下载一种基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台的技术资料

文档序号:21404534

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本发明涉及一种基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台,属于跨尺度精密运动领域。该基于界面效应的自吸附惯性粘滑跨尺度精密运动平台具有惯性块、运动块、压电陶瓷和设置在运动块底部的运动面,运动块设置在惯性块下方,在运动面上开设有微纳结构,...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。

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