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本发明涉及一种多腔压电薄膜驱动泵，用于微小流体传输与控制。它由设有流体进、出口通道的泵体和设置在泵体内腔的压电振子，进出口阀组成，特点是至少含有压电振子与泵体构成的二个串联或并联的工作腔体，由于该泵输出流体性能相当于数个单腔压电泵串联或并联...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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