一种基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台制造技术

本发明专利技术涉及一种基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台，属于跨尺度精密运动领域。该基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台具有惯性块、运动块、压电陶瓷和设置在运动块底部的运动面，运动块设置在惯性块下方，在运动面上开设有微纳结构，运动面下端与金属面接触并产生摩擦力，惯性块具有一安装面，在安装面开设有沿惯性块的中心位置开设有贯穿惯性块的容置槽，压电陶瓷安放在容置槽中，在容置槽左右两侧分别设置有固定壁和弹性壁。本发明专利技术结构简单，体积小，制作工艺简单，制造成本较低，且可实现跨尺度的精密定位，另外，由于空腔内设置有磁铁，可以提高惯性块和运动块的摩擦力，使平台的运动更加稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台
本专利技术涉及一种基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台，属于跨尺度精密运动领域。
技术介绍
随着微/纳米技术的快速发展,在光学工程、微电子制造、航空航天技术、超精密机械制造、微机器人操作、生物医学及遗传工程等
的研究都迫切需要亚/微米级、微/纳米级的超精密驱动机构。具有微米级运动分辨率，又具有毫米级运动行程的跨尺度精密运动技术是目前微驱动领域中的关键技术。惯性粘滑驱动相对于其它类跨尺度运动驱动方式，驱动原理简单、方便、控制简单，且具有运动范围大、分辨率高、结构简单、易微小化和精确定位等优点，因此惯性粘滑驱动是目前出现的跨尺度驱动中应用较多的一种方式。惯性粘滑驱动的工作原理主要是以摩擦力作为驱动源，利用粘滑效应实现被驱动体的微小移动。近年来，把压电陶瓷作为驱动源的微驱动技术渐渐兴起，压电陶瓷具备许多优良的特性，如体积小、频响高、发热少、输出力大、无噪声、性能稳定等，充分满足微纳精密定位的要求。现有的压电陶瓷的精密驱动装置由于结构复杂，其体积较大，无法适应小空间内设备的粘滑驱动的需求，一般的小型平台提供的摩擦力较低，无法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台，其特征在于：所述基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台具有惯性块、运动块、压电陶瓷和设置在运动块底部的运动面，所述运动块设置在所述惯性块下方，在所述运动面上开设有微纳结构，所述运动面下端与金属面接触并产生摩擦力，所述惯性块具有一安装面，在所述安装面开设有沿所述惯性块的中心位置开设有贯穿所述惯性块的容置槽，所述压电陶瓷安放在所述容置槽中，在所述容置槽左右两侧分别设置有固定壁和弹性壁。

【技术特征摘要】
1.一种基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台，其特征在于：所述基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台具有惯性块、运动块、压电陶瓷和设置在运动块底部的运动面，所述运动块设置在所述惯性块下方，在所述运动面上开设有微纳结构，所述运动面下端与金属面接触并产生摩擦力，所述惯性块具有一安装面，在所述安装面开设有沿所述惯性块的中心位置开设有贯穿所述惯性块的容置槽，所述压电陶瓷安放在所述容置槽中，在所述容置槽左右两侧分别设置有固定壁和弹性壁。2.根据权利要求1所述的所述基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台，其特征在于：所述惯性块还包括沿所述惯性块的中心线前后对称设置并向下延伸至所述运动块的延伸部，所述延伸部的下端与所述运动块接触，所述运动块的上表面中心位置向上延伸有凸起，所述凸起位于两个所述延伸部之间，所述凸起、所述延伸部及所述固定壁围设形成有空腔，所述磁铁设置在所述空腔中，所述压电陶瓷被定义有第一端和第二端，所述第一端与所述固定壁相抵持，所述第二端与所述弹性壁相抵持，所述弹性壁包括抵持在第二端上的第一柔性铰链、与所述第一柔性铰链相对设置的第二柔性铰链及连接在第一柔性铰链和第二柔性铰链右侧的横梁和连接在横梁上的第二柔性铰链。3.根据权利要求2所述的基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台，其特征在于：在所述横梁上开设有沿所述横梁的中心线对称设置并贯穿所述横梁的第一缓冲孔，所述第一缓冲孔的数...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟博文，刘彬，王振华，孙立宁，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32