一种微型器件转移装置和微型器件转移方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及微型器件技术领域，公开了一种微型器件转移装置和微型器件转移方法，该微型器件转移装置用于将固定于器件原基板上的微型器件移动到目标基板，包括：用于自器件原基板背离微型器件的一侧将微型器件与器件原基板剥离的剥离器件和用于自器件原基板设置微型器件的一侧镊取微型器件的光镊器件，剥离器件与光镊器件之间形成用于放置微型器件及器件原基板的容纳空间。该微型器件转移装置实现了对几百纳米到几十微米的微型器件的高精度的转移。

A Micro Device Transfer Device and a Micro Device Transfer Method

The invention relates to the technical field of micro-devices, and discloses a micro-device transfer device and a micro-device transfer method. The micro-device transfer device is used to move the micro-device fixed on the original substrate of the device to the target substrate, including a stripping device for stripping the micro-device from the side of the original substrate of the device deviating from the micro-device, and a stripping device for stripping the original substrate of the device from the original substrate of the device. The optical tweezers of the micro-device are arranged on one side of the substrate, and a space for placing the micro-device and the original substrate of the device is formed between the stripping device and the optical tweezers. The micro device transfer device realizes high precision transfer of micro devices from hundreds of nanometers to tens of micrometers.

【技术实现步骤摘要】
一种微型器件转移装置和微型器件转移方法
本专利技术涉及微型器件
，特别涉及一种微型器件转移装置和微型器件转移方法。
技术介绍
目前电子器件越来越集成化、小型化，如微芯片和微型发光二极管。但是在性能或运算能力提升的同时，也增加了加工制造和组装操作的难度。现有技术中的真空吸头抓取放置的方式，无法对应尺寸在几百微米甚至更小尺寸的器件，而且精度上也无法满足需求。
技术实现思路
本专利技术提供了一种微型器件转移装置和微型器件转移方法，上述微型器件转移装置实现了对几百纳米到几十微米的微型器件的高精度的转移。为达到上述目的，本专利技术提供以下技术方案：一种微型器件转移装置，用于将固定于器件原基板上的微型器件移动到目标基板，包括：用于自所述器件原基板背离微型器件的一侧将所述微型器件与所述器件原基板剥离的剥离器件和用于自所述器件原基板设置微型器件的一侧镊取所述微型器件的光镊器件，所述剥离器件与所述光镊器件之间形成用于放置所述微型器件及器件原基板的容纳空间。上述微型器件转移装置用于将与器件原基板固定的微型器件由器件原基板上剥离，并将微型器件移动到目标基板，微型器件转移装置包括剥离器件和光镊器件，剥离器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型器件转移装置，用于将固定于器件原基板上的微型器件移动到目标基板，其特征在于，包括：用于自所述器件原基板背离微型器件的一侧将所述微型器件与所述器件原基板剥离的剥离器件和用于自所述器件原基板设置微型器件的一侧镊取所述微型器件的光镊器件，所述剥离器件与所述光镊器件之间形成用于放置所述微型器件及器件原基板的容纳空间。

【技术特征摘要】
1.一种微型器件转移装置，用于将固定于器件原基板上的微型器件移动到目标基板，其特征在于，包括：用于自所述器件原基板背离微型器件的一侧将所述微型器件与所述器件原基板剥离的剥离器件和用于自所述器件原基板设置微型器件的一侧镊取所述微型器件的光镊器件，所述剥离器件与所述光镊器件之间形成用于放置所述微型器件及器件原基板的容纳空间。2.根据权利要求1所述的微型器件转移装置，其特征在于，所述光镊器件为激光光镊器件。3.根据权利要求1所述的微型器件转移装置，其特征在于，还包括用于辅助转移所述微型器件的辅助基板和用于移动所述辅助基板的动力装置，所述辅助基板设置于所述微型器件与所述光镊器件之间且所述辅助基板朝向所述微型器件的一侧表面与所述微型器件接触。4.根据权利要求3所述的微型器件转移装置，其特征在于，所述辅助基板的材料为透明的塑料或者玻璃。5.根据权利要求4所述的微型器件转移装置，其特征在于，所述辅助基板的一侧表面设有用于粘结所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王飞，王慧娟，徐婉娴，梁轩，王美丽，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11