一种石英舟制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片加工领域，具体是一种石英舟，包括支撑板、支撑杆、挂鼻、底板，所述支撑板数量为两个，所述底板设置于所述支撑板底部且连接所述支撑板，所述支撑杆设置于所述支撑板之间且与所述支撑板垂直，所述支撑杆包括上支撑杆组和下支撑杆组，所述上支撑杆组、下支撑杆组、底板由上到下依次排列，所述上支撑杆组之间间距大于所述下支撑杆组，由所述底板、支撑板、支撑杆围成容纳腔。将待扩散硅片放置于容纳腔中，即可进行扩散操作。本实用新型专利技术适用于多种不同规格及不同形状的硅片的使用，可有效为使用者节省成本。

A quartz boat

The utility model relates to the field of silicon wafer processing, in particular to a quartz boat, which comprises a support plate, a support rod, a nose hanging and a bottom plate. The number of support plates is two. The bottom plate is arranged at the bottom of the support plate and connected with the support plate. The support rod is arranged between the support plates and is vertical to the support plate. The support rod comprises an upper support rod group and a lower support rod group. The upper support rod group, the lower support rod group and the bottom plate are arranged from top to bottom, and the spacing between the upper support rod group is larger than the lower support rod group. The bottom plate, the support plate and the support rod are surrounded by a receiving cavity. When the silicon wafer to be diffused is placed in the holding chamber, the diffusing operation can be carried out. The utility model is suitable for the use of silicon wafers of various specifications and shapes, and can effectively save costs for users.

【技术实现步骤摘要】
一种石英舟
本技术涉及硅片加工领域，具体是一种石英舟。
技术介绍
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛用于微电子产业集成电路芯片制造业。石英舟是扩散时用到的工具石英舟是扩散工艺的必备工具，无论是半导体器件的扩散，还是太阳能工艺的扩散都大量使用石英器件做为载体，石英舟具有耐高温不变形，不污染器件而且能重复使用的优点。目前市场上的石英舟的结构过于简单，只能用于单一规格及单一形状的硅片，使用范围小，同时购买多种不同规格的石英舟会增加成本，因此，设计出一种适用于多种规格及多种形状的扩散石英舟是很有必要的。
技术实现思路
鉴于现有技术中存在的不足和缺陷，本技术的目的在于提供一种石英舟，本技术适用于多种不同规格及不同形状的硅片的使用，可有效为使用者节省成本。为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种石英舟，包括支撑板、支撑杆、挂鼻、底板，所述支撑板数量为两个，所述底板设置于所述支撑板底部且连接所述支撑板，所述支撑杆设置于所述支撑板之间且与所述支撑板垂直，所述支撑杆包括上支撑杆组和下支撑杆组，所述上支撑杆组、下支撑杆组、底板由上到下依次排列，所述上支撑杆组之间间距大于所述下支撑杆组，由所述底本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英舟，其特征在于，包括支撑板、支撑杆、挂鼻、底板，所述支撑板数量为两个，所述底板设置于所述支撑板底部且连接所述支撑板，所述支撑杆设置于所述支撑板之间且与所述支撑板垂直，所述支撑杆包括上支撑杆组和下支撑杆组，所述上支撑杆组、下支撑杆组、底板由上到下依次排列，所述上支撑杆组之间间距大于所述下支撑杆组，由所述底板、支撑板、支撑杆围成容纳腔。

【技术特征摘要】
1.一种石英舟，其特征在于，包括支撑板、支撑杆、挂鼻、底板，所述支撑板数量为两个，所述底板设置于所述支撑板底部且连接所述支撑板，所述支撑杆设置于所述支撑板之间且与所述支撑板垂直，所述支撑杆包括上支撑杆组和下支撑杆组，所述上支撑杆组、下支撑杆组、底板由上到下依次排列，所述上支撑杆组之间间距大于所述下支撑杆组，由所述底板、支撑板、支撑杆围成容纳腔。2.根据权利要求1所述的一种石英舟，其特征在于，所述底板上设置条形凹槽，所述条形凹槽中间为V型。3.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：马祖光，郭光辉，
申请(专利权)人：济南晶硕电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37