【技术实现步骤摘要】
一种耦合型沟槽波导结构
本技术涉及光电子
，具体涉及一种耦合型沟槽波导结构。
技术介绍
由于衍射极限的限制，传统光信号传输方式无法实现亚波长设计，并且传统传输线之间的耦合较大，影响了光电子器件集成。表面等离激元波导结构是基于表面等离激元设计的新型波导结构，突破了传统衍射极限，是光电子研究中的重要研究方向。现有表面等离激元波导的传播模式单一、不可调，这限制了表面等离激元波导的应用。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种耦合型沟槽波导结构，该波导结构包括波导层和衬底，波导层包括薄膜和在薄膜上的沟槽波导，该波导结构还包括在沟槽波导底部、与沟槽波导隔离的调控腔，调控腔内填充调控材料。进一步地，所述波导层为贵金属材料。进一步地，所述沟槽波导的截面为梯形，并且梯形的短边在沟槽底部。进一步地，所述调控腔的截面为矩形，矩形的边平行于梯形的短边。进一步地，所述沟槽波导与调控腔之间距离小于40纳米。进一步地，所述调控材料为热敏材料。进一步地，所述调控腔为两个，两调控腔平行设置，之间距离大于40纳米。进一步地，所述两调控腔中填充不同的调控材料。本技术的有益效果：本技术提供的这种耦合型沟槽波导结构中，引入了调控腔，通过沟槽中的表面等离激元与调控腔的耦合，进一步将表面等离激元限制在沟槽波导的底部，减小了波导中表面等离激元的模式面积；在调控腔中引入调控材料，特别是热敏材料，通过改变温度，改变调控材料的折射率，调控波导中传播的表面等离激元与调控腔的耦合，从而调控沟槽波导中的模式，实现了沟槽波导中表面等离激元模式的动态可调。以下将结合附图对本技术做进一步详细说明。附图说明图1是...
【技术保护点】
1.一种耦合型沟槽波导结构，包括波导层(1)和衬底(2)，波导层(1)包括薄膜和在薄膜上的沟槽波导(3)，其特征在于：还包括在沟槽波导(3)底部、与沟槽波导(3)隔离的调控腔(4)，调控腔(4)内填充调控材料。
【技术特征摘要】
1.一种耦合型沟槽波导结构，包括波导层(1)和衬底(2)，波导层(1)包括薄膜和在薄膜上的沟槽波导(3)，其特征在于：还包括在沟槽波导(3)底部、与沟槽波导(3)隔离的调控腔(4)，调控腔(4)内填充调控材料。2.如权利要求1所述的耦合型沟槽波导结构，其特征在于：所述波导层(1)为贵金属材料。3.如权利要求2所述的耦合型沟槽波导结构，其特征在于：所述沟槽波导(3)的截面为梯形，并且梯形的短边在沟槽底部。4.如权利要求3所述的耦合型沟槽波导结构，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：苏州雷目电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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