一种压电薄膜式流体泵制造技术

本实用新型专利技术涉及的压电薄膜式流体泵，包括：一空心圆台型泵体，其内设有直径大于圆腔体直径的上、下圆台，其圆台外端面上分别装弹性支撑垫，支撑垫外表面上分别贴覆压电陶瓷片；支撑垫之间形成流体腔；泵体的径向设有与流体腔相通的流体入口通道和流体出口通道；安装在流体入口通道内的入口单向阀和安装在流体出口通道内的出口单向阀；压电陶瓷片分别与激励电源相连接。本实用新型专利技术集动力、传动、输送为一体；且结构简单；小体积、轻重量、低能耗、无转动惯量；适用于空间和生物环境应用；从电能直接转换成推动流体的机械能，无机械转动、传动、变速结构；与流体接触无金属；并联使用可达到多通道流体同时输送并可调；串联使用可提高其输出压头。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压电薄膜式流体泵，其特征在于，包括：　　　　一空心圆台型泵体（１），其空心圆腔体内设有直径大于该圆腔体直径的上、下圆台，其上圆台的外端面上安装有上弹性支撑垫（１５），上弹性支撑垫（１５）的外表面上贴覆有上压电陶瓷片（２）；其下圆台的外端面上安装有下弹性支撑垫（１５１），下弹性支撑垫（１５１）地外表面上贴覆有下压电陶瓷片（２１）；所述上弹性支撑垫（１５）与下弹性支撑垫（１５１）之间形成一流体腔（１１）；　　　　所述空心圆台型泵体（１）的径向设有与所述流体腔（１１）相通的流体入口通道（１２）和流体出口通道（１３）；还包括　　　　安装在流体入口通道（１２）内的流体入口单向阀；和　　　　安装在流体出口通道（１３）内的流体出口单向阀；所述入口单向阀与出口单向阀为控制流体单向流动的单向阀；　　　　所述上压电陶瓷片（２）和下压电陶瓷片（２１）分别与激励电源相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文喜，张志远，冯学章，蒋远大，
申请(专利权)人：中国科学院空间科学与应用研究中心，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]