【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多级真空泵,包括:一组罗茨真空泵单元,它们以串连连接形成一多级结构,各罗茨真空泵单元有一壳体,其形成有一入口和一出口的泵室,一对设置于所述泵室中的叶轮,其装在对应的平行轴上,以致能相互啮合和同步转动,和一对定时齿轮,其装在所述泵室外 的所述平行轴的对应端部,其相互啮合使所述一对叶轮同步转动;和排气管,其使各对相邻罗茨真空泵单元的前一级泵单元的出口和后一级泵单元的入口串连在一起,以使所述一组泵单元的泵室相互串连连接;所述一组罗茨真空泵单元的壳体是相互分离的,所 述多级真空泵的布置使所述各泵单元的叶轮转速可独立地调整。
【技术特征摘要】
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