The substrate (1) has a surface and a back opposite to the surface. The surface of the substrate (1) is successively stacked with n-type layer (2), multiplier layer (3), p-type electric field control layer (4), light absorption layer (5) and window layer (6). A P-shaped region (7) is formed in part of the window layer (6). The anode electrode (8) is formed on the p-type region (7) and is connected with the p-type region (7). The anode pad (9) and the cathode pad (10) are formed on the back of the substrate (1). The first connecting hole (11) and the second connecting hole (12) penetrate the substrate (1). The third connecting hole (13) runs through the window layer (6) to the n-type layer (2). The cathode pad (10) is electrically connected to the n-type layer (2) via the first connecting hole (11). The anode pad (9) is electrically connected with the anode electrode (8) via the second connecting hole (12) and the third connecting hole (13). There is a light receiving area (16) on the back of the substrate (1).
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】背面入射型受光元件及光模块
本专利技术涉及光纤通信等中使用的背面入射型受光元件以及光模块。
技术介绍
半导体受光元件的构造大致分为:从半导体衬底之上的外延生长层的表面侧射入光的表面入射型、从外延生长层的侧面射入光的端面入射型、从半导体衬底的背面侧射入光的背面入射型。通常,半导体受光元件仅在pn结区域能够获得受光灵敏度,pn结区域的尺寸大则容易对光进行调芯,安装性优越。另一方面,如果pn结区域变大则元件电容增加、时间常数变大,因此在高速响应性的方面是不利的。由于背面入射型受光元件易于降低寄生电容,因此能够相应地增大pn结区域,易于兼顾安装的容易性和由元件电容降低带来的高速动作化这两者。因此,特别是在大于或等于10Gbps的高速通信用途中成为通常的构造。另外,背面入射型受光元件使从衬底背面侧射入的光由电极金属镜进行反射而再次返回吸收层而有助于光吸收,所以容易得到高的量子效率。公开有使用上述的背面入射型受光元件的光模块(例如,参照专利文献1、2)。专利文献1:日本特开2014-192510号公报专利文献2:日本特开2011-253904号公报背面入射型受光元件的阳极、阴极形成于衬底的表面侧。因此,阳极、阴极是使用焊料或Au凸块等芯片接合于在载体(submount)形成的金属图案,向各个金属图案打线。但是,由于需要将用于打线的图案形成于载体之上,因此存在载体的尺寸变大的问题。另外,就TIA或电容器等其他电路部件与背面入射型受光元件之间的连接路径而言,从Au导线经过介电常数不同的载体之上的配线图案。因此,存在高频反射点增加,成为共振的原因而使接收灵敏度降低这样的问题 ...
【技术保护点】
1.一种背面入射型受光元件,其特征在于,具备:衬底,其具有表面和与所述表面相对的背面;n型层、倍增层、p型电场控制层、光吸收层及窗口层,它们依次层叠于所述表面;P型区域,其形成于所述窗口层的一部分;阳极电极,其形成于所述p型区域之上,与所述p型区域连接;以及阳极焊盘以及阴极焊盘,它们形成于所述背面,第1连接孔以及第2连接孔贯穿所述衬底,第3连接孔从所述窗口层贯穿至所述n型层,所述阴极焊盘经由所述第1连接孔与所述n型层电连接,所述阳极焊盘经由所述第2连接孔以及所述第3连接孔与所述阳极电极电连接,在所述背面具有受光区域。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种背面入射型受光元件,其特征在于,具备:衬底,其具有表面和与所述表面相对的背面;n型层、倍增层、p型电场控制层、光吸收层及窗口层,它们依次层叠于所述表面;P型区域,其形成于所述窗口层的一部分;阳极电极,其形成于所述p型区域之上,与所述p型区域连接;以及阳极焊盘以及阴极焊盘,它们形成于所述背面,第1连接孔以及第2连接孔贯穿所述衬底,第3连接孔从所述窗口层贯穿至所述n型层,所述阴极焊盘经由所述第1连接孔与所述n型层电连接,所述阳极焊盘经由所述第2连接孔以及所述第3连接孔与所述阳极电极电连接,在所述背面具有受光区域。2.根据权利要求1所述的背面入射型受光元件,其特征在于,从所述窗口层至所述n型层受到蚀刻,通过半绝缘性层填埋,所述第3连接孔形成于所述半绝缘性层...
【专利技术属性】
技术研发人员:竹村亮太,大畠伸夫,笹畑圭史,山路和树,
申请(专利权)人:三菱电机株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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