一种PERC电池背表面的抛光方法技术

本发明专利技术公开了一种PERC电池背表面的抛光方法，具体包括大气压等离子体放电在硅片正表面制备二氧化硅膜、抛光硅片背表面和去离子水清洗、烘干等步骤，较传统的高温氧化制备二氧化硅膜的方法而言，本发明专利技术公开的方法更加简单，大气压等离子体放电产生二氧化硅的过程可在室温空气条件下进行，对设备要求低，能耗低，操作更为便捷；在氧化后只需利用去离子水对电池背表面进行清洗，与含氟浆料清洗相比，能显著节约成本和避免环境污染。

【技术实现步骤摘要】
一种PERC电池背表面的抛光方法
本专利技术涉及太阳能电池材料
，具体涉及一种PERC电池背表面的抛光方法。
技术介绍
煤炭、石油、天然气等传统能源不仅具有不可再生性，长期使用还会导致严重的环境污染问题，时刻威胁人类的健康。因此，可再生能源越来越受到人们的关注，太阳能作为重要的绿色能源，成为近年来的研究热点之一，其中，晶硅电池又是目前唯一深度产业化的一类太阳能电池。目前，晶硅电池的发电成本仍高于传统煤炭发电，为了降低其发电成本，需要进一步优化其生产工艺、降低生产成本、并努力提高其光电效率。提高晶硅电池光电转换效率的方法有多种，但综合考虑成本、效率等因素，可用于实现大规模生产的工艺并不多。PERC电池(Passivatedemitterrearcontactsolarcells)是一种新型高效晶硅电池，具有制备工艺简单，易于工业化生产，光电效率高等特性。PERC电池与常规晶硅电池的不同之处主要在背表面结构和电流导出方式上。常规晶硅电池利用背面丝网印刷铝背场形成BSF层(Backsurfacefield)，排斥负电荷远离电池背面，但是电子的复合率仍高达500～5000cm/s。PE本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PERC电池背表面的抛光方法，其特征在于，具体包括以下步骤：(1)将单晶制绒后的硅片的其中一个表面作为PERC电池的正表面，在该表面进行大气压等离子体放电，得到不同厚度的二氧化硅膜；(2)在浓度为2～10wt％的抛光化学试剂水溶液中对硅片背表面进行抛光；(3)将抛光后的硅片置于含2～5wt％HF的水溶液中进行清洗，去除硅片正面的二氧化硅膜；(4)用去离子水清洗硅片，再将硅片离心烘干。

【技术特征摘要】
1.一种PERC电池背表面的抛光方法，其特征在于，具体包括以下步骤：(1)将单晶制绒后的硅片的其中一个表面作为PERC电池的正表面，在该表面进行大气压等离子体放电，得到不同厚度的二氧化硅膜；(2)在浓度为2～10wt％的抛光化学试剂水溶液中对硅片背表面进行抛光；(3)将抛光后的硅片置于含2～5wt％HF的水溶液中进行清洗，去除硅片正面的二氧化硅膜；(4)用去离子水清洗硅片，再将硅片离心烘干。2.如权利要求1所述的一种PERC电池背表面的抛光方法，其特征在于，步骤1中进行大气压等离子体放电的时...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈玉伟，唐惠东，陈小卉，李龙珠，杨蓉，徐立波，
申请(专利权)人：常州工程职业技术学院，
类型：发明
国别省市：江苏,32