一种动态可调的沟槽形波导结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种动态可调的沟槽形波导结构，包括波导层和衬底，波导层中有沟槽波导，沟槽波导中覆盖有低折射率介质层，低折射率介质层上覆盖有调控层，调控层为热致折射率改变的材料。通过调节调控层温度，改变调控层折射率，从而实现了沟槽形波导结构中的传播的电磁波模式。该结构具有调控方法简单、电磁波模式面积小等优点。

A dynamically adjustable grooved waveguide structure

【技术实现步骤摘要】
一种动态可调的沟槽形波导结构
本技术涉及光电子
，具体涉及一种动态可调的沟槽形波导结构。
技术介绍
由于衍射极限的限制，传统光信号传输方式无法实现亚波长设计，并且传统传输线之间的耦合较大，影响了光电子器件集成。表面等离激元波导结构是基于表面等离激元设计的新型波导结构，突破了传统衍射极限，是光电子研究中的重要研究方向。表面等离激元波导结构是提高集成度的重要设计，但是表面等离激元波导传输的电磁波模式单一，不具有动态可调能力，限制了表面等离激元波导结构的应用。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种动态可调的沟槽形波导结构，该波导结构包括波导层和衬底，波导层中有沟槽形波导，沟槽形波导内侧覆盖有低折射率介质层，低折射率介质层上覆盖有调控层。进一步地，所述调控层为热致折射率改变材料。进一步地，所述调控层为二氧化钒材料。进一步地，所述低折射率介质层为氟化镁材料。进一步地，在所述低折射率介质层与调控层间设有石墨烯层。本技术的有益效果：本技术提供的这种动态可调的沟槽形波导结构中，通过调控层的折射率，改变调控层对沟槽形波导中表面等离激元的限制作用，从而调控沟槽形波导中电磁波模式。此外，石墨烯层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种动态可调的沟槽形波导结构，包括波导层(1)和衬底(2)，波导层(1)中有沟槽形波导，其特征在于：沟槽形波导内侧覆盖有低折射率介质层(3)，低折射率介质层(3)上覆盖有调控层(4)。

【技术特征摘要】
1.一种动态可调的沟槽形波导结构，包括波导层(1)和衬底(2)，波导层(1)中有沟槽形波导，其特征在于：沟槽形波导内侧覆盖有低折射率介质层(3)，低折射率介质层(3)上覆盖有调控层(4)。2.如权利要求1所述的动态可调的沟槽形波导结构，其特征在于：所述调控层(4)为热致折射率改变材料。3.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：苏州雷目电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32