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一种石英舟制造技术
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下载一种石英舟的技术资料
文档序号:21255246
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本实用新型涉及硅片加工领域,具体是一种石英舟,包括支撑板、支撑杆、挂鼻、底板,所述支撑板数量为两个,所述底板设置于所述支撑板底部且连接所述支撑板,所述支撑杆设置于所述支撑板之间且与所述支撑板垂直,所述支撑杆包括上支撑杆组和下支撑杆组,所述上...
该专利属于济南晶硕电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过济南晶硕电子有限公司授权不得商用。
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