【技术实现步骤摘要】
横向相减差动共焦透镜折射率测量方法
本专利技术涉及横向相减差动共焦透镜折射率测量方法，尤其涉及用于透镜折射率的非接触式高精度测量方法，属于光学精密测量
技术介绍
球面透镜是光学系统中最重要的元件之一。球面透镜的折射率是其基本参数，直接决定透镜的焦距、主平面位置等性能参数，因而球面透镜折射率测量一直是光学测量中最基本的问题。目前测量玻璃折射率的主要方法是：V棱镜法和直角照射法。这两种方法的测量精度很高，但是需要将透镜材料加工成特定的形状，因此无法直接用于透镜折射率测量。上述两方法适用于制作透镜以前，预先对该批次玻璃材料的折射率进行测量时使用，但是由于玻璃材质具有一定的不均匀性，同一批次的玻璃折射率存在一定差异，这对于精密光学元件来说是不可忽略的，因此，对透镜折射率进行非接触高精度测量十分必要。为此，国内学者提出了无损的测量方法，发表的文献主要包括：《武汉测绘科技大学学报》的《透镜折射率的高精度非接触测量方法》，《哈尔滨理工大学学报》的《用环形横向剪切干涉仪测量透镜的折射率》。此类技术主要采用了浸液法，即调制不同折射率液体的混合比例使混合液体的折射率与被测透...
【技术保护点】
1.横向相减差动共焦透镜折射率测量方法，其特征在于：包括以下步骤，a)打开点光源(1)，点光源(1)发出的光经分束镜(2)、准直透镜(3)和测量物镜(4)后形成聚焦测量光束(5)照射在被测透镜(6)上；b)调整被测透镜(6)使其与测量物镜(4)和准直透镜(3)共光轴，使准直透镜(3)出射的平行光束经测量物镜(4)汇聚成聚焦测量光束(5)聚焦在被测透镜(6)顶点A上，被测透镜(6)顶点反射的聚焦测量光束(5)再经测量物镜(4)和准直透镜(3)后被分束镜(2)反射进入到横向相减差动共焦探测系统(7)，测量光束形成焦前测量艾里斑(13)后被焦前CCD探测器(10)探测；c)沿光轴...
【技术特征摘要】
1.横向相减差动共焦透镜折射率测量方法，其特征在于：包括以下步骤，a)打开点光源(1)，点光源(1)发出的光经分束镜(2)、准直透镜(3)和测量物镜(4)后形成聚焦测量光束(5)照射在被测透镜(6)上；b)调整被测透镜(6)使其与测量物镜(4)和准直透镜(3)共光轴，使准直透镜(3)出射的平行光束经测量物镜(4)汇聚成聚焦测量光束(5)聚焦在被测透镜(6)顶点A上，被测透镜(6)顶点反射的聚焦测量光束(5)再经测量物镜(4)和准直透镜(3)后被分束镜(2)反射进入到横向相减差动共焦探测系统(7)，测量光束形成焦前测量艾里斑(13)后被焦前CCD探测器(10)探测；c)沿光轴方向测量物镜(4)使聚焦测量光束(5)的焦点与被测透镜(6)的顶点A位置重合；在被测透镜(6)顶点A位置附近轴向扫描测量物镜(4)，将横向相减差动共焦探测系统(7)中焦前大虚拟针孔探测域(14)和焦前小虚拟针孔探测域(15)分别探测的焦前大虚拟针孔探测共焦特性曲线(19)IB1(z,-uM)和焦前小虚拟针孔探测共焦特性曲线(20)IS1(z,-uM)进行相减处理得到半高宽压缩的焦前横向相减锐化共焦特性曲线(21)I1(z,-uM)＝IS1(z,-uM)-γIB1(z,-uM)，将横向相减差动共焦探测系统(7)中焦后大虚拟针孔探测域(17)和焦后小虚拟针孔探测域(18)分别探测的焦后大虚拟针孔探测共焦特性曲线(22)IB2(z,+uM)和焦后小虚拟针孔探测共焦特性曲线(23)IS2(z,+uM)进行相减处理得到半高宽压缩的焦后横向相减锐化共焦特性曲线(24)I2(z,+uM)＝IS2(z,+uM)-γIB2(z,+uM)，其中z为轴向坐标，γ为调节因子，uM为焦前CCD探测器(9)偏离焦前显微物镜(8)焦平面距离M的归一化距离，也是焦后CCD探测器(11)偏离焦后显微物镜(10)焦平面距离M的归一化距离；将焦后横向相减锐化共焦特性曲线(24)I2(z,+uM)和焦前横向相减锐化共焦特性曲线(21)I1(z,-uM)进行差动相减即得到轴向高灵敏的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王允，邱丽荣，赵维谦，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：北京,11
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