The utility model provides an ejector mechanism and a reaction chamber, whose driving source is a linear driving source, which is used to directly drive the ejector up or down. Compared with the existing technology, there is no need to use the crank mechanism to change the direction, thus avoiding the problem of speed and driving force instability caused by the direction conversion of the crank mechanism, thereby improving the ejector stability when driving the wafer. Avoid wafer dislocation or even deflection. At the same time, the linear drive source is simple in structure and occupies less space, which is more conducive to the layout of other devices.
【技术实现步骤摘要】
顶针机构及反应腔室
本技术涉及半导体制造领域,具体地,涉及顶针机构及反应腔室。
技术介绍
等离子体刻蚀机是对晶圆进行刻蚀的设备,其通常具有多个反应腔室。在进行工艺的过程中,通过机械手在多个反应腔室之间传输晶圆。晶圆的传输过程如下:机械手将晶圆传入反应腔室的基座上方,在基座中设置有顶针,顶针上升以将晶圆放置在顶针上,机械手撤回,顶针下降至基座下方,已使晶圆降落至基座上。其中,顶针的上升和下降是由升针机构驱动完成的。现有的升针机构,如图1所示,包括旋转气缸1、气缸固定支架2、波纹管连接支架3、真空波纹管4以及连接在真空波纹管4上端的顶针5,其中,旋转气缸1通过曲柄机构与波纹管连接支架3相连。旋转气缸1输出旋转动力,曲柄机构(图中未示出)将旋转动力转换为直线动力,进而带动波纹管连接支架3进行升降。但是,在上述升针机构中,旋转气缸1输出的动力的方向为旋转方向,通过曲柄机构将旋转方向的动力转化为直线方向的动力,从而控制顶针的升降,当旋转气缸输出的旋转角速度为匀速时,经曲柄机构的方向转换后,波纹管连接支架的竖直移动速度呈现正弦变化,导致速度与推动力不平稳,从而造成在推动晶圆时产生颤动,容易产生晶圆错位甚至偏斜,造成机械手无法取片,同时,上述升针机构结构复杂,占用空间大,影响其他器件的布局。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的晶圆上升或下降过程中容易产生错位甚至偏斜的问题,提出了一种顶针机构及反应腔室。为实现本技术的目的而提供一种顶针机构,包括顶针及用于驱动顶针上升或下降的驱动源,其中,驱动源为直线驱动源。其中,直线驱动源包括直线运动气缸和真空波纹管,直线运动气缸 ...
【技术保护点】
1.一种顶针机构,包括顶针及用于驱动所述顶针上升或下降的驱动源,其特征在于,所述驱动源为直线驱动源;所述直线驱动源包括直线运动气缸和真空波纹管,所述直线运动气缸与所述真空波纹管同轴线一体设置;所述顶针与所述真空波纹管连接,所述直线运动气缸通过所述真空波纹管驱动所述顶针上升或下降。
【技术特征摘要】
1.一种顶针机构,包括顶针及用于驱动所述顶针上升或下降的驱动源,其特征在于,所述驱动源为直线驱动源;所述直线驱动源包括直线运动气缸和真空波纹管,所述直线运动气缸与所述真空波纹管同轴线一体设置;所述顶针与所述真空波纹管连接,所述直线运动气缸通过所述真空波纹管驱动所述顶针上升或下降。2.根据权利要求1所述的顶针机构,其特征在于,所述直线运动气缸包括缸体、活塞及活塞杆,所述真空波纹管包括管体、波纹片及导向杆,其中,所述管体的下端与所述缸体的上端连接,所述管体的上端为封闭端,且所述管体的内部设有横向隔板,所述封闭端和所述横向隔板分别设有位置对应的导向孔,所述导向杆穿设在所述导向孔中,且所述导向杆的下端与所述活塞杆连接;所述导向杆的上端与所述顶针连接;所述导向杆的周壁上环绕设置有凸缘;所述波纹片套设在所述导向杆上,且所述波纹片的两端分别与所述凸缘和所述封闭端密封连接。3.根据权利要求2所述的顶针机构,其特征在于,在所述缸体的上端设置有第一连接部,且在所述管体的下端设置有第二连接部,所述第一连接部与所述第二连接部通过螺纹相互旋接。4....
【专利技术属性】
技术研发人员:茅兴飞,高志民,高智伟,
申请(专利权)人:北京北方华创微电子装备有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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