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本发明提出一种柔性基底薄膜体声波滤波器的连接结构，包括：第一顶电极和第二顶电极，二者之间具有间隙；所述第一顶电极和第二顶电极下方的压电层；所述压电层下方的一个或两个底电极；所述底电极下方的柔性基底；其中，所述两个顶电极之间的间隙的下方不具有...
该专利属于天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司授权不得商用。

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