一种丝杠水平检测工装制造技术

技术编号:21494484 阅读:52 留言:0更新日期:2019-06-29 11:03
本实用新型专利技术属于杆件水平检测设备技术领域,提供了一种丝杠水平检测工装,包括安装基板、第一千分表安装件、连接件和第二千分表安装件;安装基板上开设有用以实现其安装固定的安装孔,第一千分表安装件沿水平方向滑动安装于安装基板上,且通过第一定位螺栓定位固定,第一千分表安装件上设有用以实现千分表安装的第一夹持固定部,连接件沿竖直方向滑动安装于第一千分表安装件上,且通过第二定位螺栓定位固定,第二千分表安装件转动安装于连接件上,且通过第三定位螺栓定位固定,第二千分表安装件上设有用以实现千分表安装的第二夹持固定部。本实用新型专利技术便于实现对丝杠的水平检测,能够有效确认丝杠的实际水平状态,且结构简单,体积小,使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种丝杠水平检测工装
本技术涉及杆件水平检测设备
,尤其涉及一种丝杠水平检测工装。
技术介绍
目前,对于加工精度要求比较高的设备,往往在组装完成或运行前需要对其进行精度检测,以确保设备具有较高的加工精度,降低加工误差。通过模板去除晶圆表面保护膜的光刻机设备,其要求具有高精度的对准系统,故需要确保安装曝光台的丝杠达到水平状态,但目前仍没有专门用于实现丝杠水平检测的工具,传统的操作方法是:把曝光台和丝杠间安装连接的螺丝松开,手动转动驱动电机末端轮轴,使丝杠转动,丝杠转动带动曝光台前后移动几次后紧固螺丝,以此方法使得丝杠达到水平状态。但上述操作方法因没有专门的水平测量工具,故无法确认丝杠的实际水平状态。因此,开发一种丝杠水平检测工装,不但具有迫切的研究价值,也具有良好的经济效益和工业应用潜力,这正是本技术得以完成的动力所在和基础。
技术实现思路
为了克服上述所指出的现有技术的缺陷,本专利技术人对此进行了深入研究,在付出了大量创造性劳动后,从而完成了本技术。具体而言,本技术所要解决的技术问题是:提供一种丝杠水平检测工装,以便于实现丝杠的水平检测,且结构简单,体积小,使用方便。为解决上述技术问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种丝杠水平检测工装,其特征在于:包括安装基板,所述安装基板上开设有用以实现其安装固定的安装孔;第一千分表安装件,所述第一千分表安装件沿水平方向滑动安装于所述安装基板上,且通过第一定位螺栓定位固定,所述第一千分表安装件上设有用以实现千分表安装的第一夹持固定部;连接件,所述连接件沿竖直方向滑动安装于所述第一千分表安装件上,且通过第二定位螺栓定位固定;以及第二千分表安装件,所述第二千分表安装件转动安装于所述连接件上,且通过第三定位螺栓定位固定,所述第二千分表安装件上设有用以实现千分表安装的第二夹持固定部。

【技术特征摘要】
1.一种丝杠水平检测工装,其特征在于:包括安装基板,所述安装基板上开设有用以实现其安装固定的安装孔;第一千分表安装件,所述第一千分表安装件沿水平方向滑动安装于所述安装基板上,且通过第一定位螺栓定位固定,所述第一千分表安装件上设有用以实现千分表安装的第一夹持固定部;连接件,所述连接件沿竖直方向滑动安装于所述第一千分表安装件上,且通过第二定位螺栓定位固定;以及第二千分表安装件,所述第二千分表安装件转动安装于所述连接件上,且通过第三定位螺栓定位固定,所述第二千分表安装件上设有用以实现千分表安装的第二夹持固定部。2.如权利要求1所述的丝杠水平检测工装,其特征在于:所述第一千分表安装件为L型,且所述第一千分表安装件的一端开设有第一条形孔,所述安装基板上开设有第一定位孔,所述第一定位螺栓穿过所述第一条形孔,且螺纹安装于所述第一定位孔内,所述第一夹持固定部位于所述第一千分表安装件的另一端。3.如权利要求2所述的丝杠水平检测工装,其特征在于:所述第一定位孔开设有两个,两所述第一定位孔位于所述安装基板的一端,且沿水平方向排列设置。4.如权利要求1所述的丝杠水平检测工装,其特征在于:所述第一千分表安装件上具有一安装部,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:许南发张帅帅刘军强王晓慧
申请(专利权)人:山东元旭光电股份有限公司
类型:新型
国别省市:山东,37

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