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本发明提供的微位移放大机构,包括:压电陶瓷驱动器、位移输入端、位移输出端和多级杠杆,多级杠杆包括若干个杠杆依次串联,位移输入端、位移输出端和多级杠杆以压电陶瓷驱动器所在的竖直轴线为对称轴对称设置,多级杠杆中的每级杠杆都具有1‑2个输入端和至...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明提供的微位移放大机构,包括:压电陶瓷驱动器、位移输入端、位移输出端和多级杠杆,多级杠杆包括若干个杠杆依次串联,位移输入端、位移输出端和多级杠杆以压电陶瓷驱动器所在的竖直轴线为对称轴对称设置,多级杠杆中的每级杠杆都具有1‑2个输入端和至...