光阻输送管、光阻输送系统及光阻涂布设备技术方案

本申请提供了一种光阻输送管、及具有其的光阻输送系统、及具有该光阻输送系统的光阻涂布设备，其中，所述光阻输送管为弹性中空结构，且所述光阻输送管整体呈可伸缩的螺旋状，所述光阻输送管连通于光阻罐与缓冲罐，用于将光阻罐内光阻传送至缓冲罐中。

Photoresistive Conveyor Pipe, Photoresistive Conveyor System and Photoresistive Coating Equipment

The application provides a photoresistive conveying pipe, a photoresistive conveying system with it, and a photoresistive coating device with the photoresistive conveying system. The photoresistive conveying pipe is an elastic hollow structure, and the photoresistive conveying pipe is in a flexible spiral shape as a whole. The photoresistive conveying pipe is connected to the photoresistive tank and the buffer tank, and is used for conveying the photoresistive in the photoresistive tank to the buffer tank.

【技术实现步骤摘要】
光阻输送管、光阻输送系统及光阻涂布设备
本申请涉及半导体与液晶生产
，特别涉及一种光阻输送管、光阻输送系统及光阻涂布设备。
技术介绍
光阻(PhotoResist，PR，亦称为光阻剂或光刻胶)，一种应用于多种工业制程上的光敏材料。在半导体或者液晶面板制造过程中，光阻通常应用于光刻工艺或者涂布于基板上形成彩膜(CF:ColorFilter)。光阻通常以液态形式放置于光阻罐中，当光阻用完时，需更换新的光阻罐。现有的光阻罐的光阻输出管道在更换光阻罐或者日常生产中容易出现弯折，造成光阻输送过程中压力异常，甚至发生漏气漏液的情况。
技术实现思路
本申请的主要目的是提供一种光阻输送管，旨在解决现有技术中光阻输出道出现弯折时无法正常传送光阻的问题。为实现上述目的，本申请提出的一种光阻输送管，所述光阻输送管为弹性中空结构，且所述光阻输送管整体呈可伸缩的螺旋状，所述光阻输送管连通于光阻罐与缓冲罐，用于将光阻罐内光阻传送至缓冲罐中。优选地，所述光阻输送管至少一端部套接有套管，所述套管还套接于光阻罐的接头及/或缓冲罐的接头。优选地，所述光阻输送管收缩时的整体外径为90-110mm，所述光阻输送管被拉直时的整体长度为1800-2200mm。此外，本申请还提出一种光阻输送系统，包括如上述任一项所述的光阻输送管，还包括光阻罐、缓冲罐、暂存罐及脱泡装置，所述光阻罐、缓冲罐、暂存罐及脱泡装置依序连通，且至少所述光阻罐与缓冲罐之间经所述光阻输送管连通。优选地，所述光阻输送系统还包括过滤装置、响应泵及口金，所述过滤装置连通所述脱泡装置及所述响应泵，所述响应泵连通所述口金，所述响应泵将光阻注入所述口金以进行涂布操作。优选地，所述光阻输送系统还包括压气管及加压装置，所述压气管一端连通至所述光阻罐中，所述压气管另一端连接至所述加压装置，所述加压装置经所述压气管将光阻剂压出所述光阻罐至所述缓冲罐中。优选地，所述光阻罐上设置传出接头，所述缓冲罐上设置传入接头，所述光阻输送管至少一端部套接有套管，所述套管另一端部套接于光阻罐的传出接头及/或缓冲罐的传入接头。优选地，所述光阻输送系统还包括移动载具，所述光阻罐座设于所述移动载具上，所述移动载具底部设置有滚轮，更换所述光阻罐时，所述滚轮带动所述移动载具及光阻罐移动。优选地，所述移动载具上还设置有容置底座，所述容置底座合围于所述光阻罐外周。此外，本申请还提出一种光阻涂布设备，所述光阻涂布设备包括上述任一项所述的光阻输送系统，所述光阻涂布设备还包括第一机柜及第二机柜，所述光阻罐及缓冲罐设置于所述第一机柜内，所述暂存罐、脱泡装置及过滤器设置于第二机柜内。本申请提出的所述光阻输送管、及具有其的光阻输送系统、及具有该光阻输送系统的光阻涂布设备，具有如下有益效果：通过将所述光阻输送管设置成弹性的可伸缩的螺旋状，避免更换光阻罐时及日常生产过程中光阻输送过程中压力异常以及可能发生的生漏气漏液的情况，保证成功将光阻输送至后段进行涂布，提高了更换光阻罐的便利性及光阻传送的安全性；通过在所述光阻输送管与所述接头的连接处加装套管，防止所述光阻输送管与所述接头硬性连接，发生弯折，延长所述光阻输送管的寿命。同时，由于所述光阻输送管足够长，在长期使用过程中所述光阻输送管的端部发生弯折的情况下，也可以将弯折处剪切掉，改装后继续使用，从而加长单根所述光阻输送管的使用周期，降低成本。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本申请光阻涂布设备一实施例的结构示意图；图2为本申请光阻罐与移动载具配合结构示意图；图3为本申请光阻输送管一实施例的结构示意图。本申请目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。需要说明，本申请实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，在本申请中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本申请要求的保护范围之内。请一并参阅图1-3，本申请提出一种光阻涂布设备100，所述光阻涂布设备100用于将光阻涂布在基板或硅片上。所述光阻涂布设备100至少包括如图1所示的第一机柜101、第二机柜102及设置在所述第一机柜101、第二机柜102内的光阻输送系统10，及设置于所述光阻涂布设备100上的口金20，所述光阻输送系统10将光阻从第一机柜101传送至第二机柜102，并最终传送给所述口金20以将光阻涂布于所述基板或硅片上。如图1所示，作为本申请的一实施例，所述光阻输送系统10包括设置在所述第一机柜101内的光阻罐12、光阻输送管13、缓冲罐14、以及设置在所述第二机柜102内的暂存罐15及脱泡装置16，所述光阻罐12、缓冲罐14、暂存罐15及脱泡装置16依序连通设置，且至少所述光阻罐12与缓冲罐14之间经所述光阻输送管13连通。作为本申请的又一实施例，所述光阻输送系统10还包括过滤装置17以及响应泵18，所述过滤装置17连通所述脱泡装置16及所述响应泵18，所述响应泵18连通所述口金20，所述响应泵18将光阻注入所述口金20以进行涂布操作。作为本申请的再一实施例，所述光阻输送系统10还包括压气管191及加压装置19，所述压气管191一端连通至所述光阻罐12，所述压气管12另一端连接至所述加压装置19，所述加压装置19经所述压气管191将光阻压出所述光阻罐12至所述缓冲罐14中。此外，所述暂存罐15也连接有所述压气管191及加压装置19，以在光阻输送过程中加大气压，将光阻输送至所述脱泡装置16及过滤装置17。以下对上述实施例中所述光阻输送系统10各部分装置作用进行说明：光阻罐12上的加压装置19用于通过压气管191向所述光阻罐12加压；所述光阻罐12用于存储、运输光阻，光阻罐12内光阻用完后需要更换光阻罐12或者重新向光阻罐12注入光阻；所述光阻输送管13用于将光阻罐12内光阻输送至缓冲罐14；所述缓冲罐14用于对高速输送的光阻进行减速缓冲；暂存罐15用于暂存从所述缓冲罐14输送过来的光阻，同时通过暂存罐15上的加压装置重新对光阻进行加压，以将光阻输送至所述脱泡装置16及过滤装置17。脱泡装置16用于去除光阻中的气泡，脱泡装置1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光阻输送管，其特征在于，所述光阻输送管为弹性中空结构，且所述光阻输送管整体呈可伸缩的螺旋状，所述光阻输送管连通于光阻罐与缓冲罐，用于将光阻罐内光阻传送至缓冲罐中。

【技术特征摘要】
1.一种光阻输送管，其特征在于，所述光阻输送管为弹性中空结构，且所述光阻输送管整体呈可伸缩的螺旋状，所述光阻输送管连通于光阻罐与缓冲罐，用于将光阻罐内光阻传送至缓冲罐中。2.根据权利要求1所述的光阻输送管，其特征在于，所述光阻输送管至少一端部套接有套管，所述套管还套接于光阻罐的接头及/或缓冲罐的接头。3.根据权利要求1所述的光阻输送管，其特征在于，所述光阻输送管收缩时的整体外径为90-110mm，所述光阻输送管被拉直时的整体长度为1800-2200mm。4.一种光阻输送系统，其特征在于，包括如权利要求1-3任一项所述的光阻输送管，还包括光阻罐、缓冲罐、暂存罐及脱泡装置，所述光阻罐、缓冲罐、暂存罐及脱泡装置依序连通，且至少所述光阻罐与缓冲罐之间经所述光阻输送管连通。5.根据权利要求4所述的光阻输送系统，其特征在于，所述光阻输送系统还包括过滤装置、响应泵及口金，所述过滤装置连通所述脱泡装置及所述响应泵，所述响应泵连通所述口金，所述响应泵将光阻注入所述口金以进行涂布操作。6.根据权利要求5所述的光阻输送系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：单剑锋，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44