【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多腔压电薄膜驱动泵，由设有流体进、出口通道（１）、（２）的泵体（３）和设置在泵体内腔的压电振子，进、出口阀组成，其特征在于至少含有按如下方式构成的二个串联工作腔体：压电振子（４）、（５）分别将泵体（３）内腔隔成封闭的腔体（６）、（７），腔体（６）的流体进口通过进口阀（９）与进口通道（１）相连通，腔体（７）的流体出口通过出口阀（１１）与出口通道（２）相连通，与腔体（６）相连通的通道（８）通过阀（１０）与腔体（７）相连通，阀（１０）既为腔体（６）的出口阀，亦为腔体（７）的进口阀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨志刚，阚君武，程光明，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：82[中国|长春]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。