新型磁通反向平面电机制造技术

新型磁通反向平面电机，属于电机领域。本发明专利技术解决了现有平面电机无法同时兼顾结构简单和动态性能响应速度快的问题。本发明专利技术包括初级和次级，二者间存在气隙；通过气浮模块对初级进行气浮支撑，从而使初级悬浮在次级上方；初级通入三相正弦电流，使初级内产生的反向电磁能直接转换为初级的二维平面运动。本发明专利技术主要用于精密机械加工、半导体电子芯片生产、机械装卸、制造自动化仪表甚至机器人驱动等方面。

【技术实现步骤摘要】
新型磁通反向平面电机
本专利技术涉及一种新型磁通反向平面电机，属于电机领域。
技术介绍
现代精密、超精密加工装备对高响应、高速度、高精度的二维平面驱动装置有着迫切的需求，如精密机械加工、半导体电子芯片生产、机械装卸、制造自动化仪表甚至机器人驱动等方面。传统的二维平面驱动装置通常是由两组旋转电机驱动的直线运动转换机构叠加而成的，由于直线运动转换装置(一般为丝杆—螺母机构)结构复杂，传动精度和速度都受到一定的制约，并且存在摩擦、侧隙、变形等一系列问题，使得传统二维平面驱动装置很难满足现代加工装备的需求。近10年来，随着直线电机技术和产品的迅速发展，直线电机开始在二维平面定位装置中获得应用。由于不存在传统定位装置中存在的摩擦、侧隙、变形等影响运动精度的不利因素，直线电机驱动的平面定位装置的精度有了很大的提高。但是，这种定位装置仍然未摆脱“低维运动机构叠加成高维运动机构”的模式，对于底层直线电机而言，顶层驱动电机及其相关机械连接件的总质量，仍然是一个很大的“负担”。平面电机是一种可以直接将电磁能转换为二维平面运动的电磁装置，该装置具有精度高、损耗低、运动范围大等优点。由于不需要转换装置将旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.新型磁通反向平面电机，其特征在于，包括初级(100)和次级(200)，二者间存在气隙；通过气浮模块(300)对初级(100)进行气浮支撑，从而使初级(100)悬浮在次级(200)上方；初级(100)通入三相正弦电流，使初级(100)内产生的反向电磁能直接转换为初级(100)的二维平面运动。

【技术特征摘要】
1.新型磁通反向平面电机，其特征在于，包括初级(100)和次级(200)，二者间存在气隙；通过气浮模块(300)对初级(100)进行气浮支撑，从而使初级(100)悬浮在次级(200)上方；初级(100)通入三相正弦电流，使初级(100)内产生的反向电磁能直接转换为初级(100)的二维平面运动。2.根据权利要求1所述的新型磁通反向平面电机，其特征在于，气浮模块(300)为矩形的气浮框架，初级(100)嵌套在气浮框架内。3.根据权利要求1或2所述的新型磁通反向平面电机，其特征在于，初级(100)包括初级轭板(101)和n×n个初级单元；n为整数；n×n个初级单元以n×n阵列的排布方式固定在初级轭板(101)的气隙侧；在初级轭板(101)气隙侧平面内，沿x向或沿y向任意相邻的两个初级单元之间的间隔均为d。4.根据权利要求3所述的新型磁通反向平面电机，其特征在于，每个初级单元包括初级单元铁心(102)、初级绕组(103)和4块永磁体(104)；初级单元铁心(102)作为初级齿；初级单元铁心(102)的一个端面固定在初级轭板(101)的气隙侧上，另一个端面上贴有4块永磁体(104)，4块永磁体(104)以2×2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张鲁，寇宝泉，葛庆稳，周峰，李熙伦，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23