入口孔及一出口孔，这些导流单元经致动可将气体由各自的该入口孔导入而由该出口孔排出；以及一集气腔室，设置于该第一导流单元组及该第二导流单元组之间，并具有一排气口；其中，该第一导流单元组及该第二单元组分别将气体由该多个入口孔吸入，且由该多个出口孔输送至该集气腔室，再由该集气腔室的该排气口排出，俾实现适当气体传输量的调整。【附图说明】图1为本案为第一较佳实施例的气体输送装置之外观结构示意图。图2为图1所示的气体输送装置的剖面结构示意图。图3A为图2所示的气体输送装置的剖面的单一导流单元局部放大结构示意图。图3B至图3D为图3A所示的气体输送装置的单一导流单元作动流程局部示意图。图4为本案为第二较佳实施例的气体输送装置之外观结构示意图。图5为本案为第三较佳实施例的气体输送装置之外观结构示意图。图6为本案为第四较佳实施例的气体输送装置之外观结构示意图。图7A及图7B为本案的阀的第一、第二及第三实施态样的作动示意图。图8A及图8B为本案的阀的第四、第五实施态样的作动示意图。【具体实施方式】体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非架构于限制本案。本案的气体输送装置是气体输送装置，请参阅图1、图2及图3A，于第一实施例中，气体输送装置1包含一第一导流单元组10a、一第二导流单元组10b及一集气腔室10c，第一导流单元组10a及第二导流单元组10b分别由多个导流单元10所构成，而集气腔室10c设置于第一导流单元组10a及第二导流单元组10b之间，且集气腔室1c具有一排气口A；每一个导流单元10包含有入口板17、基材11、共振板13、致动板14、压电元件15以及出口板16等元件依序堆叠所构成，其中入口板17具有入口孔170，共振板13具有中空孔洞130及可动部131，且共振板13与该入口板17之间形成汇流腔室12，致动板14具有悬浮部141、外框部142及多个空隙143，出口板16具有出口孔160，其结构、特征及设置方式将于说明后段进一步详述。本实施例的气体输送装置1的第一导流单元组10a及第二导流单元组10b均透过入口板17的多个入口孔170、基材11的多个汇流腔室12、共振板13的多个中空孔洞130及多个可动部131、致动板14的多个悬浮部141及多个空隙143、多个压电元件15及多个出口孔160以构成多个导流单元10，换言之，每一个导流单元10均包含一个汇流腔室12、一个中空孔洞130、一个可动部131、一个悬浮部141、一空隙143、一个压电元件15、一个出口孔160及一个入口孔170，但不以此为限，每一个导流单元10的共振板13与致动板14之间具有一间隙g0形成第一腔室18(如图3A所示)，以及致动板14与出口板16之间形成第二腔室19(如图3A所示)。为方便说明气体输送装置1的结构及气体控制方式，下述内容将以单一导流单元10进行说明，然此非用以限制本案仅有单一导流单元10，多个导流单元10可包含多个相同结构的单一导流单元10所组成气体输送装置1，其数量可依据实际情形任施变化。如图1所示，于第一较佳实施例中，第一导流单元组10a与第二导流单元组10b的多个导流单元10的数量是均为40个，意即气体输送装置1具有80个可单独传输气体的单元，即如图1所示，每一入口孔170是对应于每一个导流单元10，且第一导流单元组10a及第二导流单元组10b的40个导流单元10更分别以20个为一行，以两两对应并排设置，但均不以此为限，其数量、排列方式皆可依据实际情形任施变化。请参阅图2，于本实施例中，入口板17具有入口孔170，是为一贯穿入口板17的孔洞，每一导流单元10均具有一个入口孔170，以供气体流通。于一些实施例中，入口板17更可包含过滤装置(未图式)，但不以此为限，该过滤装置是封闭设置于入口孔170，用以过滤气体中的粉尘，或是用以过滤气体中的杂质，以避免杂质、粉尘流至气体输送装置1之内部使元件受损。气体输送装置1的基材11更包含一驱动电路(未图示)，用以与压电元件15的正极及负极电性连接，用以提供驱动电源，但不以此为限。于一些实施例中，驱动电路亦可设置于气体输送装置1内部的任一位置，但不以此为限，可依实际情形任施变化。请继续参阅图2及图3A，于本实施例的气体输送装置1中，共振板13是为悬浮结构，共振板13更具有中空孔洞130及多个可动部131，且每一导流单元10均具有一个中空孔洞130及其所对应的可动部131。于本实施例的导流单元10中，中空孔洞130是设置于可动部131的中心处，且中空孔洞130为一贯穿共振板13的孔洞，并连通于汇流腔室12与第一腔室18之间，以供气体流通及传输。本实施例的可动部131是为共振板13的部分，其为一可挠的结构，并可随致动模14的驱动而上下弯曲振动，借此以传输气体，其作动方式将于说明书后段进一步详述。请继续参阅图2及图3A，于本实施例的气体输送装置1中，致动板14是为一金属材料薄膜或多晶硅薄膜所构成，但不以此为限，该致动板14为中空悬浮结构，致动板14更具有悬浮部141及外框部142，且每一导流单元10均具有一个悬浮部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体输送装置，其特征在于，包含:一第一导流单元组及一第二导流单元组，分别由多个导流单元所构成，该多个导流单元各自具有一入口孔及一出口孔，该多个导流单元经致动可将气体由各自的该入口孔导入而由该出口孔排出；以及一集气腔室，设置于该第一导流单元组及该第二导流单元组之间，并具有一排气口；其中，该第一导流单元组及该第二导流单元组分别将气体由该多个入口孔吸入，且由该多个出口孔输送至该集气腔室，再由该集气腔室的该排气口排出，以实现适当气体传输量的调整。

【技术特征摘要】
1.一种气体输送装置，其特征在于，包含:一第一导流单元组及一第二导流单元组，分别由多个导流单元所构成，该多个导流单元各自具有一入口孔及一出口孔，该多个导流单元经致动可将气体由各自的该入口孔导入而由该出口孔排出；以及一集气腔室，设置于该第一导流单元组及该第二导流单元组之间，并具有一排气口；其中，该第一导流单元组及该第二导流单元组分别将气体由该多个入口孔吸入，且由该多个出口孔输送至该集气腔室，再由该集气腔室的该排气口排出，以实现适当气体传输量的调整。2.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该第一导流单元组及该第二导流单元组分别由该多个导流单元以一行串接排列设置。3.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该第一导流单元组及该第二导流单元组分别由该多个导流单元以一列串接排列设置。4.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该第一导流单元组及该第二导流单元组分别由该多个导流单元以环状方式排列设置。5.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该第一导流单元组及该第二导流单元组分别由该多个导流单元以蜂巢状方式排列设置。6.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，每一该导流单元分别包含：一入口板，具有该入口孔；一基材；一共振板，具有一中空孔洞，且该共振板与该入口板之间具有一汇流腔室；一致动板，具有一个悬浮部及一外框部及至少一空隙；一压电元件，贴附于该致动板的该悬浮部的一表面；以及一出口板，具有该出口孔；以及至少一阀，设置在该入口孔和该出口孔的至少一个中；其中，该入口板、该基材、该共振板、该致动板及该出口板依序对应堆叠设置，该共振板及该致动板之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动板及该出口板之间形成一第二腔室，该压电元件驱动该致动板产生弯曲共振，以使该第一腔室及该第二腔室形成一压力差，并使该阀开启，让气体由该入口板的该入口孔进入该汇流腔室而流经该共振板的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借此以传输气体的流动。7.如权利要求6所述的气体输送装置，其特征在于，该阀包含一保持件、一密封件及一阀片，其中该保持件及该密封件之间保持一容置空间，该阀片设置于该容置空间中，该保持件上具有至少两个通气孔，而该阀片对应该保持件的该通气孔位置设通气孔，该保持件的该通气孔及该阀片的该通气孔位置为大致相互...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，黄启峰，李伟铭，韩永隆，陈宣恺，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71