一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵及其泵送方法技术

本发明专利技术公开了一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵及其泵送方法，属于流体机械领域。阀腔盖板、泵腔盖板和泵体依次连接，两个阀腔弹性薄膜布置于两个阀腔盖板通孔底部，两个阀腔弯振换能器末端与两个阀腔弹性薄膜表面中心位置刚性连接，泵腔弹性薄膜设置于泵腔盖板通孔底部，泵腔弯振换能器首端通过弯振换能器连接件固定在泵腔盖板内，泵腔弯振换能器末端与泵腔弹性薄膜下表面刚性连接，两个阀腔环形密封圈均通过阀腔盖板和两个阀腔弹性薄膜压紧在泵体上，泵腔环形密封圈通过泵腔盖板和泵腔弹性薄膜压紧固定在泵体下。本发明专利技术采用的压电换能器振子具有输出力大、响应速度快及无电磁干扰等优点，能够实现较大的压力和流量的微量液体传递。

A Multi-Cavity Bidirectional Piezoelectric Pump Excited by Piezoelectric Transducer and Its Pumping Method

【技术实现步骤摘要】
一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵及其泵送方法
本专利技术属于流体机械领域，特别是涉及一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵及其泵送方法。
技术介绍
压电泵是一种新型流体驱动器，利用逆压电效应使压电振子产生变形，使泵腔的容积产生变化出现压差，进而实现流体输出。传统液压泵由驱动源、泵体及直接作用于液体的叶片等组成，而压电泵能够将传统液压泵的驱动源、传动部分及泵体三者合为一体。同传统液压泵相比，压电泵由于体积重量小、结构简单、响应快、无电磁干扰、能耗低及微小流量可控等诸多优势，在生物医疗、航空航天及微机电系统等工程领域具有广泛的应用前景。压电泵按照有无截止阀分类可分为有阀压电泵和无阀压电泵，无阀压电泵没有传统意义上的阀安装在进出油口，它主要利用进出口压力损失的不对称性形成单向通流。然而，由于无阀压电泵的截止性能相对较差，因此目前实际投入使用的无阀压电泵很少，主要停留在研究阶段，应用广泛的还是有阀压电泵。有阀压电泵又可分为主动阀压电泵和被动阀压电泵两大类，其中，被动阀压电泵主要利用泵腔与进出油口的压力差实现截止阀的开闭。然而，由于被动阀并不能充分利用压电致动器全部的工作带宽。当致动器的工作频率过高时，被动阀受到响应频率的限制，会出现滞后现象，导致输出性能降低。因此，主动阀压电泵由于响应频率高，开始逐渐受到研究人员的重视。目前基于主动阀压电泵的研究也仅仅停留在将主动阀应用在薄膜压电泵上。然而，由于压电薄膜振子的输出力小，致使薄膜压电泵很难用于高压场合。相比于薄膜压电振子，压电换能器具有更大的输出力。研究一种基于压电换能器的主动阀压电泵，以满足高压场合的技术需求，显得尤为迫切和需要。
技术实现思路
为解决现有的采用压电薄膜振子的主动阀控制压电微泵存在的输出压力和流量较小的技术问题，本专利技术公开了一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵及其泵送方法。本专利技术通过以下技术方案实现：一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵，所述多腔体双向压电泵为一种采用弯振压电换能器激励的多腔体双向压电泵，包括阀腔盖板、泵腔盖板、泵体、两个阀腔弯振换能器、弯振换能器连接件、泵体总装连接件、两个阀腔环形密封圈、两个阀腔弹性薄膜、泵腔环形密封圈、泵腔弹性薄膜和泵腔弯振换能器，所述阀腔盖板、所述泵腔盖板和所述泵体通过所述泵体总装连接件依次连接固定，所述两个阀腔弹性薄膜布置于所述阀腔盖板的底部，所述两个阀腔弯振换能器的首端均通过所述弯振换能器连接件固定在所述泵腔盖板上，所述两个阀腔弯振换能器的末端分别与所述两个阀腔弹性薄膜表面中心位置刚性连接，所述泵腔弹性薄膜设置于所述泵腔盖板的底部，所述泵腔弯振换能器的首端通过所述弯振换能器连接件固定在所述泵腔盖板内，所述泵腔弯振换能器的末端与所述泵腔弹性薄膜下表面中心位置刚性连接，所述两个阀腔环形密封圈均通过所述阀腔盖板和所述两个阀腔弹性薄膜压紧固定在所述泵体上，所述泵腔环形密封圈通过所述泵腔盖板和泵腔弹性薄膜压紧固定在所述泵体下。进一步的，所述阀腔盖板包括引线孔、阀腔盖板支撑面、阀腔安装孔、阀腔弯振换能器安装孔、两个阀腔盖板通孔、阀腔弯振换能器限位面，所述阀腔盖板支撑面为所述阀腔盖板的下表面，且与所述泵体接触，所述引线孔为阀腔盖板外缘面与阀腔盖板内缘面的通孔，所述两个阀腔弯振换能器的导线设置于所述引线孔中且头端露出于所述引线孔外，所述阀腔安装孔为通孔，所述泵体总装连接件穿插于阀腔安装孔中，所述两个阀腔弯振换能器通过所述阀腔弯振换能器安装孔固定在所述阀腔盖板上，所述两个阀腔盖板通孔相对于所述阀腔盖板呈中心对称分布，所述两个阀腔弹性薄膜分别布置于所述两个阀腔盖板通孔处，所述阀腔弯振换能器限位面为所述两个阀腔弯振换能器的支撑面，所述两个阀腔弯振换能器固定在所述阀腔弯振换能器限位面上。进一步的，所述泵腔盖板设置有泵腔盖板支撑面、泵腔安装孔、液体管道通孔、泵腔引线孔、泵腔弯振换能器限位面、泵腔弯振换能器安装孔和泵腔盖板通孔，所述泵腔盖板支撑面为所述泵腔盖板的上表面，且所述泵腔盖板支撑面与所述泵体接触，所述泵腔安装孔为通孔，所述泵体总装连接件穿插于所述泵腔安装孔中，所述液体管道通孔为通孔，所述泵腔引线孔为所述泵腔盖板外缘面与泵腔盖板内缘面间的通孔，所述泵腔弯振换能器的导线设置于所述泵腔引线孔中且头端露出于所述泵腔引线孔外，所述泵腔弯振换能器限位面为所述泵腔弯振换能器的支撑面，所述泵腔弯振换能器固定在所述泵腔弯振换能器限位面上，所述泵腔弯振换能器通过所述泵腔弯振换能器安装孔固定在所述泵腔盖板上，所述泵腔盖板通孔设置于所述泵腔盖板的中心处，所述泵腔弯振换能器的末端通过所述泵腔盖板通孔与所述泵腔弹性薄膜刚性连接。进一步的，所述泵体包括泵体安装孔、出口阀腔环形凹槽、流体出口、出口阀腔、出口阀腔环形边界、泵腔出口、入口阀腔、流体入口、入口阀腔环形边界、入口阀腔环形凹槽、泵腔入口、泵体接触面、泵腔环形凹槽和泵腔，所述泵体总装连接件穿插于所述泵体安装孔中，所述出口阀腔和入口阀腔均设置于所述泵体的上表面，所述出口阀腔的腔口处设置有用于密封所述出口阀腔的所述出口阀腔环形凹槽与所述阀腔环形密封圈，所述入口阀腔的腔口处设置有用于密封所述入口阀腔的所述入口阀腔环形凹槽与所述阀腔环形密封圈，所述泵腔设置于所述泵体的下表面中心，所述泵腔的腔口处设置有用于密封所述泵腔的所述泵腔环形密封圈与泵腔环形凹槽，所述泵腔出口和所述泵腔入口均设置在所述泵腔中，所述泵腔出口为两端分别设置于所述泵腔和所述出口阀腔的通孔，所述泵腔入口为两端分别设置于所述泵腔和所述入口阀腔的通孔，所述流体入口设置于所述入口阀腔的中央，且所述入口阀腔环形边界设置于所述流体入口周围，所述流体出口设置于所述出口阀腔中央，且所述出口阀腔环形边界设置于所述流体出口周围，所述泵体接触面分别与所述阀腔盖板和所述泵腔盖板固定连接。进一步的，每个阀腔弯振换能器包括换能器基座Ⅰ、弯振压电陶瓷组Ⅰ、限位套筒Ⅰ、变幅杆组件Ⅰ、柔性铰链Ⅰ、驱动足Ⅰ、薄膜固定孔Ⅰ和换能器固定组件Ⅰ，所述变幅杆组件Ⅰ穿过所述弯振压电陶瓷组Ⅰ且所述变幅杆组件Ⅰ与所述弯振压电陶瓷组Ⅰ滑动连接，所述限位套筒Ⅰ与所述变幅杆组件Ⅰ固定连接，且所述限位套筒Ⅰ限位所述振压电陶瓷组Ⅰ于所述限位套筒Ⅰ和所述换能器基座Ⅰ间，所述两个弯振压电陶瓷组Ⅰ通过所述两个变幅杆组件Ⅰ和所述两个换能器固定组件Ⅰ固定连接在所述换能器基座Ⅰ的两侧，所述变幅杆组件Ⅰ通过所述柔性铰链Ⅰ与所述驱动足Ⅰ柔性连接，所述驱动足Ⅰ通过所述薄膜固定孔Ⅰ与对应的阀腔弹性薄膜固定连接。进一步的，所述泵腔弯振换能器包括换能器基座Ⅱ、弯振压电陶瓷组Ⅱ、换能器固定组件Ⅱ、限位套筒Ⅱ、变幅杆组件Ⅱ、柔性铰链Ⅱ、驱动足Ⅱ和薄膜固定孔Ⅱ，所述变幅杆组件Ⅱ穿过所述弯振压电陶瓷组Ⅱ且所述变幅杆组件Ⅱ与所述弯振压电陶瓷组Ⅱ滑动连接，所述限位套筒Ⅱ与所述变幅杆组件Ⅱ固定连接，且所述限位套筒Ⅱ限位所述弯振压电陶瓷组Ⅱ于所述限位套筒Ⅱ和所述换能器基座Ⅱ间，所述弯振压电陶瓷组Ⅱ通过所述变幅杆组件Ⅱ和所述换能器固定组件Ⅱ与所述换能器基座Ⅱ固定连接，所述变幅杆组件Ⅱ通过所述柔性铰链Ⅱ与所述驱动足Ⅱ连接，所述驱动足Ⅱ通过所述薄膜固定孔Ⅱ与所述泵腔弹性薄膜固定连接。一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵，其特征在于，所述多腔体双向压电泵为一种采用弯振压电换能器激励的多腔体双向压电泵，包括阀腔盖板(1)、泵腔盖板(2)、泵体(3)、两个阀腔弯振换能器(4)、弯振换能器连接件(5)、泵体总装连接件(6)、两个阀腔环形密封圈(7)、两个阀腔弹性薄膜(8)、泵腔环形密封圈(9)、泵腔弹性薄膜(10)和泵腔弯振换能器(11)，所述阀腔盖板(1)、所述泵腔盖板(2)和所述泵体(3)通过所述泵体总装连接件(6)依次连接固定，所述两个阀腔弹性薄膜(8)布置于所述阀腔盖板(1)的底部，所述两个阀腔弯振换能器(4)的首端均通过所述弯振换能器连接件(5)固定在所述泵腔盖板(2)上，所述两个阀腔弯振换能器(4)的末端分别与所述两个阀腔弹性薄膜(8)表面中心位置刚性连接，所述泵腔弹性薄膜(10)设置于所述泵腔盖板(2)的底部，所述泵腔弯振换能器(11)的首端通过所述弯振换能器连接件(5)固定在所述泵腔盖板(2)内，所述泵腔弯振换能器(11)的末端与所述泵腔弹性薄膜(10)下表面中心位置刚性连接，所述两个阀腔环形密封圈(7)均通过所述阀腔盖板(1)和所述两个阀腔弹性薄膜(8)压紧固定在所述泵体(3)上，所述泵腔环形密封圈(9)通过所述泵腔盖板(2)和泵腔弹性薄膜(10)压紧固定在所述泵体(3)下。...

【技术特征摘要】
1.一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵，其特征在于，所述多腔体双向压电泵为一种采用弯振压电换能器激励的多腔体双向压电泵，包括阀腔盖板(1)、泵腔盖板(2)、泵体(3)、两个阀腔弯振换能器(4)、弯振换能器连接件(5)、泵体总装连接件(6)、两个阀腔环形密封圈(7)、两个阀腔弹性薄膜(8)、泵腔环形密封圈(9)、泵腔弹性薄膜(10)和泵腔弯振换能器(11)，所述阀腔盖板(1)、所述泵腔盖板(2)和所述泵体(3)通过所述泵体总装连接件(6)依次连接固定，所述两个阀腔弹性薄膜(8)布置于所述阀腔盖板(1)的底部，所述两个阀腔弯振换能器(4)的首端均通过所述弯振换能器连接件(5)固定在所述泵腔盖板(2)上，所述两个阀腔弯振换能器(4)的末端分别与所述两个阀腔弹性薄膜(8)表面中心位置刚性连接，所述泵腔弹性薄膜(10)设置于所述泵腔盖板(2)的底部，所述泵腔弯振换能器(11)的首端通过所述弯振换能器连接件(5)固定在所述泵腔盖板(2)内，所述泵腔弯振换能器(11)的末端与所述泵腔弹性薄膜(10)下表面中心位置刚性连接，所述两个阀腔环形密封圈(7)均通过所述阀腔盖板(1)和所述两个阀腔弹性薄膜(8)压紧固定在所述泵体(3)上，所述泵腔环形密封圈(9)通过所述泵腔盖板(2)和泵腔弹性薄膜(10)压紧固定在所述泵体(3)下。2.根据权利要求1所述的一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵，其特征在于，所述阀腔盖板(1)包括引线孔(1-1)、阀腔盖板支撑面(1-2)、阀腔安装孔(1-3)、阀腔弯振换能器安装孔(1-4)、两个阀腔盖板通孔(1-5)、阀腔弯振换能器限位面(1-6)，所述阀腔盖板支撑面(1-2)为所述阀腔盖板(1)的下表面，且与所述泵体(3)接触，所述引线孔(1-1)为阀腔盖板(1)外缘面与阀腔盖板(1)内缘面的通孔，所述两个阀腔弯振换能器(4)的导线设置于所述引线孔(1-1)中且头端露出于所述引线孔(1-1)外，所述阀腔安装孔(1-3)为通孔，所述泵体总装连接件(6)穿插于阀腔安装孔(1-3)中，所述两个阀腔弯振换能器(4)通过所述阀腔弯振换能器安装孔(1-4)固定在所述阀腔盖板(1)上，所述两个阀腔盖板通孔(1-5)相对于所述阀腔盖板(1)呈中心对称分布，所述两个阀腔弹性薄膜(8)分别布置于所述两个阀腔盖板通孔(1-5)处，所述阀腔弯振换能器限位面(1-6)为所述两个阀腔弯振换能器(4)的支撑面，所述两个阀腔弯振换能器(4)固定在所述阀腔弯振换能器限位面(1-6)上。3.根据权利要求1所述的一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵，其特征在于，所述泵腔盖板(2)设置有泵腔盖板支撑面(2-1)、泵腔安装孔(2-2)、液体管道通孔(2-3)、泵腔引线孔(2-4)、泵腔弯振换能器限位面(2-5)、泵腔弯振换能器安装孔(2-6)和泵腔盖板通孔(2-7)，所述泵腔盖板支撑面(2-1)为所述泵腔盖板(2)的上表面，且所述泵腔盖板支撑面(2-1)与所述泵体(3)接触，所述泵腔安装孔(2-2)为通孔，所述泵体总装连接件(6)穿插于所述泵腔安装孔(2-2)中，所述液体管道通孔(2-3)为通孔，所述泵腔引线孔(2-4)为所述泵腔盖板(2)外缘面与泵腔盖板(2)内缘面间的通孔，所述泵腔弯振换能器(11)的导线设置于所述泵腔引线孔(2-4)中且头端露出于所述泵腔引线孔(2-4)外，所述泵腔弯振换能器限位面(2-5)为所述泵腔弯振换能器(11)的支撑面，所述泵腔弯振换能器(11)固定在所述泵腔弯振换能器限位面(2-5)上，所述泵腔弯振换能器(11)通过所述泵腔弯振换能器安装孔(2-6)固定在所述泵腔盖板(2)上，所述泵腔盖板通孔(2-7)设置于所述泵腔盖板(2)的中心处，所述泵腔弯振换能器(11)的末端通过所述泵腔盖板通孔(2-7)与所述泵腔弹性薄膜(10)刚性连接。4.根据权利要求1所述的一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵，其特征在于，所述泵体(3)包括泵体安装孔(3-1)、出口阀腔环形凹槽(3-2)、流体出口(3-3)、出口阀腔(3-4)、出口阀腔环形边界(3-5)、泵腔出口(3-6)、入口阀腔(3-7)、流体入口(3-8)、入口阀腔环形边界(3-9)、入口阀腔环形凹槽(3-10)、泵腔入口(3-11)、泵体接触面(3-12)、泵腔环形凹槽(3-13)和泵腔(3-14)，所述泵体总装连接件(6)穿插于所述泵体安装孔(3-1)中，所述出口阀腔(3-4)和入口阀腔(3-7)均设置于所述泵体(3)的上表面，所述出口阀腔(3-4)的腔口处设置有用于密封所述出口阀腔(3-4)的所述出口阀腔环形凹槽(3-2)与所述阀腔环形密封圈(7)，所述入口阀腔(3-7)的腔口处设置有用于密封所述入口阀腔(3-7)的所述入口阀腔环形凹槽(3-10)与所述阀腔环形密封圈(7)，所述泵腔(3-14)设置于所述泵体(3)的下表面中心，所述泵腔(3-14)的腔口处设置有用于密封所述泵腔(3-14)的所述泵腔环形密封圈(9)与泵腔环形凹槽(3-13)，所述泵腔出口(3-6)和所述泵腔入口(3-11)均设置在所述泵腔(3-14)中，所述泵腔出口(3-6)为两端分别设置于所述泵腔(3-14)和所述出口阀腔(3-4)的通孔，所述泵腔入口(3-11)为两端分别设置于所述泵腔(3-14)和所述入口阀腔(3-7)的通孔，所述流体入口(3-8)设置于所述入口阀腔(3-7)的中央，且所述入口阀腔环形边界(3-9)设置于所述流体入口(3-8)周围，所述流体出口(3-3)设置于所述出口阀腔(3-4)中央，且所述出口阀腔环形边界(3-5)设置于所述流体出口(3-3)周围，所述泵体接触面(3-12)分别与所述阀腔盖板(1)和所述泵腔盖板(2)固定连接。5.根据权利要求1所述的一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵，其特征在于，每个阀腔弯振换能器(4)包括换能器基座Ⅰ(4-1)、弯振压电陶瓷组Ⅰ(4-2)、限位套筒Ⅰ(4-3)、变幅杆组件Ⅰ(4-4)、柔性铰链Ⅰ(4-5)、驱动足Ⅰ(4-6)、薄膜固定孔Ⅰ(4-7)和换能器固定组件Ⅰ(4-8)，所述变幅杆组件Ⅰ(4-4)穿过所述弯振压电陶瓷组Ⅰ(4-2)且所述变幅杆组件Ⅰ(4-4)与所述弯振压电陶瓷组Ⅰ(4-2)滑动连接，所述限位套筒Ⅰ(4-3)与所述变幅杆组件Ⅰ(4-4)固定连接，且所述限位套筒Ⅰ(4-3)限位所述振压电陶瓷组Ⅰ(4-2)于所述限位套筒Ⅰ(4-3)和所述换能器基座Ⅰ(4-1)间，所述两个弯振压电陶瓷组Ⅰ(4-2)通过所述两个变幅杆组件Ⅰ(4-4)和所述两个换能器固定组件Ⅰ(4-8)固定连接在所述换能器基座Ⅰ(4-1)的两侧，所述变幅杆组件Ⅰ(4-4)通过所述柔性铰链Ⅰ(4-5)与所述驱动足Ⅰ(4-6)柔性连接，所述驱动足Ⅰ(4-6)通过所述薄膜固定孔Ⅰ(4-7)与对应的阀腔弹性薄膜(8)固定连接。6.根据权利要求1所述的一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵，其特征在于，所述泵腔弯振换能器(11)包括换能器基座Ⅱ(11-1)、弯振压电陶瓷组Ⅱ(11-2)、换能器固定组件Ⅱ(11-3)、限位套筒Ⅱ(11-4)、变幅杆组件Ⅱ(11-5)、柔性铰链Ⅱ(11-6)、驱动足Ⅱ(11-7)和薄膜固定孔Ⅱ(11-8)，所述变幅杆组件Ⅱ(11-5)穿过所述弯振压电陶瓷组Ⅱ(11-2)且所述变幅杆组件Ⅱ(11-5)与所述弯振压电陶瓷组Ⅱ(11-2)滑动连接，所述限位套筒Ⅱ(11-4)与所述变幅杆组件Ⅱ(11-5)固定连接，且所述限位套筒Ⅱ(11-4)限位所述弯振压电陶瓷组Ⅱ(11-2)于所述限位套筒Ⅱ(11-4)和所述换能器基座Ⅱ(11-1)间，所述弯振压电陶瓷组Ⅱ(11-2)通过所述变幅杆组件Ⅱ(11-5)和所述换能器固定组件Ⅱ(11-3)与所述换能器基座Ⅱ(11-1)固定连接，所述变幅杆组件Ⅱ(11-5)通过所述柔性铰链Ⅱ(11-6)与所述驱动足Ⅱ(11-7)连接，所述驱动足Ⅱ(11-7)通过所述薄膜固定孔Ⅱ(11-8)与所述泵腔弹性薄膜(10)固定连接。7.一种如权1-6中任意一项所述的一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵的泵送方法，其特征在于，通过三路交流电压信号激励实现所述多腔体双向压电泵泵送输出正向液体的具体步骤为：S101对入口阀腔(3-7)对应的弯振压电陶瓷组Ⅰ(4-2)施加高电平激励信号，所述入口阀腔(3-7)打开，液体被吸入所述入口阀腔(3-7)；S102对泵腔(3-14)对应的弯振压电陶瓷组Ⅱ(11-2)施加高电平激励信号，所述泵腔(3-14)内部压强减小，所述入口阀腔(3-7)中液体流入所述泵腔(3-14)中；S103所述入口阀腔(3-7)对应的所述弯振压电陶瓷组Ⅰ(4-2)的激励信号由高电平变成低电平，所述入口阀腔(3-7)关闭，液体停止流入入口阀腔(3-7)；S104对出口阀腔(3-4)对应的所述弯振压电陶瓷组Ⅰ(4-2)施加高电平激励信号，所述出口阀腔(3-4)打开，液体流入所述出口阀腔(3-4)；S105对所述泵腔(3-14)对应的所述弯振压电陶瓷组Ⅱ(11-2)施加的激励信号由高电平变为低电平，所述弯振压电陶瓷组Ⅱ(11-2)的变形减小，并逐渐与泵腔弹性薄膜(10)接触，所述泵腔(3-14)压力增大，更多的液体通过泵腔出口(3-6)进入所述出口阀腔(3-4)；S106所述出口阀腔(3-4)对应的所述弯振压电陶瓷组Ⅰ(4-2)施加的激励信号由高电平变成低电平，所述出口阀腔(3-4)关闭，最终使所述出口阀腔(3-4)中的液体流出；S107判断所述多腔体双向压电泵是否正向泵送输出了足够的液体，若是，则进入步骤S108；否则，返回步骤S101；S108关闭所述多腔体双向压电泵，结束泵送任务；通过三路交流电压信号激励实现所述多腔体双向压电泵泵送输出反向液体的具体步骤为：S111对出口阀腔(3-4)对应的弯振压电陶瓷组Ⅰ(4-2)施加高电平激励信号，所述出口阀腔(3-4)打开，液体被吸入所述出口阀腔(3-4)；S112对泵腔(3-14)对应的弯振压电陶瓷组Ⅱ(11-2)施加高电平激励信号，所述泵腔(3-14)内部压强减小，所述出口阀腔(3-4)中液体流入所述泵腔(3-14)中；S113所述出口阀腔(3-4)对应的所述弯振压电陶瓷组Ⅰ(4-2)的激励信号由高电平变成低电平，所述出口阀腔(3-4)关闭，液体停止流入出口阀腔(3-4)；S114对入口阀腔(3-7...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘英想，李恒禹，陈维山，刘军考，李锴，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23