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本实用新型涉及的压电薄膜式流体泵，包括：一空心圆台型泵体，其内设有直径大于圆腔体直径的上、下圆台，其圆台外端面上分别装弹性支撑垫，支撑垫外表面上分别贴覆压电陶瓷片；支撑垫之间形成流体腔；泵体的径向设有与流体腔相通的流体入口通道和流体出口通道...
该专利属于中国科学院空间科学与应用研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院空间科学与应用研究中心授权不得商用。

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