一种偏置射频匹配器及其漏液检测系统和半导体设备技术方案

本实用新型专利技术提供了一种偏置射频匹配器及其漏液检测系统和半导体设备，偏置射频匹配器包括壳体、导流管，壳体内设置有待降温单元及冷却液管路，冷却液管路用于将待降温单元降温，壳体的底部开设有泄漏孔，导流管的进口端密封连接于泄漏孔靠近外侧的一端，导流管用于导流通过泄漏孔流出的液体，导流管的出口端置于一容置单元内，且泄漏孔的水平高度高于导流管的出口端的水平高度，容置单元具有一用于容置导流管流出的液体的容置腔。通过在偏置射频匹配器的壳体的底部开设泄漏孔，并在泄漏孔靠近外侧的一端连接导流管，导流泄漏孔流出的液体，避免了冷却液管路发生泄漏时冷却液在偏置射频匹配器的壳体内聚集的问题，提高了生产安全性和生产效率。

A Biased Radio Frequency Matching Device and Its Leakage Detection System and Semiconductor Equipment

The utility model provides a biased radio frequency matcher, a leak detection system and a semiconductor device. The biased radio frequency matcher comprises a shell and a guide pipe, and a cooling unit and a coolant pipeline are arranged in the shell. The coolant pipeline is used to cool the cooling unit. A leak hole is arranged at the bottom of the shell, and the inlet end of the guide pipe is sealed at the end close to the outside of the leak hole. The diversion tube is used to guide the liquid flowing through the leakage hole. The outlet end of the diversion tube is placed in a holding unit, and the horizontal height of the leakage hole is higher than the horizontal height of the outlet end of the diversion tube. The holding unit has a holding cavity for holding the liquid flowing out of the diversion tube. By opening a leak hole at the bottom of the shell of biased RF matcher and connecting a guide pipe at the end near the outside of the leak hole, the liquid flowing out of the guide leakage hole can be avoided, which can avoid the problem of the accumulation of coolant in the shell of biased RF matcher when the coolant pipeline leaks, thus improving the production safety and efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种偏置射频匹配器及其漏液检测系统和半导体设备
本技术属于半导体设备制造领域，涉及一种偏置射频匹配器及其漏液检测系统和半导体设备。
技术介绍
图1，是现有技术中的一种偏置射频匹配器1的局部剖视图，图2，是现有技术中的一种偏置射频匹配器1的壳体4与壳体盖5的结构示意图，请参考图1和图2，在半导体的工艺过程中偏置射频匹配器1用于提供偏置电压，现有技术中的半导体设备的偏置射频匹配器1中设置有电容2，电容2长时间工作发热会影响其精准度，所以需要在电容2的顶部设置水冷散热管路3，而水冷散热管路3与电容2相连接的管接头处的密封圈会因老化导致冷却水的泄漏，电路板受潮或者电路板接触到冷却水，从而导致电路板烧毁或者造成半导体设备断电。当偏置射频匹配器1中的水冷散热管路3发生泄漏时，由于偏置射频匹配器1的壳体盖5与壳体4之间是密封连接的，泄漏出来的冷却水会在偏置射频匹配器1的壳体4内部聚集，导致电路板烧毁或者造成半导体设备断电，作业员很难及时发现漏液现象，大大降低了生产安全性，影响了生产效率。
技术实现思路
本技术的目的之一在于提供一种偏置射频匹配器及其漏液检测系统和半导体设备，以解决现有技术中的偏置射频匹配器内的水冷散热管路发生泄漏时，冷却水在偏置射频匹配器的壳体内聚集的问题。本技术的另一目的在于解决现有技术中的偏置射频匹配器的壳体内发生漏液现象难以及时发现的问题。为解决上述技术问题，本技术提供了一种偏置射频匹配器，用于半导体设备上，包括壳体、导流管，所述壳体内设置有待降温单元及冷却液管路，所述冷却液管路用于将所述待降温单元降温，所述壳体的底部开设有泄漏孔，所述导流管的进口端密封连接于所述泄漏孔靠近外侧的一端，所述导流管用于导流通过所述泄漏孔流出的液体，所述导流管的出口端置于一容置单元内；且所述泄漏孔的水平高度高于所述导流管的出口端的水平高度，所述容置单元具有一用于容置所述导流管流出的液体的容置腔。优选地，所述导流管为软管。优选地，所述软管为塑胶软管或金属软管。优选地，所述泄漏孔的数量为一个或多个。优选地，所述泄漏孔的数量为多个，且所述壳体的底部上相邻两个所述泄漏孔之间开设有一个导流槽，所述导流槽的一端连接于一个所述泄漏孔，另一端连接于另一个所述泄漏孔。优选地，所述泄漏孔的数量为多个，且所述壳体的底部上相邻两个所述泄漏孔之间开设有多个导流槽，每个所述导流槽的一端连接于一个所述泄漏孔，另一端连接于另一个所述泄漏孔。优选地，所述导流槽沿垂直于所述壳体的底部的一端面方向上的投影形状为条形、S形或弧形。优选地，所述导流管的一端与所述壳体通过胶剂胶接。优选地，所述待降温单元为电容。本技术还提供了一种偏置射频匹配器的漏液检测系统，包括上述的一种偏置射频匹配器、以及漏液探测单元、电磁阀和控制器；所述漏液探测单元位于所述容置腔的底部，所述漏液探测单元用于检测所述壳体内是否发生漏液；所述漏液探测单元的信号输出端与所述控制器连接；所述电磁阀用于控制所述冷却液管路的开闭；所述控制器用于接收所述漏液探测单元输出的信号，并根据所述信号控制所述电磁阀的通断。优选地，还包括阀门、主机及人机交互界面，所述电磁阀为气动电磁阀；所述漏液探测单元信号输出端与所述控制器的第一信号输入端连接；所述控制器的信号输出端与所述气动电磁阀的信号输入端连接；所述控制器的信号输出端与所述主机的信号输入端连接；所述主机的信号输出端与所述控制器的第二信号输入端连接；所述气动电磁阀与所述阀门通过管路连接；所述阀门与所述冷却液管路相连接；所述人机交互界面连接于所述主机；若所述漏液探测单元监测到漏液现象：则所述控制器接收所述漏液探测单元的信号输出端反馈的信息，并传递至所述主机，所述主机在所述人机交互界面显示报警信息；所述主机发送漏液信号至所述控制器，所述控制器发送阀门切断信号至所述气动电磁阀，所述气动电磁阀控制所述阀门关闭。优选地，所述控制器为控制电路板或PLC控制器。本技术还提供了一种半导体设备，包括上述的一种偏置射频匹配器的漏液检测系统。优选地，还包括一射频车，所述容置单元为所述射频车。与现有技术相比，本技术提供了一种偏置射频匹配器及其漏液检测系统和半导体设备，所述偏置射频匹配器包括壳体、导流管，所述壳体内设置有待降温单元及冷却液管路，所述冷却液管路用于将所述待降温单元降温，所述壳体的底部开设有泄漏孔，所述导流管的进口端密封连接于所述泄漏孔靠近外侧的一端，所述导流管用于导流通过所述泄漏孔流出的液体，所述导流管的出口端置于一容置单元内，且所述泄漏孔的水平高度高于所述导流管的出口端的水平高度，所述容置单元具有一用于容置所述导流管流出的液体的容置腔。通过在所述偏置射频匹配器的壳体的底部开设泄漏孔，并在所述泄漏孔靠近外侧的一端连接所述导流管，导流通过所述泄漏孔流出的液体至所述容置单元中，避免了当所述冷却液管路发生泄漏时冷却液在偏置射频匹配器的壳体内聚集的问题，提高了生产安全性和生产效率。进一步，本技术还提供了一种偏置射频匹配器的漏液检测系统，包括上述的一种偏置射频匹配器、以及漏液探测单元、电磁阀和控制器，所述漏液探测单元位于所述容置腔的底部，所述漏液探测单元用于检测所述壳体内是否发生漏液，所述漏液探测单元的信号输出端与所述控制器连接，所述电磁阀用于控制所述冷却液管路的开闭，所述控制器用于接收所述漏液探测单元输出的信号，并根据所述信号控制所述电磁阀的通断。当射频匹配器的壳体内发生漏液现象时，所述控制器控制所述电磁阀动作从而切断所述冷却液管路中冷却液的流通，避免了当所述冷却液管路发生泄漏时冷却液在偏置射频匹配器的壳体内聚集的问题，避免了进一步泄漏，提高了生产安全性和生产效率。进一步，本技术还提供了一种半导体设备，包括上述的一种偏置射频匹配器的漏液检测系统。避免了当所述冷却液管路发生泄漏时冷却液在偏置射频匹配器的壳体内聚集的问题，避免了进一步泄漏，提高了生产安全性和生产效率。附图说明图1是现有技术中的一种偏置射频匹配器的局部剖视图；图2是现有技术中的一种偏置射频匹配器的壳体与壳体盖的结构示意图；图3是本技术实施例一提供的一种偏置射频匹配器的局部剖视图；图4是本技术实施例一提供的另一种偏置射频匹配器的局部剖视图；图5是本技术实施例一提供的另一种偏置射频匹配器的局部剖视图；其中，1-偏置射频匹配器；2-电容；3-水冷散热管路；4-壳体；5-壳体盖；10-壳体；11-导流管；12-待降温单元；13-冷却液管路；14-壳体的底部；15-泄漏孔；16-容置单元；17-导流槽。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提出的一种偏置射频匹配器及其漏液检测系统和半导体设备作进一步详细说明。根据权利要求书和下面说明，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。实施例一图3，是本技术实施例一提供的一种偏置射频匹配器的局部剖视图，请参考图3，一种偏置射频匹配器，用于半导体设备上，包括壳体10、导流管11，所述壳体10内设置有待降温单元12及冷却液管路13，所述冷却液管路13用于将所述待降温单元12降本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种偏置射频匹配器，用于半导体设备上，其特征在于，包括壳体、导流管，所述壳体内设置有待降温单元及冷却液管路，所述冷却液管路用于将所述待降温单元降温，所述壳体的底部开设有泄漏孔，所述导流管的进口端密封连接于所述泄漏孔靠近外侧的一端，所述导流管用于导流通过所述泄漏孔流出的液体，所述导流管的出口端置于一容置单元内；且所述泄漏孔的水平高度高于所述导流管的出口端的水平高度，所述容置单元具有一用于容置所述导流管流出的液体的容置腔。

【技术特征摘要】
1.一种偏置射频匹配器，用于半导体设备上，其特征在于，包括壳体、导流管，所述壳体内设置有待降温单元及冷却液管路，所述冷却液管路用于将所述待降温单元降温，所述壳体的底部开设有泄漏孔，所述导流管的进口端密封连接于所述泄漏孔靠近外侧的一端，所述导流管用于导流通过所述泄漏孔流出的液体，所述导流管的出口端置于一容置单元内；且所述泄漏孔的水平高度高于所述导流管的出口端的水平高度，所述容置单元具有一用于容置所述导流管流出的液体的容置腔。2.如权利要求1所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述导流管为软管。3.如权利要求2所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述软管为塑胶软管或金属软管。4.如权利要求1所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述泄漏孔的数量为一个或多个。5.如权利要求4所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述泄漏孔的数量为多个，且所述壳体的底部上相邻两个所述泄漏孔之间开设有一个导流槽，所述导流槽的一端连接于一个所述泄漏孔，另一端连接于另一个所述泄漏孔。6.如权利要求4所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述泄漏孔的数量为多个，且所述壳体的底部上相邻两个所述泄漏孔之间开设有多个导流槽，每个所述导流槽的一端连接于一个所述泄漏孔，另一端连接于另一个所述泄漏孔。7.如权利要求5或6所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述导流槽沿垂直于所述壳体的底部的一端面方向上的投影形状为条形、S形或弧形。8.如权利要求1所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述导流管的一端与所述壳体通过胶剂胶接。9.如权利要求1所述的一种偏置射频匹配器，其特征在于，所述待降温单元为电容。10.一种偏置...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛荣华，阚保国，刘家桦，叶日铨，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32