The utility model relates to the technical field of semiconductor silicon wafer grinding equipment, and discloses a semiconductor silicon wafer grinding device, which comprises a grinding box, the inner movable sleeve of the grinding box is provided with a grinding bowl, and the bottom of the grinding bowl is fixed with the top of the supporting plate, and the bottom of the supporting plate is fixed with a pulley, and one end of the supporting plate is fixed with one end of the connecting rod, and the other end of the connecting rod is fixed. The top of the grinding box is fixedly connected with the bottom of the hydraulic rod, and the top of the hydraulic rod is fixedly connected with one side of the bottom of the sleeve plate. The internal fixing sleeve of the sleeve plate is equipped with a motor, and the output shaft of the motor extends to the inside of the grinding box and fixes the installation plate. The semiconductor silicon wafer grinding device can pull out the polished silicon wafer by setting a grinding bowl, a supporting plate, a pulley, a connecting rod and a pulling ring, so as to make the discharging convenient, and at the same time, it is also convenient to add silicon wafer inside the grinding bowl, thus facilitating the completion of the grinding role.
【技术实现步骤摘要】
一种半导体硅片研磨装置
本技术涉及半导体硅片研磨设备
,具体为一种半导体硅片研磨装置。
技术介绍
科学技术的发展不断推动着半导体的发展,自动化和计算机等技术发展,使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。硅片在半导体方面具有广泛的运用,在加工生产的过程中需要对硅片进行研磨,但是现有的研磨装置中研磨罐与研磨装置进行卡接,当研磨完成以后需要打开研磨装置才可以取出研磨后的硅片,这种取料方式较麻烦,不便于将研磨后的硅片从研磨装置的内部取出,为此我们提供一种半导体硅片研磨装置来解决这个问题。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供了一种半导体硅片研磨装置,具备便于将研磨后的硅片取出,同时便于向研磨装置添加原料和提高研磨装置的实用性等优点,解决了现有的研磨装置中研磨罐与研磨装置进行卡接,当研磨完成以后需要打开研磨装置才可以取出研磨后的硅片,这种取料方式较麻烦,不便于将研磨后的硅片从研磨装置的内部取出的问题。为实现上述便于将研磨后的硅片取出,同时便于向研磨装置添加原料和提高研磨装置的实用性的目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体硅片研磨装置,包括研磨箱,所述研磨箱的内部活动套装有研磨碗,且研磨碗的底部与支撑板的顶端固定连接,所述支撑板的底端固定安装有滑轮,且支撑板的一端与连杆的一端固定连接,所述连杆的另一端固定安装有拉环,所述研磨箱的顶端与液压杆的底端固定连接,且液压杆的顶端与套装板底端的一侧固定连接,所述套装板的内部固定套装有电机,且电机的输出轴延伸至研磨箱的内部并固定套装有安装板,所述安装板顶端的一侧活动套装有安装柱,且安装柱的底端延伸至 ...
【技术保护点】
1.一种半导体硅片研磨装置,包括研磨箱(1),其特征在于:所述研磨箱(1)的内部活动套装有研磨碗(2),且研磨碗(2)的底部与支撑板(3)的顶端固定连接,所述支撑板(3)的底端固定安装有滑轮(4),且支撑板(3)的一端与连杆(5)的一端固定连接,所述连杆(5)的另一端固定安装有拉环(6),所述研磨箱(1)的顶端与液压杆(7)的底端固定连接,且液压杆(7)的顶端与套装板(8)底端的一侧固定连接,所述套装板(8)的内部固定套装有电机(9),且电机(9)的输出轴延伸至研磨箱(1)的内部并固定套装有安装板(10),所述安装板(10)顶端的一侧活动套装有安装柱(11),且安装柱(11)的底端延伸至研磨箱(1)的内部并固定套装有固定球(12),所述固定球(12)的外壁活动套装在研磨球(13)的内部,且安装柱(11)的顶端延伸至安装板(10)顶端的外部,所述安装板(10)的顶部活动套装有螺纹杆(14),且螺纹杆(14)的一端延伸至安装板(10)一侧的外部并穿过固定板(15),所述研磨箱(1)的一侧活动套装有旋转杆(16),且旋转杆(16)的内部固定套装有挡板(17),所述挡板(17)的一侧与研磨碗( ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体硅片研磨装置,包括研磨箱(1),其特征在于:所述研磨箱(1)的内部活动套装有研磨碗(2),且研磨碗(2)的底部与支撑板(3)的顶端固定连接,所述支撑板(3)的底端固定安装有滑轮(4),且支撑板(3)的一端与连杆(5)的一端固定连接,所述连杆(5)的另一端固定安装有拉环(6),所述研磨箱(1)的顶端与液压杆(7)的底端固定连接,且液压杆(7)的顶端与套装板(8)底端的一侧固定连接,所述套装板(8)的内部固定套装有电机(9),且电机(9)的输出轴延伸至研磨箱(1)的内部并固定套装有安装板(10),所述安装板(10)顶端的一侧活动套装有安装柱(11),且安装柱(11)的底端延伸至研磨箱(1)的内部并固定套装有固定球(12),所述固定球(12)的外壁活动套装在研磨球(13)的内部,且安装柱(11)的顶端延伸至安装板(10)顶端的外部,所述安装板(10)的顶部活动套装有螺纹杆(14),且螺纹杆(14)的一端延伸至安装板(10)一侧的外部并穿过固定板(15),所述研磨箱(1)的一侧活动套装有旋...
【专利技术属性】
技术研发人员:柯武生,
申请(专利权)人:广西桂芯半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广西,45
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