一种微位移放大机构制造技术

本发明专利技术提供的微位移放大机构，包括：压电陶瓷驱动器、位移输入端、位移输出端和多级杠杆，多级杠杆包括若干个杠杆依次串联，位移输入端、位移输出端和多级杠杆以压电陶瓷驱动器所在的竖直轴线为对称轴对称设置，多级杠杆中的每级杠杆都具有1‑2个输入端和至少一个输出端，每级杠杆的每个输入端都连接前序某一级杠杆的一个输出端或位移输入端，末级杠杆的输出端连接位移输出端，本发明专利技术提供的微位移放大机构，由于其多级杠杆采用了串并混合的连接方案，不同于传统的多级杠杆简单串联叠加，因此相比现有技术，其能在较小空间实现更大的放大倍数，并且，在结构上布置合理有序，结构紧凑，充分利用了有限空间，柔性铰链分布均匀，便于机械加工。

A Micro-displacement Amplifier

The micro-displacement amplifying mechanism provided by the invention comprises a piezoelectric ceramic driver, a displacement input end, a displacement output end and a multi-level lever. The multi-level lever comprises several levers in series in turn. The displacement input end, a displacement output end and a multi-level lever are symmetrically arranged on the vertical axis where the piezoelectric ceramic driver is located. Each level lever in the multi-level lever has 1_2 inputs. Each input end of each lever is connected with one output end or displacement input end of a certain level lever in the preceding order, and the output end of the last lever is connected with displacement output end. The micro-displacement amplifying mechanism provided by the invention adopts a series-parallel hybrid connection scheme, which is different from the traditional multi-level lever simple series superposition, so it is compared with the existing one. The technology can achieve a larger magnification factor in a smaller space. Moreover, the structure is arranged reasonably and orderly, the structure is compact, the limited space is fully utilized, the flexure hinges are evenly distributed and easy to machine.

【技术实现步骤摘要】
一种微位移放大机构
本专利技术涉及精密机械
，特别涉及一种微位移放大机构。
技术介绍
近年来，压电陶瓷以其分辨率高、响应速度快和输出力大等优点在精密光机系统得到了广泛的研究和应用。但是压电陶瓷输出位移约为其叠加长度的千分之一，从而使其应用范围只能集中于几微米到几十微米的场合。为了使压电陶瓷能应用于更大行程的驱动场合，需要设置位移放大机构。柔性铰链机构是最常用的压电陶瓷位移放大机构，根据其结构形式和原理划分，主要有三角式、杠杆式、平行四杆式等。杠杆式放大原理可以产生较大的放大倍数，但其输出端运动轨迹为弧形，不适用于要求线性输出的场合。因此，一般将结构设计为轴对称形式，以消除输出的非线性，获得良好的输入输出性能。杠杆式位移放大机构可以根据实际放大倍数需求设置杠杆的结构形式，并可以设置串联多级杠杆。申请号为ZL201710019537.6中国专利申请公开了一种全柔性微位移放大机构，其采用了对称式的布置，并具有两级串联的杠杆机构，杠杆式位移放大机构的设计既要满足放大倍数的需求，还要满足安装空间的要求，并保证在生产制造上容易加工。而这三方面因素是相互制约的，当所需放大倍数较大时，需要合理本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微位移放大机构，其特征在于，包括：压电陶瓷驱动器、与所述压电陶瓷驱动器固定连接的位移输入端、位移输出端和多级杠杆，所述多级杠杆包括若干个杠杆依次串联，所述位移输入端、位移输出端和多级杠杆以所述压电陶瓷驱动器所在的竖直轴线为对称轴对称设置，所述多级杠杆中的每级杠杆都具有1‑2个输入端和至少一个输出端；每级杠杆的每个输入端都连接前序某一级杠杆的一个输出端或位移输入端；末级杠杆的输出端连接位移输出端。

【技术特征摘要】
1.一种微位移放大机构，其特征在于，包括：压电陶瓷驱动器、与所述压电陶瓷驱动器固定连接的位移输入端、位移输出端和多级杠杆，所述多级杠杆包括若干个杠杆依次串联，所述位移输入端、位移输出端和多级杠杆以所述压电陶瓷驱动器所在的竖直轴线为对称轴对称设置，所述多级杠杆中的每级杠杆都具有1-2个输入端和至少一个输出端；每级杠杆的每个输入端都连接前序某一级杠杆的一个输出端或位移输入端；末级杠杆的输出端连接位移输出端。2.如权利要求1所述的微位移放大机构，其特征在于，在所述多级杠杆中，仅具有一个输入端的杠杆还具有一个固定支点。3.如权利要求1所述的微位移放大机构，其特征在于，在所述多级杠杆中，每级杠杆都只有一个输出端，除末级以外的其他每级杠杆的输出端连接紧邻的后一级杠杆的一个输入端。4.如权利要求3所述的微位移放大机构，其特征在于，除第一级以外的各奇数级杠杆具有2个输入端，其中一个输入端连接所述位移输入端。5.如权利要求4所述的微位移放大机构，其特征在于，同一级杠杆上的2个输入端的输入位移的方向相反。6.如权利要求1所述的微...

【专利技术属性】
技术研发人员：张丽敏，王建立，赵勇志，宋云夺，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林,22