The utility model discloses a device for manufacturing target materials by centrifugal sintering, which comprises a shell, a resistance heating sleeve, a die and a driving motor arranged in the inner heating chamber of the resistance heating sleeve, a rotating base at the bottom of the die, a driving motor arranged at the bottom of the shell, and a driving motor. The rotating shaft is connected with the rotating base; the head end of the shell body is arranged as an open and close door structure, through which the opening and closing door can realize the opening and closing of the heating chamber; the centrifugal sintering device provided by the utility model can produce high-density tube targets, save raw materials, omit the cutting process, improve the yield and greatly reduce the cost.
【技术实现步骤摘要】
一种离心烧结制造靶材的装置
本技术涉及旋转靶材制造装置,特别是涉及一种离心烧结制造靶材的装置。
技术介绍
随着全球电子信息产业快速发展,智能手机、平板电脑、汽车电子等终端消费领域的需求也持续增长,薄膜材料的使用越来越频繁,国内高纯靶材年复合增长率持续增长,这就为国内溅射靶材行业提供了广阔的发展空间。目前,靶材根据形状外观可划分为旋转靶材和平面靶材,而在旋转靶材的分类中,诸如ITO、AZO等旋转靶材是通过一节或多节原料管绑定在不锈钢或是钛背管上。且在现有的原料管制作中,主要是先将原料烧结或者铸造成一个实心大锭子,再用金刚石钻孔机对材料进行中间掏孔,最后进行抛光修整。这种方法优点是运用范围广,几乎所有的材料都可以通过此类方法加工进行掏孔;但是目前这种靶材的加工制作方法存在以下缺陷:1、材料浪费大,由于靶材对纯度要求极高,很难对屑料进行回收,成本高;2、工序繁琐,生产周期长、效率低;3、对加工精度要求极高、产品良率较难保证。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种离心烧结制造靶材的装置,以解决上述现有技术存在的问题,能够制造出高密度管靶材,节省原材料,省去掏孔工序,提高良率,大大降低成本。为实现上述目的,本技术提供了如下方案:本技术提供一种离心烧结制造靶材的装置,包括外壳体、设置于所述外壳体内部的电阻加热套、模具和驱动电机,其中,所述模具设置于所述电阻加热套的内部加热腔内,所述模具底部设置有一旋转底座,所述驱动电机设置于所述外壳体底部,所述驱动电机的转动轴与所述旋转底座连接;所述外壳体的首端设置为开合门结构,通过所述开合门能够实现所述加热腔的开合。优选地,所述外壳体底部还 ...
【技术保护点】
1.一种离心烧结制造靶材的装置,其特征在于:包括外壳体、设置于所述外壳体内部的电阻加热套、模具和驱动电机,其中,所述模具设置于所述电阻加热套的内部加热腔内,所述模具底部设置有一旋转底座,所述驱动电机设置于所述外壳体底部,所述驱动电机的转动轴与所述旋转底座连接;所述外壳体的首端设置为开合门结构,通过所述开合门能够实现所述加热腔的开合。
【技术特征摘要】
1.一种离心烧结制造靶材的装置,其特征在于:包括外壳体、设置于所述外壳体内部的电阻加热套、模具和驱动电机,其中,所述模具设置于所述电阻加热套的内部加热腔内,所述模具底部设置有一旋转底座,所述驱动电机设置于所述外壳体底部,所述驱动电机的转动轴与所述旋转底座连接;所述外壳体的首端设置为开合门结构,通过所述开合门能够实现所述加热腔的开合。2.根据权利要求1所述的离心烧结制造靶材的装置,其特征在于:所述外壳体底部还设置有一支撑座,所述支撑座顶部周向设置有多个支撑板,所述支撑板顶端与所述外壳体底部焊接固定。3.根据权利要求2所述的离心烧结制造靶材的装置,其特征在于:所述支撑座顶部中心处还设置有一电机箱,所述电机箱内部为电机室,所述驱动电机设置于所述电机室内。4.根据权利要求3所述的离心烧结制造靶材的装置,其特征在于:所述电机箱的箱体上周向设置有多个散热口,且所述电机箱的箱体上还设置有电源线。5.根据权利要求1所述的离心烧结制造靶材的装置,...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈钦忠,陈宝忠,林志河,蔡小勇,邱树将,
申请(专利权)人:福建阿石创新材料股份有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。