The invention provides a connection structure of a flexible substrate thin film bulk acoustic wave filter, which comprises a first top electrode and a second top electrode with a gap between them; a piezoelectric layer below the first top electrode and the second top electrode; one or two bottom electrodes below the piezoelectric layer; a flexible base below the bottom electrode; and a lower gap between the two top electrodes. The square does not have the piezoelectric layer.
【技术实现步骤摘要】
柔性基底薄膜体声波滤波器的连接结构
本专利技术涉及半导体
，特别地涉及一种柔性基底薄膜体声波滤波器的连接结构。
技术介绍
滤波器是现代通信系统中最常用到的一种电学组件之一。根据功能对滤波器进行划分，主要可分为低通、高通、带通和带阻滤波器等。与此同时，柔性电子也迅速发展。至今，柔性电子在显示、传感、通信等领域已有较快发展，可穿戴式柔性电子消费吸引了越来越多的兴趣。柔性电子通常被认为是建立在柔性衬底之上的电子或电子系统，系统具有可弯曲、拉伸和扭曲等特点。与常规硬质基底上电子系统相比，柔性电子需要在发生柔性形变时仍保留有一定的工作能力。在高通信效率应用中，构建柔性射频系统可进一步扩展柔性应用领域。滤波器在组成形式上有多种分类，其中梯形(Ladder)拓扑结构是较为常见的一种。如图1所示，Ladder结构的各级分别由一个等效的串联谐振器(SeriesResonator)Xi(i＝1,2,3…)和一个等效的并联谐振器(ShuntResonator)Yi(i＝1,2,3…)组成，并联的谐振频率低于串联的谐振频率。滤波器可看作一个二端口网络，图1中Port1和Port2分...
【技术保护点】
1.一种柔性基底薄膜体声波滤波器的连接结构，其特征在于，包括：第一顶电极和第二顶电极，二者之间具有间隙；所述第一顶电极和第二顶电极下方的压电层；所述压电层下方的一个或两个底电极；所述底电极下方的柔性基底；其中，所述两个顶电极之间的间隙的下方不具有所述压电层。
【技术特征摘要】
1.一种柔性基底薄膜体声波滤波器的连接结构，其特征在于，包括：第一顶电极和第二顶电极，二者之间具有间隙；所述第一顶电极和第二顶电极下方的压电层；所述压电层下方的一个或两个底电极；所述底电极下方的柔性基底；其中，所述两个顶电极之间的间隙的下方不具有所述压电层。2.根据权利要求1所述的柔性基底薄膜体声波滤波器的连接结构，其特征在于，所述底电极为第一底电极和第二底电极，分别对应于所述第一顶电极和第二顶电极；所述第一底电极与所述第二顶电极之间经由导电薄膜连接，该导电薄膜位于所述间隙及所述间隙的下方。3.根据权利要求2所述的柔性基底薄膜体声波滤波器的连接结构，其特征在于，所述导电薄膜上方填充有柔性材料。4.根据权利要求1所述的柔性基底薄膜体声波滤波器的连接结构，其特征在于，所述间隙下方的不具有所述压电层的位置处，填充有柔性材料。5.根据权利要求1所述的柔性基底薄膜体声波滤波器的连接结构，其特征在于，所述间隙以及该间隙下方的不具有所述压电层的位置处，填充有柔性材料，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：庞慰，高传海，张孟伦，
申请(专利权)人：天津大学，诺思天津微系统有限责任公司，
类型：发明
国别省市：天津,12
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