【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种清洗光阻涂布制程中橡皮擦的装置，包括清洗台，其特征在于，还包括设置在清洗台上方且出液口朝向清洗台方向的喷头，该喷头内设有锥形内腔，所述锥形内腔的尖锥部为所述喷头的出液口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈晖，林智生，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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