无源滤波器及其制备方法技术

本发明专利技术的无源滤波器及其制备方法，该方法包括：提供绝缘衬底；于绝缘衬底的至少一面上形成金属导线，金属导线的一端为电磁波信号的输入端，另一端为电磁波信号的输出端；于金属导线表面及金属导线所在的绝缘衬底表面覆盖屏蔽粉层。通过改变金属导线的线宽及长度等参数可以改变无源滤波器的大小，增大无源滤波器的适用范围，使无源滤波器可以放入小型仪器中进行滤波；另外，使用半导体工艺中的金属剥离方法或掩膜版蒸镀金属方法形成金属导线，大大减小了金属导线的线宽及金属导线的间距，使无源滤波器做到更小；最后，工艺制备简单，易于实施。

【技术实现步骤摘要】
无源滤波器及其制备方法
本专利技术属于滤波器
，特别是涉及一种无源滤波器及其制备方法。
技术介绍
随着信息技术的发展，人们对信息的价值越来越重视，各种通信系统相继发展起来，与此同时，信号频域变得越来越拥挤，各种频段的通信系统相继出现。为了避免频段间的串扰，高质量滤波器是通信系统中必不可少的部件。高频信号在电学测试的过程中会干扰测试信号，造成信号失真，因此在精密测试中都需要利用滤波器进行滤波。现有滤波器一般分为有源滤波器和无源滤波器，无源滤波器面临着体积大、滤波频率范围小、滤波器温度工作范围小等问题。金属粉末滤波器是一种新型的无源滤波器，其主要是通过电磁波在充满金属粉末的空间传播时，由于高频信号的趋肤效应，高频电磁波会在导线的表面传播，并且在传播过程中会被金属粉末吸收，而低频电磁波损耗较小，从而实现对高频信号非常好的滤波效果，同时金属粉末滤波器的理论工作温度范围很大，可以适用于0K～400K范围内的工作，因此受到研究人员的广泛关注。而目前的金属粉末滤波器以及制备方法制备的金属粉末滤波器体积较大，导致其使用场景范围缩小，无法应用于小体积的仪器中，缩小其适用范围；另外，由于现有的金属本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无源滤波器的制备方法，其特征在于，所述制备方法至少包括步骤：提供绝缘衬底；于所述绝缘衬底的至少一面上形成金属导线，所述金属导线的一端为电磁波信号的输入端，另一端为电磁波信号的输出端；于所述金属导线表面及所述金属导线所在的所述绝缘衬底表面覆盖屏蔽粉层。

【技术特征摘要】
1.一种无源滤波器的制备方法，其特征在于，所述制备方法至少包括步骤：提供绝缘衬底；于所述绝缘衬底的至少一面上形成金属导线，所述金属导线的一端为电磁波信号的输入端，另一端为电磁波信号的输出端；于所述金属导线表面及所述金属导线所在的所述绝缘衬底表面覆盖屏蔽粉层。2.根据权利要求1所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：所述金属导线从所述输入端向所述输出端蜿蜒延伸。3.根据权利要求2所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：所述金属导线从所述输入端向所述输出端呈方波形延伸。4.根据权利要求1所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：所述金属导线的线宽介于10nm～100μm之间。5.根据权利要求1所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：形成所述金属导线的方法包括金属剥离方法或掩膜版蒸镀金属方法。6.根据权利要求5所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：所述金属剥离方法中的光刻工艺包括紫外光光刻工艺或电子束光刻工艺，所述掩膜版蒸镀金属方法中采用的掩膜版的线宽介于2μm到100μm之间。7.根据权利要求5所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：所述金属剥离方法中沉积所述金属导线的方法包括热蒸镀、电子束蒸镀、分子束外延或有机金属化学气相沉积。8.根据权利要求1所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于，形成所述屏蔽粉层的方法包括：将金属粉与绝缘胶混合搅拌均匀，形成屏蔽粉液体；将所述屏蔽粉液体覆盖在所述金属导线表面及其所在的所述绝缘衬底表面并固化，形成所述屏蔽粉层。9.根据权利要求8所述的无源滤波器的制备方法，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：狄增峰，韩晓雯，高敏，吴宇峰，胡涛，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海,31