一种光学非接触式压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光学非接触式压力传感器，包括由激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜和可移动反射镜组成的迈克尔逊干涉系统，及水平支板、第一滑动支杆、第一平行导轨、第一弹簧、第二滑动支杆、第二平行导轨、第二弹簧、固定水平台、CCD相机、信号处理机。水平支板在向下压力作用下导致可移动反射镜向下移动，CCD相机采集到的迈克尔逊干涉系统的干涉条纹移动，通过对条纹信息进行帧间强度相关处理，得到干涉条纹的相位变化值，信号处理机实时解算干涉条纹的相位变化信息最终得到压力值。本实用新型专利技术系统设计独特，采用简单的结构可以达到非接触式检测压力的目的，且具有精度高、响应快及动态范围大等优点。

An Optical Non-contact Pressure Sensor

The utility model discloses an optical non-contact pressure sensor, which comprises a Michelson interference system consisting of a laser, a semi-reflective and semi-lens, a first mirror, a phase compensation plate, a filter lens, a second mirror and a movable mirror, and a horizontal support plate, a first sliding support rod, a first parallel guide rail, a first spring, a second sliding support rod, a second parallel guide rail, and a fifth parallel guide rail. Two springs, fixed level table, CCD camera, signal processor. The horizontal support plate causes the moving mirror to move downward under the downward pressure. The interference fringes of Michelson interferometer system collected by CCD camera move downward. The phase change value of interference fringes is obtained by processing the intensity correlation between fringes. The signal processor calculates the phase change information of interference fringes in real time and finally obtains the pressure value. The utility model has unique system design, simple structure can achieve the purpose of non-contact pressure detection, and has the advantages of high accuracy, fast response and large dynamic range.

【技术实现步骤摘要】
一种光学非接触式压力传感器
本技术涉及一种非接触式压力传感器，尤其涉及一种光学非接触式压力传感器，属于非接触式压力

技术介绍
由于抗电磁干扰、高精度、高灵敏度等优点，光纤传感器越来越广泛地应用于各种物理量的测量，如温度、应力、磁场、方位、振动等。而光学传感器主要应用于振动、流量及水平位移的测量，这里提出了一种光学非接触式压力传感器。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光学非接触式压力传感器。为了实现上述目的本技术采用以下技术方案：一种光学非接触式压力传感器，它包括激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜、可移动反射镜、水平支板、第一滑动支杆、第一平行导轨、第一弹簧、第二滑动支杆、第二平行导轨、第二弹簧、固定水平台、CCD相机及信号处理机。上述方案中的激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜及第二反射镜构成迈克尔逊干涉系统，经过第一反射镜的激光光路为参考光路，经过相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜及可移动反射镜的激光光路为信号光路，所述滤光透镜对所述激光器产生激光透过率大于90％，所述激光器产生的激光波长为380nm至760nm之间的可见光波段。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学非接触式压力传感器，其特征在于：它包括激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜、可移动反射镜、水平支板、第一滑动支杆、第一平行导轨、第一弹簧、第二滑动支杆、第二平行导轨、第二弹簧、固定水平台、CCD相机及信号处理机；所述激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜及第二反射镜构成迈克尔逊干涉系统，经过第一反射镜的激光光路为参考光路，经过相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜及可移动反射镜的激光光路为信号光路，所述滤光透镜对所述激光器产生激光透过率大于90％，所述激光器产生的激光波长为380nm至760nm之间的可见光波段；所述第一平行导轨与第二平行导轨相互...

【技术特征摘要】
1.一种光学非接触式压力传感器，其特征在于：它包括激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜、可移动反射镜、水平支板、第一滑动支杆、第一平行导轨、第一弹簧、第二滑动支杆、第二平行导轨、第二弹簧、固定水平台、CCD相机及信号处理机；所述激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜及第二反射镜构成迈克尔逊干涉系统，经过第一反射镜的激光光路为参考光路，经过相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜及可移动反射镜的激光光路为信号光路，所述滤光透镜对所述激光器产生激光透过率大于90％，所述激光器产生的激光波长为380nm至760nm之间的可见光波段；所述第一平行导轨与第二平行导轨相互平行，并与所述固定水平台垂直；所述第一滑动支杆和第二滑动支杆在压力作用下会分别沿所述第一平行导轨和第二平行导轨竖直向下运动；所述水平支板为刚性结构；所述可移动反射镜水平固定在所述水平支板上；所述CCD相机实时采集迈克尔逊干涉系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘菲菲，
申请(专利权)人：孝感锐创机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42