一种表面等离子体滤波器制造技术

本发明专利技术提供一种表面等离子体滤波器，属于微纳光学器件领域。主要通过金属异质结构组合，以引入无序，来实现结构的随机性，从而达到产生表面等离子体的安德森局域化效应的目的。由交替堆叠两种金属波导构成的金属异质波导能够实现对SPs有效折射率的周期性调制以及在某个特定的波长下产生禁带。通过引入无序，打破金属表面上有效折射率的周期性，就能产生一个SPs局域模式，出现安德森局域化效应，实现滤波效果。通过改变无序度大小，就可以对滤波范围以及透过波长实现有效地控制，进而实现滤波效果。本发明专利技术在近红外波段的光子集成、光信息处理等方面有广泛的应用前景。同时，随机的金属异质波导在实际应用中可以实现较低的损耗，效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种表面等离子体滤波器
本专利技术涉及一种表面等离子体滤波器，属于微纳光学器件领域。
技术介绍
表面等离子体(SurfacePlasmons,SPs)是金属表面的自由电子形成的表面等离激元与入射光子相互耦合而形成的混合电磁模式，可突破衍射极限，将电磁波能量局域和控制在亚波长尺度内。由于TE(TransverseElectricField)波在界面处只有水平分量，所以它不能使得金属表面的电子产生聚焦从而产生电子极化现象，即TE波不能激发出SPs的本征模式。与其相对的TM(TransverseMagnetic)波由于在介质与金属内部电磁场空间分量分布不连续，而在金属-介质交界面上产生极化电荷，它们可以沿交界面纵向激荡进而向前传播。现有的表面等离子体滤波器中，金属异质波导结构中要求每个周期内两种金属的结构参数L1和L2分别与其他周期内的对应的L1和L2精确相同，即结构固定，而在生产过程中对其精度要求较高势必会导致生产过程中损耗变大，效率降低。
技术实现思路
为了解决目前存在的问题，本专利技术提供了一种表面等离子体滤波器，为金属-绝缘体-金属结构，所述表面等离子体滤波器的金属异质波导为随机结构。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种表面等离子体滤波器，为金属‑绝缘体‑金属结构，其特征在于，所述表面等离子体滤波器的金属异质波导为随机结构。

【技术特征摘要】
1.一种表面等离子体滤波器，为金属-绝缘体-金属结构，其特征在于，所述表面等离子体滤波器的金属异质波导为随机结构。2.根据权利要求1所述的表面等离子体滤波器，其特征在于，金属异质波导为上下对称结构。3.根据权利要求1或2所述的表面等离子体滤波器，其特征在于，金属异质波导结构由磁控溅射方法得到。4.根据权利要求1-3任一所述的表面等离子体滤波器，其特征在于，所述表面等离子体滤波器绝缘体为空气层。5.根据权利要求4所述的表面等离子体滤波器，其特征在于，所述金属异质波导的材质为铝和银。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：王跃科，杨国锋，陆梦佳，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32