真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统技术方案

一种用于进行真空泵的自诊断的真空泵自诊断方法，其特征在于：　　　　当预定的警报设定值被用于旋转所述真空泵的转子的马达的电流的积分值或平均值超过时进行自诊断，以产生警报。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：杉浦哲郎，田中敬二，中泽敏治，木户功一，山崎智行，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：