X射线检查设备制造技术

提供一种X射线检查设备，能够与被测量物等的物理性质无关地精确检查被测量物。X射线检查设备包括：X射线发射部件(110)，用于向被测量物(W)发射X射线；X射线检测部件(150)，用于通过将透过被测量物的X射线光子所拥有的能量根据预定阈值水平区分到一个以上的能量区域中来检测X射线光子；存储部件(141)，用于将被测量物和预定阈值水平直接或间接相关联地存储；阈值水平设置部件(140)，用于参考存储部件，从而以使得X射线检测部件能够参考针对输入信息指定的被测量物的阈值水平的方式保持该阈值水平作为预定阈值水平；检查部件(170)，用于基于X射线检测部件针对一个以上的能量区域各自所检测到的光子的数量或与光子的数量相对应的量，来检查被测量物。

X-ray inspection equipment

Provided is an X-ray inspection device capable of accurately inspecting measured objects irrespective of their physical properties. The X-ray inspection equipment includes: an X-ray emission unit (110) for transmitting X-rays to the measured object (W); an X-ray detection unit (150) for detecting X-ray photons by separating the energy possessed by X-ray photons passing through the measured object into more than one energy region according to a predetermined threshold level; and a storage unit (141) for directly or at a predetermined threshold level. Indirectly correlated storage; threshold level setting unit (140) for reference storage unit, so that the X-ray detection unit can maintain the threshold level as a predetermined threshold level by referring to the threshold level of the measured object specified for input information; and inspection unit (170) for detection of more than one energy region by the X-ray detection unit respectively. The number of photons, or the amount corresponding to the number of photons, is used to check the measured object.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】X射线检查设备
本专利技术涉及用于通过向对象制品等发射X射线来检查异物的X射线检查设备。
技术介绍
通常，在从制品的制造、包装到运输的各步骤中，通过适合于作为检查对象的被测量物或者适合于可能包含在该被测量物中的异物的类型(材料或大小等)的检查方法来进行诸如在制品或包装中是否混有异物等的检查。其中，在能够无损地检查制品等的X射线检查设备中，向对象制品等发射X射线，并且检测透过的X射线，使得可以检查从外部不可见的制品内部的异物的有无。作为在X射线检查设备中检测图像信息作为电气信号的方法，存在间接转换方法和直接转换方法，其中在该间接转换方法中，X射线首先由闪烁体转换成可见光，然后由光电二极管转换成电气信号，以及在该直接转换方法中，X射线由诸如CdTe等的半导体元件直接转换成电气信号。在间接转换方法中，原理上，在闪烁体的发光效率和光电二极管的电荷转换效率方面发生损失。另一方面，在直接转换方法中，由于使X射线直接转换成电荷，因此转换效率高。专利文献1公开了利用直接转换方法的线传感器的X射线检查设备并且通过能量实现光子计数。在该设备中，通过使用可以区分光子能量的直接转换型X射线线传感器来将向着被测量物发射的X射线在透过该被测量物及输送该被测量物的带式输送机之后的X射线强度分别转换成低能X射线透射图像和高能X射线透射图像。之后，基于通过计算这两个图像之间的差所获得的图像中的被测量物和异物之间的对比度来使被测量物内的异物的有无可视化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-091483
技术实现思路
专利技术要解决的问题利用低能X射线所获得的透射图像和利用高能X射线所获得的透射图像根据用于区分低能光子和高能光子的能量阈值设置为何种水平而改变。由于作为被测量物的制品及其内所含有的异物因它们的物理性质而具有不同的X射线透射率，因此在设置了特定阈值水平的情况下，即使针对特定被测量物获得了异物从一对低能X射线图像和高能X射线图像中清楚可见的图像，也无法针对具有不同的物理性质的被测量物始终获得对比度高的清晰图像。然而，在传统的X射线检查设备中，不能针对各被测量物改变阈值水平。本专利技术的目的是提供一种能够与被测量物等的物理性质无关地精确检查被测量物的X射线检查设备。用于解决问题的方案根据本专利技术的一种X射线检查设备，包括：X射线发射部件，用于向被测量物发射X射线；X射线检测部件，用于通过将透过所述被测量物的X射线光子所拥有的能量根据预定阈值水平而区分到一个以上的能量区域中，来检测所述X射线光子；存储部件，用于将所述被测量物和所述预定阈值水平直接或间接相关联地进行存储；阈值水平设置部件，用于参考所述存储部件，从而以使得所述X射线检测部件能够参考针对由所输入的信息指定的被测量物的阈值水平的方式，保持该阈值水平作为所述预定阈值水平；以及检查部件，用于基于所述X射线检测部件针对所述一个以上的能量区域中的各能量区域所检测到的光子的数量或者与光子的数量相对应的量，来检查所述被测量物。与光子的数量相对应的量例如是电荷量。基于所述X射线检测部件针对所述一个以上的能量区域中的各能量区域所检测到的光子的数量或者与光子的数量相对应的量，所述检查部件可以输出针对所述一个以上的能量区域中的各能量区域所生成的X射线透射图像作为所述被测量物的检查结果。此外，所述存储部件还可以将表示所述检查部件中的所述被测量物的检查方法的信息与所述被测量物相关联地进行存储，以及所述检查部件可以参考所述存储部件，并且通过针对由输入至所述阈值水平设置部件的信息所指定的所述被测量物的检查方法来检查所述被测量物。专利技术的效果根据本专利技术的X射线检查设备，由于可以根据被测量物等的物理性质来设置最佳阈值水平，因此可以与被测量物等的物理性质无关地精确检查被测量物。附图说明图1是本专利技术的X射线检查设备100的功能框图。图2是例示阈值水平设置方法的图。图3是表示示出针对各被测量物W的阈值水平的表的一个示例的图。图4是表示示出针对各被测量物W的阈值水平的表的另一示例的图。具体实施方式以下将基于附图来说明本专利技术的实施例。图1示出本专利技术的X射线检查设备100的功能框图。X射线检查设备100包括X射线发射部件110、输送部件120、X射线检测部件130、阈值水平设置部件140、存储部件141、显示部件150、输入部件160和检查部件170。X射线发射部件110向着放置在输送部件120上的被测量物W发射X射线。输送部件120是例如X射线透射率高的带式输送机，配置在彼此相对配置的X射线发射部件110和X射线检测部件130之间，并且输送放置在该输送部件120上的被测量物W。从X射线发射部件110向着被测量物W发射的X射线在被该被测量物W和输送部件120吸收并透过这两者之后到达X射线检测部件130。X射线检测部件130采用例如所谓的X射线线传感器，其中在该X射线线传感器中，多个X射线检测元件沿与输送部件120的输送方向垂直的方向对齐。在X射线检查设备100中，在通过输送部件120移动被测量物W的同时，利用X射线线传感器逐次地扫描从被测量物W透射的X射线光子。本实施例采用能够通过针对到达的各X射线光子根据预定阈值水平将该光子的能量区分到一个或多个能量区域中来检测光子的直接转换方法的X射线线传感器。能够将X射线直接转换成电气信号的X射线检测元件的示例包括诸如CdTe等的半导体元件。在X射线检测部件130中，在构成X射线线传感器的各X射线检测元件中，通过到达的X射线光子来生成电子空穴对，将通过放大该电子空穴对的电荷所获得的检测信号的能量与预定阈值水平进行比较，并且输出在预定时间内已超过或未超过该阈值水平的次数作为该X射线检测元件在由该阈值水平限定的能量区域中的光子计数数量(所检测到的光子的数量)。注意，代替检测信号的能量已超过预定阈值水平的次数，可以输出通过以预定时间对能量已超过或未超过预定阈值水平的检测信号的电荷量进行积分所获得的积分电荷量作为该X射线检测元件在由该阈值水平限定的能量区域中的积分电荷量。以下将说明该输出是光子计数数量的情况作为示例。X射线检测部件130被配置为能够设置与能量区域的数量相对应的数量的预定阈值水平，以在光子计数中通过光子的能量来区分光子。在两个能量区域的情况下，例如，X射线检测部件130被配置成使得：如图2(a)所示，可以设置两个阈值水平(低能侧的阈值水平Vth1和高能侧的阈值水平Vth2)，并且将超过各阈值水平的光子计数数量逐次地送入存储器中。然后，可以基于各X射线检测元件中的超过高能侧的阈值水平Vth2的光子计数数量来生成高能X射线透射图像，并且可以基于通过从各检测元件中的超过低能侧的阈值水平Vth1的光子计数数量中减去超过高能侧的阈值水平Vth2的光子计数数量所获得的数量来生成低能X射线透射图像。注意，可以将光子计数所用的能量区域设置成部分重叠以生成两个以上的X射线透射图像，其中例如，以与上述相同的方式生成高能X射线透射图像，并且代替低能X射线透射图像，基于超过低能侧的阈值水平Vth1的光子计数数量来生成低能+高能的X射线透射图像。在光子计数所用的能量区域为两个的情况下，阈值水平设置方法不限于图2(a)所示的方法。可以采用任何方法，例如如图2(b)所示、将光子计数所用的低能区本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X射线检查设备，包括：X射线发射部件，用于向被测量物发射X射线；X射线检测部件，用于通过将透过所述被测量物的X射线光子所拥有的能量根据预定阈值水平而区分到一个以上的能量区域中，来检测所述X射线光子；存储部件，用于将所述被测量物和所述预定阈值水平直接或间接相关联地进行存储；阈值水平设置部件，用于参考所述存储部件，从而以使得所述X射线检测部件能够参考针对由所输入的信息指定的被测量物的阈值水平的方式，保持该阈值水平作为所述预定阈值水平；以及检查部件，用于基于所述X射线检测部件针对所述一个以上的能量区域中的各能量区域所检测到的光子的数量或者与光子的数量相对应的量，来检查所述被测量物。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.10.04 JP 2016-1967141.一种X射线检查设备，包括：X射线发射部件，用于向被测量物发射X射线；X射线检测部件，用于通过将透过所述被测量物的X射线光子所拥有的能量根据预定阈值水平而区分到一个以上的能量区域中，来检测所述X射线光子；存储部件，用于将所述被测量物和所述预定阈值水平直接或间接相关联地进行存储；阈值水平设置部件，用于参考所述存储部件，从而以使得所述X射线检测部件能够参考针对由所输入的信息指定的被测量物的阈值水平的方式，保持该阈值水平作为所述预定阈值水平；以及检查部件，用于基于所述X射线检测部件针对所述一个以上的能量区域中的各能量区域所检测到的光子的数量或者与光子的数量相对应的量，来检查所述被...

【专利技术属性】
技术研发人员：池田伦秋，中川幸宽，
申请(专利权)人：世高株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP